公开(公告)号：CN110392919B

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN201880016546.2

申请日：2018-03-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 千叶启子 ,  石田晋吾 ,  安藤敏明 ,  伊藤俊树 ,  B·T·斯塔霍维亚克 ,  W·刘

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 提供了图案形成方法，其提供高生产量并可以均匀精度加工的注料区域。图案形成方法，其为光纳米压印技术，依次包括：步骤(1)，将由固化性组合物(A1)形成的层铺设在基板的表面上，该固化性组合物(A1)至少含有充当聚合性化合物的组分(a1)；步骤(2)，将固化性组合物(A2)的液滴离散地逐滴分配至固化性组合物(A1)的层上以铺设液滴，该固化性组合物(A2)至少含有充当聚合性化合物的组分(a2)；步骤(3)，将通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层夹在模具和基板之间；步骤(4)，用光从模具侧照射通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层以一次地使该层固化；和步骤(5)，在固化之后从由固化性组合物形成的层脱模模具，其中通过每注料区域固化性组

公开(公告)号：CN110392919A

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201880016546.2

申请日：2018-03-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 千叶启子 ,  石田晋吾 ,  安藤敏明 ,  伊藤俊树 ,  B·T·斯塔霍维亚克 ,  W·刘

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 提供了图案形成方法，其提供高生产量并可以均匀精度加工的注料区域。图案形成方法，其为光纳米压印技术，依次包括：步骤(1)，将由固化性组合物(A1)形成的层铺设在基板的表面上，该固化性组合物(A1)至少含有充当聚合性化合物的组分(a1)；步骤(2)，将固化性组合物(A2)的液滴离散地逐滴分配至固化性组合物(A1)的层上以铺设液滴，该固化性组合物(A2)至少含有充当聚合性化合物的组分(a2)；步骤(3)，将通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层夹在模具和基板之间；步骤(4)，用光从模具侧照射通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层以一次地使该层固化；和步骤(5)，在固化之后从由固化性组合物形成的层脱模模具，其中通过每注料区域固化性组合物(A2)的体积(Vr)除以固化性组合物(A1)的体积(Vc)获得的值Vr/Vc为4或更大且15或更小。