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公开(公告)号：CN106918986A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201611193007.5
申请日：2016-12-21
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印装置的调整方法、压印方法和物品制造方法。一种用于调整压印装置的调整方法包括：准备步骤，准备用于对测试模具的接触区域与供给在基板上的压印材料接触的状态进行评估的样品；评估步骤，对样品进行评估；以及调整步骤，基于在评估步骤中获得的评估结果来调整压印装置。接触区域包括不包括图案的平坦区域，评估步骤中的评估包括第一评估，该第一评估是对平坦区域中的压印材料的状态的评估，并且，在调整步骤中基于第一评估的结果来调整压印装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105580109B
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201480053312.7
申请日：2014-09-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: H05K3/245 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/038 , H01L21/0274
Abstract: 提供一种精确且简便地检测模具与基板的对准标记的方法，并相应地提供高通量的图案化膜的形成方法，以及还提供光学组件的制造方法、电路板的制造方法和电子组件的制造方法。图案化膜通过光‑纳米压印来形成。在所述方法中，气体满足下述不等式(1)：|nM‑nR|≤|nM‑nR′| (1)在不等式(1)中，nR表示在光的波长下不含气体的组合物的折射率，nR′表示在所述光的波长下含有气体的光固化性组合物的折射率，和nM表示在所述光的波长下模具的折射率。
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公开(公告)号：CN110392919B
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN201880016546.2
申请日：2018-03-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 提供了图案形成方法，其提供高生产量并可以均匀精度加工的注料区域。图案形成方法，其为光纳米压印技术，依次包括：步骤(1)，将由固化性组合物(A1)形成的层铺设在基板的表面上，该固化性组合物(A1)至少含有充当聚合性化合物的组分(a1)；步骤(2)，将固化性组合物(A2)的液滴离散地逐滴分配至固化性组合物(A1)的层上以铺设液滴，该固化性组合物(A2)至少含有充当聚合性化合物的组分(a2)；步骤(3)，将通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层夹在模具和基板之间；步骤(4)，用光从模具侧照射通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层以一次地使该层固化；和步骤(5)，在固化之后从由固化性组合物形成的层脱模模具，其中通过每注料区域固化性组
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公开(公告)号：CN105580109A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201480053312.7
申请日：2014-09-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: H05K3/245 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/038 , H01L21/0274
Abstract: 提供一种精确且简便地检测模具与基板的对准标记的方法，并相应地提供高通量的图案化膜的形成方法，以及还提供光学组件的制造方法、电路板的制造方法和电子组件的制造方法。图案化膜通过光-纳米压印来形成。在所述方法中，气体满足下述不等式(1)：|nM-nR|≤|nM-nR′| (1)在不等式(1)中，nR表示在光的波长下不含气体的组合物的折射率，nR′表示在所述光的波长下含有气体的光固化性组合物的折射率，和nM表示在所述光的波长下模具的折射率。
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公开(公告)号：CN106918986B
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201611193007.5
申请日：2016-12-21
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种压印装置的调整方法、压印方法和物品制造方法。一种用于调整压印装置的调整方法包括：准备步骤，准备用于对测试模具的接触区域与供给在基板上的压印材料接触的状态进行评估的样品；评估步骤，对样品进行评估；以及调整步骤，基于在评估步骤中获得的评估结果来调整压印装置。接触区域包括不包括图案的平坦区域，评估步骤中的评估包括第一评估，该第一评估是对平坦区域中的压印材料的状态的评估，并且，在调整步骤中基于第一评估的结果来调整压印装置。
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公开(公告)号：CN110392919A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201880016546.2
申请日：2018-03-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 提供了图案形成方法，其提供高生产量并可以均匀精度加工的注料区域。图案形成方法，其为光纳米压印技术，依次包括：步骤(1)，将由固化性组合物(A1)形成的层铺设在基板的表面上，该固化性组合物(A1)至少含有充当聚合性化合物的组分(a1)；步骤(2)，将固化性组合物(A2)的液滴离散地逐滴分配至固化性组合物(A1)的层上以铺设液滴，该固化性组合物(A2)至少含有充当聚合性化合物的组分(a2)；步骤(3)，将通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层夹在模具和基板之间；步骤(4)，用光从模具侧照射通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层以一次地使该层固化；和步骤(5)，在固化之后从由固化性组合物形成的层脱模模具，其中通过每注料区域固化性组合物(A2)的体积(Vr)除以固化性组合物(A1)的体积(Vc)获得的值Vr/Vc为4或更大且15或更小。
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