公开(公告)号：CN114097065A

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202080051174.4

申请日：2020-07-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： O·奥兹特克 ,  S·J·贝姆斯伯格 ,  斋藤真树 ,  A·阿加里 ,  S·C·沙克尔顿 ,  崔炳镇

IPC: H01L21/3105

Abstract: 提供了一种方法，所述方法包括在至少基板和覆板的堆叠的边缘上的部位处产生至少一个裂缝；沿着周边扩展所述裂缝；以及相对于所述基板移动所述覆板以完成所述覆板与所述基板的分离。

公开(公告)号：CN114127911A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202080051149.6

申请日：2020-07-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 崔炳镇 ,  S·J·贝姆斯伯格 ,  斋藤真树 ,  O·奥兹特克

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/683

Abstract: 一种方法，包括：用覆板卡盘保持覆板；施加压力以使覆板朝向基板偏转，覆板的偏转沿径向方向逐渐延伸；保持施加到覆板的周边的真空，并在通过压力使覆板偏转的同时用卡盘持续保持覆板；从覆板的周边解除真空；以及从卡盘释放覆板。

公开(公告)号：CN114127911B

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202080051149.6

申请日：2020-07-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 崔炳镇 ,  S·J·贝姆斯伯格 ,  斋藤真树 ,  O·奥兹特克

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/683

Abstract: 一种方法，包括：用覆板卡盘保持覆板；施加压力以使覆板朝向基板偏转，覆板的偏转沿径向方向逐渐延伸；保持施加到覆板的周边的真空，并在通过压力使覆板偏转的同时用卡盘持续保持覆板；从覆板的周边解除真空；以及从卡盘释放覆板。

公开(公告)号：CN116075395A

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202180062090.5

申请日：2021-08-09

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 史蒂文·C·沙克尔顿 ,  塞思·J·巴梅斯伯格 ,  斋藤真树

IPC: B24B37/04

Abstract: 一种平坦化基板的方法，其包括：将可成形材料分配到基板上；在第一位置处的平坦化站处，使由覆板卡盘保持的覆板与基板上的可成形材料接触，从而形成包括覆板、可成形材料的膜和基板的多层结构；从覆板卡盘释放覆板；将所述多层结构从所述第一位置移动到位于远离所述第一位置的第二位置处的固化站，所述固化站包括发光二极管阵列；以及通过将所述多层结构的膜暴露于从所述发光二极管阵列发射的光来固化所述膜。

公开(公告)号：CN117930591A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202311353574.2

申请日：2023-10-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 崔炳镇 ,  塞思·J·巴梅斯伯格 ,  史蒂文·C·沙克尔顿 ,  斋藤真树

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明提供了平坦化系统和平坦化方法。平坦化系统包括：覆板卡盘，其包括被构造为保持覆板的保持表面；可充气隔膜，其具有：限定内边缘的内径；限定外边缘的外径；以及所述内边缘与所述外边缘之间的、在径向方向上的中点，其中，可充气隔膜设置在覆板卡盘的保持表面的径向外侧；以及吹扫气体通道，其设置在可充气隔膜的中点的径向内侧并且在覆板卡盘的保持表面的径向外侧。