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公开(公告)号：CN117930591A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311353574.2
申请日：2023-10-19
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 崔炳镇 , 塞思·J·巴梅斯伯格 , 史蒂文·C·沙克尔顿 , 斋藤真树
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , G03F7/00
Abstract: 本发明提供了平坦化系统和平坦化方法。平坦化系统包括：覆板卡盘，其包括被构造为保持覆板的保持表面；可充气隔膜，其具有：限定内边缘的内径；限定外边缘的外径；以及所述内边缘与所述外边缘之间的、在径向方向上的中点，其中，可充气隔膜设置在覆板卡盘的保持表面的径向外侧；以及吹扫气体通道，其设置在可充气隔膜的中点的径向内侧并且在覆板卡盘的保持表面的径向外侧。
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公开(公告)号：CN116072569A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211328469.9
申请日：2022-10-27
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 崔炳镇 , 塞斯·J·巴梅斯伯格 , 亚历克斯·鲁伊斯 , 尼拉布·K·罗伊
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供用于冷却基板的方法、系统和装置。提供了用于在将基板转移到处理室外部之前通过双向冷却处理来冷却处理室中的基板的技术和机构。将第一冷却气体从上部气体源，以向下的方向朝向基板的向上表面引入处理室。将装置放置于基板下方并接近基板。将第二冷却气体从装置，以向上的方向朝向基板的向下表面引入处理室。从装置的主体部分切出一个或更多个间隙，该间隙被构造为，在接近基板放置装置的主体部分期间装置在水平方向上被移动到基板下方的位置时，使装置能够避免与保持基板的支撑结构接触。
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公开(公告)号：CN108121171B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201711200016.7
申请日：2017-11-27
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及用于调整模板的位置的系统和方法。用于调整模板的相对位置的方法、系统和装置包括：确定第一模板的有效区域的相邻区域的表面的第一多个位置点，所述相邻区域的表面和有效区域的表面形成第一模板的连续表面；基于第一多个位置点识别第一模板的所述相邻区域的表面的平面；确定第二模板的有效区域的表面的第二多个位置点，第二模板的有效区域从第二模板的表面突出；基于第二多个位置点识别第二模板的有效区域的表面的平面；和基于识别的平面，调整第一模板和第二模板的相对位置。
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公开(公告)号：CN114127911A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202080051149.6
申请日：2020-07-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/3105 , H01L21/683
Abstract: 一种方法，包括：用覆板卡盘保持覆板；施加压力以使覆板朝向基板偏转，覆板的偏转沿径向方向逐渐延伸；保持施加到覆板的周边的真空，并在通过压力使覆板偏转的同时用卡盘持续保持覆板；从覆板的周边解除真空；以及从卡盘释放覆板。
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公开(公告)号：CN106165064A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201580017358.8
申请日：2015-04-07
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: B29C43/58 , B29C43/021 , B29C2043/025 , B29C2043/3222 , B29C2043/3652 , B29C2043/5866 , G03F7/0002
Abstract: 提供一种用于使施加于基板上的树脂与模具接触以在基板上执行构图的压印装置。所述压印装置包括：用于保持基板的基板保持单元，其中，基板保持单元包含沿预先确定的方向布置的多个保持区域，多个保持区域分别基于沿所述方向的位置沿所述方向具有不同的宽度尺寸，以及，分别具有不同宽度尺寸的多个保持区域的两个保持区域之间的表面积比处于0.8～1.2的范围内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116203793A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202211447316.6
申请日：2022-11-18
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 崔炳镇 , 塞斯·J·巴梅斯伯格 , 亚历克斯·鲁伊斯
Abstract: 本申请涉及带有止动间隙真空密封件的反应室。一些装置和系统，其包括：反应室的一个或更多个壁；在所述一个或更多个壁中的可调节间隙，其中，在第一间隙表面与面对第一间隙表面的第二间隙表面之间形成可调节间隙，其中，第一间隙表面与第二间隙表面之间的距离是能够调节的；多个止动件，其中，所述多个止动件中的各个止动件被定位在第一间隙表面或第二间隙表面上，其中，所述多个止动件确保可调节间隙的最小距离，其中，多个止动件的总长度小于第一间隙表面长度的1％；以及一个或更多个真空口，其在第一间隙表面或第二间隙表面中。
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公开(公告)号：CN108020986B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN201711029734.2
申请日：2017-10-30
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 崔炳镇
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及用于从衬底上的固化图案层分离纳米压印模板的方法和设备，最少化了包括最终分离时刻(LPOS)缺陷在内的分离缺陷。该方法可包括：使模板和衬底相对于彼此移动，以产生施加到模板和衬底的张力；测量施加到模板和衬底的张力；判定施加到模板背侧和衬底背侧的压力大小，以便减小施加张力的大小；通过将判定了大小的压力施加到模板背侧和衬底背侧来减小施加到模板或者衬底的张力；然后重复上述步骤一次或者多次，直到模板完全从固化图案层分离为止。设备可配置成实现上述方法。该方法和设备可有利地应用于例如模板复制处理。
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公开(公告)号：CN106864058B
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201611125066.9
申请日：2016-12-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41K3/36
Abstract: 本申请涉及一种压印装置，其包括：基底保持件，所述基底保持件具有吸附区域和凹形支撑段；以及模板保持件，其中，吸附区域面积大于模板区域面积。本申请还涉及一种压印装置，其包括：气体区段；以及气体控制器，所述气体控制器构造成调节气体区段内的压力，以得到与压印装置一起使用的工件的局部域的凸形曲率。本申请还涉及一种方法，其包括：在压印装置内设置工件，其中，工件包括基底和可成形材料；以及使模板在与局部域的外周间隔开的位置处与可成形材料初步接触。在特定的实施例中，所述方法还包括调整基底以形成使模板与可成形材料接触的凸形形状。
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公开(公告)号：CN114127911B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202080051149.6
申请日：2020-07-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/3105 , H01L21/683
Abstract: 一种方法，包括：用覆板卡盘保持覆板；施加压力以使覆板朝向基板偏转，覆板的偏转沿径向方向逐渐延伸；保持施加到覆板的周边的真空，并在通过压力使覆板偏转的同时用卡盘持续保持覆板；从覆板的周边解除真空；以及从卡盘释放覆板。
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公开(公告)号：CN108073036B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN201711118552.2
申请日：2017-11-14
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明公开了模板复制。用于执行以下步骤的方法、系统和装置：识别模板的第一有效区的尺寸属性；至少部分地基于所述第一有效区的尺寸属性，确定基板的第二有效区的期望的倍率校正；确定所述模板、基板或这二者的面外变形；将背压力施加于所述模板、基板或这二者，以补偿所述模板、基板或这二者的面外变形；在补偿所述模板、基板或这二者的面外变形之后：i)使定位在所述基板上的压印抗蚀剂与所述模板接触，使得所述第一有效区中的图案特征被所述压印抗蚀剂填充，并且ii)将另外的背压力施加于所述模板、基板或这二者，其中，所述另外的背压力被选择使得所述第二有效区呈现所述期望的倍率校正。
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