非蒸发型吸气剂及其制造方法、以及显示装置

    公开(公告)号:CN1193821C

    公开(公告)日:2005-03-23

    申请号:CN02142201.X

    申请日:2002-08-23

    CPC classification number: H01J7/186 H01J7/183

    Abstract: 本发明的目的在于提供这样的非蒸发型吸气剂,该吸气剂能持续残留气体的吸附能力,而且,尤其经历在显示装置的制造工艺过程中的高温低真空状态,也能确保充分的特性。本发明是这样的非蒸发型吸气剂,其特征在于,它具备没有具有作为吸气剂的功能的基体材料,以及被配置在该基体材料表面的、以Ti为主要成分、并在其内部具有多个空隙的多晶膜。通过在其表面具有凹凸、同时在没有具有作为吸气剂的功能的基体材料的该凹凸表面上形成以Ti为主要成分的多晶膜,使得非蒸发型吸气剂的制造变成可能。

    非蒸发型吸气剂及其制造方法、以及显示装置

    公开(公告)号:CN1401419A

    公开(公告)日:2003-03-12

    申请号:CN02142201.X

    申请日:2002-08-23

    CPC classification number: H01J7/186 H01J7/183

    Abstract: 本发明的目的在于提供这样的非蒸发型吸气剂,该吸气剂能持续残留气体的吸附能力,而且,尤其经历在显示装置的制造工艺过程中的高温低真空状态,也能确保充分的特性。本发明是这样的非蒸发型吸气剂,其特征在于,它具备没有具有作为吸气剂的功能的基体材料,以及被配置在该基体材料表面的、以Ti为主要成分、并在其内部具有多个空隙的多晶膜。通过在其表面具有凹凸、同时在没有具有作为吸气剂的功能的基体材料的该凹凸表面上形成以Ti为主要成分的多晶膜,使得非蒸发型吸气剂的制造变成可能。

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