一种提高产业化硅薄膜电池组件性能的制备方法

    公开(公告)号:CN102637780B

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201210127770.3

    申请日:2012-04-27

    IPC分类号: H01L31/20

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明涉及一种提高产业化硅薄膜电池组件性能的制备方法,采用预沉积非晶硅薄膜来降低产业化硅薄膜电池的污染问题,属于薄膜太阳能电池生产技术领域。技术方案是:在硅薄膜电池制备方法的等离子体清洗/沉积工序中引入预沉积非晶硅薄膜工艺,反应腔室经过氟等离子体刻蚀清洗后,采用等离子增强化学气相沉积工艺,控制辉光功率和硅烷浓度,预沉积非晶硅薄膜,降低残留在反应腔室内的氟、硫或氧浓度,进而提高产业化硅薄膜电池组件的光电转换效率。本发明不需要停止设备,不影响系统的嫁动率,又降低了污染,同时有效提高电池效率。

    一种提高产业化硅薄膜电池组件性能的制备方法

    公开(公告)号:CN102637780A

    公开(公告)日:2012-08-15

    申请号:CN201210127770.3

    申请日:2012-04-27

    IPC分类号: H01L31/20

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明涉及一种提高产业化硅薄膜电池组件性能的制备方法,采用预沉积非晶硅薄膜来降低产业化硅薄膜电池的污染问题,属于薄膜太阳能电池生产技术领域。技术方案是:在硅薄膜电池制备方法的等离子体清洗/沉积工序中引入预沉积非晶硅薄膜工艺,反应腔室经过氟等离子体刻蚀清洗后,采用等离子增强化学气相沉积工艺,控制辉光功率和硅烷浓度,预沉积非晶硅薄膜,降低残留在反应腔室内的氟、硫或氧浓度,进而提高产业化硅薄膜电池组件的光电转换效率。本发明不需要停止设备,不影响系统的嫁动率,又降低了污染,同时有效提高电池效率。

    一种控制太阳能电池组件电学性能低下及外观缺陷的方法

    公开(公告)号:CN102628164B

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201210127765.2

    申请日:2012-04-27

    IPC分类号: C23C16/44 C23C16/52 H01L31/18

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明涉及一种控制太阳能电池组件电学性能低下及外观缺陷的方法,属于太阳能电池生产技术领域。技术方案是:根据镀膜衬底在LPCVD设备腔室等待的位置及时间不同对TCO膜层的影响不同,分别进行控制;根据镀膜衬底在预加热腔室中等待时,镀膜衬底的温度变化进行不同处理;当镀膜衬底在工艺反应腔室发生等待时,根据镀膜衬底所处的腔室的不同,进行不同的处理。本发明可有效控制彩虹缺陷组件的产生,避免透明导电电极后续原材料的浪费及二级品、报废品的产生,满足人们对太阳能组件电学性能及外观的严格要求。本发明可以降低薄膜太阳能电池组件电学性能低下及外观彩虹缺陷出现的几率,减少后续原材料的浪费,降低太阳能电池组件不良及报废率。

    一种薄膜太阳能电池的制作工艺

    公开(公告)号:CN102867889A

    公开(公告)日:2013-01-09

    申请号:CN201210376194.6

    申请日:2012-10-08

    IPC分类号: H01L31/20

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明公开了一种薄膜太阳能电池的制作工艺,其包括:1)在透明基板上沉积前电极材料层;2)形成光电转换层;3)形成背电极材料层:移除部分背电极材料层,单片电池内形成若干个电池分区,相邻两个电池分区之间为共用负极或共用正极,共用正极或负极为通过激光刻蚀移除部分背电极材料层形成的汇流条结构,共用正极或负极与电池引出正极或负极之间通过导通材料带连接。本发明将激光刻蚀技术与背电极材料层的导电特性结合,将单片电池近邻边端的背电极材料层作为电池内串联电池分区的并联连接介质,实现了单片电池内串联电池分区的并联连接,且具有低电池阻抗值并可降低电池开路电压,满足太阳能电池的输出功率及逆变器选型的适应性。

    一种新型二氧化钛背反射结构硅基薄膜太阳能电池

    公开(公告)号:CN102694080A

    公开(公告)日:2012-09-26

    申请号:CN201210199250.3

    申请日:2012-06-18

    IPC分类号: H01L31/18

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明涉及一种新型二氧化钛背反射结构硅基薄膜太阳能电池,属于硅基薄膜太阳能电池生产技术领域。技术方案是:包含二氧化钛背反射薄膜(4)、封装背板(5)、硅基薄膜电池(2)、透明前基板(1)和封装材料(3);封装背板上二氧化钛背反射薄膜的制备与硅基薄膜电池的制备同步独立进行,然后,将封装背板与硅基薄膜电池的透明前基板通过封装材料采用层压工艺进行封装。本发明的积极效果:将高反射的二氧化钛背反射薄膜的制备与硅基薄膜电池的制备同步独立进行,然后通过层压工艺将两者进行封装,这样将有效地提高电池效率,同时提高了节拍、增加了产能、简化了电池制备工艺,降低电池的制备成本,并可广泛用于实际的批量工业生产中。

    一种控制太阳能电池组件电学性能低下及外观缺陷的方法

    公开(公告)号:CN102628164A

    公开(公告)日:2012-08-08

    申请号:CN201210127765.2

    申请日:2012-04-27

    IPC分类号: C23C16/44 C23C16/52 H01L31/18

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明涉及一种控制太阳能电池组件电学性能低下及外观缺陷的方法,属于太阳能电池生产技术领域。技术方案是:根据镀膜衬底在LPCVD设备腔室等待的位置及时间不同对TCO膜层的影响不同,分别进行控制;根据镀膜衬底在预加热腔室中等待时,镀膜衬底的温度变化进行不同处理;当镀膜衬底在工艺反应腔室发生等待时,根据镀膜衬底所处的腔室的不同,进行不同的处理。本发明可有效控制彩虹缺陷组件的产生,避免透明导电电极后续原材料的浪费及二级品、报废品的产生,满足人们对太阳能组件电学性能及外观的严格要求。本发明可以降低薄膜太阳能电池组件电学性能低下及外观彩虹缺陷出现的几率,减少后续原材料的浪费,降低太阳能电池组件不良及报废率。

    一种新型的复合透明导电氧化物薄膜

    公开(公告)号:CN102881729A

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:CN201210383674.5

    申请日:2012-10-11

    IPC分类号: H01L31/0224

    摘要: 本发明涉及一种新型的复合透明导电氧化物薄膜,属于光电器件制备技术领域,尤其适用于薄膜太阳能电池技术。技术方案是:包括至少一层低压化学气相沉积或者金属有机物化学气相沉积方法制备的具有绒面结构的本征氧化锌薄膜或掺杂氧化锌薄膜和至少一层掺杂的透明导电氧化物薄膜,构成复合透明导电氧化物薄膜。本发明的积极效果:制备的新型复合透明导电氧化物薄膜作为电极应用于光电器件中,减少光电器件的界面缺陷,提高器件的性能。