形成薄膜的工艺及设备
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1253728C

    公开(公告)日:2006-04-26

    申请号:CN02160876.8

    申请日:2002-12-27

    CPC classification number: G02B1/11 C23C14/547 G02B1/10

    Abstract: 提供一种形成薄膜的工艺和设备,能够自动地大量形成具有稳定性和良好重复性的光学特性稳定的薄膜。用于气相淀积的材料(4)由电子枪(3)汽化,通过气相淀积在支持在涂覆圆顶(2)中的透镜(2a)上形成抗反射膜。加到电子枪(3)上的电功率按在这样的方式控制,即膜形成期间由光学膜厚度表(10)连续测得的光的透射或反射的数量接近或与用于存储理论上得到的基准光量的装置中存储的基准光量的数据相同。

    具有抗反射膜的光学元件

    公开(公告)号:CN1341866A

    公开(公告)日:2002-03-27

    申请号:CN01133129.1

    申请日:2001-08-29

    CPC classification number: G02B1/115

    Abstract: 为了解决获得在塑料基材和抗反射涂层之间具有高粘合性、也具有优异的耐热性和抗冲击性的光学元件而提供了这种光学元件,它包括塑料基材和在其上依次提供的铌(Nb)基层和抗反射膜,其中该基层任选与一种或多种选自铝(Al),钽(Ta),铬(Cr)和其两种或多种混合物的组分相混合,这些成分的量达到整个层的50wt.%。

    带有抗反射膜的光学元件的生产方法

    公开(公告)号:CN1605888A

    公开(公告)日:2005-04-13

    申请号:CN200410092298.X

    申请日:2001-11-30

    Abstract: 本申请的目的是提供一种汽相沉积用组合物的生产方法,并提供一种汽相沉积用组合物,它即便靠低温汽相沉积也能在基材上形成高折射层,因而确保了抗反射膜具有良好的耐划伤性、良好的耐化学性和良好的耐热性,且其耐热性随时间降低很少;以及提供一种带有这种抗反射膜的光学元件的生产方法。通过提供一种汽相沉积用组合物的生产方法,该方法包括烧结由含有二氧化钛和五氧化二铌的蒸汽源混合而成的蒸汽源混合物;提供一种含有二氧化钛和五氧化二铌的汽相沉积用组合物;以及提供一种带有抗反射膜的光学元件的生产方法,该方法包括汽化汽相沉积用组合物,并将产生的蒸汽沉积在基材上以在其上形成抗反射膜的高折射层,从而达到了本发明的目的。

    具有抗反射膜的光学元件

    公开(公告)号:CN1341865A

    公开(公告)日:2002-03-27

    申请号:CN01132829.0

    申请日:2001-08-28

    CPC classification number: G02B1/115

    Abstract: 提供一种包括塑料基材和在基材上顺序提供的λ/4-λ/2-λ/4或λ/4-λ/4-λ/2-λ/4型(λ=500nm)抗反射膜的光学元件,其中λ/2层是含有至少三层的光折射等价薄膜,其折射率为1.80-2.40,该等价薄膜的奇数层是二氧化硅层。该具有在塑料基材上的抗反射膜的光学元件具有良好的耐热性。

    形成薄膜的工艺及设备
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1430073A

    公开(公告)日:2003-07-16

    申请号:CN02160876.8

    申请日:2002-12-27

    CPC classification number: G02B1/11 C23C14/547 G02B1/10

    Abstract: 提供一种形成薄膜的工艺和设备,能够自动地大量形成具有稳定性和良好重复性的光学特性稳定的薄膜。用于气相淀积的材料(4)由电子枪(3)汽化,通过气相淀积在支持在涂覆圆顶(2)中的透镜(2a)上形成抗反射膜。加到电子枪(3)上的电功率按在这样的方式控制,即在膜形成期间由光学膜厚度表(10)连续测得的光的透射或反射的数量接近或与用于存储理论上得到的光的基准数量的装置中存储的光的基准数量的数据相同。

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