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公开(公告)号：CN1160599C
公开(公告)日：2004-08-04
申请号：CN98804588.5
申请日：1998-04-21
申请人： 克拉里安特国际有限公司
CPC分类号： G03F7/091 , C08F8/00 , C08F8/30 , C08F12/24 , C08F212/14 , C08F2810/20 , C08F220/14
摘要： 本发明涉及一种在光刻胶中用于吸收反射光、适用作抗反射涂料或用作添加剂的新颖的聚合物。所述新颖的聚合物包含：至少一种含有吸收约180纳米至约450纳米的染料的单元，和至少一种不含芳香官能度的单元。所述聚合物溶于有机溶剂，优选溶于低毒性溶剂，或者可溶于水，所述溶剂另外还可以包含其它与水可混溶的有机溶剂。
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公开(公告)号：CN1124521C
公开(公告)日：2003-10-15
申请号：CN97192770.7
申请日：1997-02-27
申请人： 克拉里安特国际有限公司
IPC分类号： G03F7/38
CPC分类号： G03F7/38
摘要： 描述了对于重氮萘醌磺酸酯-酚醛清漆正性光刻胶的快速后曝光烘烤(快速PEB)方法，该方法提供了显著的优点。该方法优选在底抗反射涂层上使用比抗蚀剂普通后曝光烘烤(PEB)较高的温度(≥130℃)和很短的烘烤时间(≤30秒)。它明显地提高了光刻胶的分辨能力、工艺宽容度、热变形温度、抗蚀剂附着力和抗等离子蚀刻性。
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公开(公告)号：CN1244877A
公开(公告)日：2000-02-16
申请号：CN97181411.2
申请日：1997-12-16
申请人： 克拉里安特国际有限公司
CPC分类号： C08G8/08 , C08G16/0293 , G03F7/0236
摘要： 本发明提供了一种通过在非高温蒸馏条件下分离出酚醛清漆树脂馏分,制备具有一致分子量和在抗光蚀剂组合物中优异性能的可成膜的、分馏酚醛清漆树脂的方法。还提供了一种由该分馏酚醛清漆树脂制备抗光蚀剂组合物的方法、以及一种使用该抗光蚀剂组合物制造半导体设备的方法。
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公开(公告)号：CN1228172A
公开(公告)日：1999-09-08
申请号：CN97197298.2
申请日：1997-08-15
申请人： 克拉里安特国际有限公司
IPC分类号： G03F7/09
CPC分类号： G03F7/091 , C08F20/60 , C09D133/26
摘要： 本发明涉及一种新型抗反射涂料水溶液及其用于光至平版印刷的方法。抗反射涂料水溶液包括一种新型聚合物和水，其中抗反射涂料的新型聚合物包括含有至少一种在大约180－450nm有吸收的单元，至少一种含有交联基团的单元，和至少一种由亲水乙烯基单体或能够变成亲水乙烯基单体衍生的单元。
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公开(公告)号：CN1203607A
公开(公告)日：1998-12-30
申请号：CN96198863.0
申请日：1996-11-21
申请人： 克拉里安特国际有限公司
CPC分类号： G03F7/0236 , C08G8/08 , C08G8/10 , C08G8/20
摘要： 本发明提供不需高温蒸馏以分离不溶于水但溶于碱水溶液的分子量一致、性能优越的酚醛清漆树脂生产方法。也提供从这种酚醛清漆树脂生产光刻胶组合物的方法和用这种光刻胶组合物生产半导体装置的方法。
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公开(公告)号：CN1111759C
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：CN97197298.2
申请日：1997-08-15
申请人： 克拉里安特国际有限公司
IPC分类号： G03F7/09
CPC分类号： G03F7/091 , C08F20/60 , C09D133/26
摘要： 本发明涉及一种新型抗反射涂料水溶液及其用于光至平版印刷的方法。抗反射涂料水溶液包括一种新型聚合物和水，其中抗反射涂料的新型聚合物包括含有至少一种在大约180-450nm有吸收的单元，至少一种含有交联基团的单元，和至少一种由亲水乙烯基单体或能够变成亲水乙烯基单体衍生的单元。
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公开(公告)号：CN1304420A
公开(公告)日：2001-07-18
申请号：CN98812233.2
申请日：1998-12-01
申请人： 克拉里安特国际有限公司
CPC分类号： G03F7/0236 , C08G8/00 , C08G8/08
摘要： 本发明提供了一种方法,通过分离出一种具有一致的分子量并在光刻胶组合物中具有优异性能的线型酚醛清漆树脂馏分,以生产一种经分馏的成膜线型酚醛清漆树脂。还提供了一种由该经分馏的线型酚醛清漆树脂生产光刻胶组合物的方法,以及使用该光刻胶组合物生产半导体元件的方法。
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公开(公告)号：CN1253639A
公开(公告)日：2000-05-17
申请号：CN98804589.3
申请日：1998-04-21
申请人： 克拉里安特国际有限公司
IPC分类号： G03F7/09
CPC分类号： C09B69/106 , G03F7/091
摘要： 本发明涉及一种包含在溶剂组合物中的新颖聚合物的抗反射涂料组合物。本发明还包含所述抗反射涂料组合物在照相平版印刷术中的使用方法。所述抗反射涂料组合物包含:新颖的聚合物和溶剂组合物,其中所述抗反射涂料中的新颖聚合物包含:至少一种含有吸收约180纳米至约450纳米的染料的单元,和至少一种不含芳香官能度的单元。所述溶剂可以是有机溶剂,优选的是低毒性溶剂,或者可以是水,所述溶剂另外还可以包含其它与水可混溶的有机溶剂。
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公开(公告)号：CN1244875A
公开(公告)日：2000-02-16
申请号：CN97181409.0
申请日：1997-12-16
申请人： 克拉里安特国际有限公司
CPC分类号： G03F7/0236 , C08G8/08 , C08G8/12
摘要： 本发明提供了一种通过在非高温蒸馏条件下分离出酚醛清漆树脂馏分,制备具有一致分子量和在抗光蚀剂组合物中优异性能的可成膜的、分馏酚醛清漆树脂的方法。还提供了一种由该分馏酚醛清漆树脂制备抗光蚀剂组合物的方法、以及一种使用该抗光蚀剂组合物制造半导体设备的方法。
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