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公开(公告)号：CN103415647B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201180068067.3
申请日：2011-12-14
申请人： 六号元素有限公司
IPC分类号： C23C16/27 , C23C16/511 , H01J37/32 , H01P5/04 , H01P5/20
CPC分类号： H01J37/32229 , C23C16/274 , C23C16/511 , C23C16/54 , H01J37/32192 , H01J37/32256 , H01J37/32266 , H01J2237/3321 , H01P5/20 , H01P5/222
摘要： 一种用于将微波功率供应给多个微波等离子体反应器的微波功率传输系统（8），所述微波功率传输系统包括：调谐器（14），所述调谐器（14）配置为联接到微波源（4）上并且配置为使所述多个微波等离子体反应器的阻抗与所述微波源的阻抗相匹配；以及波导管接头（18），所述波导管接头（18）联接到所述调谐器上并且配置为将微波引导到所述多个微波等离子体反应器上和将微波从所述多个微波等离子体反应器中导出；其中，所述波导管接头包括四个波导管端口，所述四个波导管端口包括联接到所述调谐器上的第一端口、配置为联接到相应微波等离子体反应器上的第二端口和第三端口、和联接到微波接收器（20）上的第四端口；其中，所述波导管接头配置为通过所述第一端口将来自所述调谐器的微波功率输入均匀地在所述第二端口和第三端口之间分配以用于将微波功率提供给相应的微波等离子体反应器；其中，所述波导管接头配置为取消所述第二端口和第三端口的联接，从而防止来自所述微波等离子体反应器中的一个的任何反射微波经过所述波导管接头直接进给到另一微波等离子体反应器内而导致不平衡；其中，所述波导管接头还配置为将通过所述第二端口和第三端口接收回的、就振幅和相位而言为平衡的反射微波进给到所述调谐器中，使得它们能够由所述调谐器反射和再使用；以及其中，所述波导管接头还配置为通过所述第四端口将不平衡的过多的反射功率进给到所述微波接收器内。
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公开(公告)号：CN103415647A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201180068067.3
申请日：2011-12-14
申请人： 六号元素有限公司
IPC分类号： C23C16/27 , C23C16/511 , H01J37/32 , H01P5/04 , H01P5/20
CPC分类号： H01J37/32229 , C23C16/274 , C23C16/511 , C23C16/54 , H01J37/32192 , H01J37/32256 , H01J37/32266 , H01J2237/3321 , H01P5/20 , H01P5/222
摘要： 一种用于将微波功率供应给多个微波等离子体反应器的微波功率传输系统（8），所述微波功率传输系统包括：调谐器（14），所述调谐器（14）配置为联接到微波源（4）上并且配置为使所述多个微波等离子体反应器的阻抗与所述微波源的阻抗相匹配；以及波导管接头（18），所述波导管接头（18）联接到所述调谐器上并且配置为将微波引导到所述多个微波等离子体反应器上和将微波从所述多个微波等离子体反应器中导出；其中，所述波导管接头包括四个波导管端口，所述四个波导管端口包括联接到所述调谐器上的第一端口、配置为联接到相应微波等离子体反应器上的第二端口和第三端口、和联接到微波接收器（20）上的第四端口；其中，所述波导管接头配置为通过所述第一端口将来自所述调谐器的微波功率输入均匀地在所述第二端口和第三端口之间分配以用于将微波功率提供给相应的微波等离子体反应器；其中，所述波导管接头配置为取消所述第二端口和第三端口的联接，从而防止来自所述微波等离子体反应器中的一个的任何反射微波经过所述波导管接头直接进给到另一微波等离子体反应器内而导致不平衡；其中，所述波导管接头还配置为将通过所述第二端口和第三端口接收回的、就振幅和相位而言为平衡的反射微波进给到所述调谐器中，使得它们能够由所述调谐器反射和再使用；以及其中，所述波导管接头还配置为通过所述第四端口将不平衡的过多的反射功率进给到所述微波接收器内。
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