一种用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置

    公开(公告)号:CN114855264A

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202210437061.9

    申请日:2022-04-25

    IPC分类号: C30B15/00 C30B15/12

    摘要: 本发明公开了一种用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置,包括相连的底座(1)和安装架(2),安装架(2)上连有竖直的升降气缸(3)和伸缩杆(4),伸缩杆(4)的底部嵌入导向座(5)的导向孔(5a)内,伸缩杆(4)与导向座(5)之间设有一组调节弹簧(6),伸缩杆(4)与导向座(5)之间依次连有连接耳(7)、支杆一(8)、支杆二(9)、支杆三(10)和斜杆(11),支杆二(9)的端部连有锤头(12),每个锤头(12)的高度和角度均相同,锤头(12)朝向石英坩埚(13)的L角处设置。本发明的优点是节省人力和砸锅时间,减少拆清工时,增加碳碳埚帮使用寿命。

    一种用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置

    公开(公告)号:CN219195199U

    公开(公告)日:2023-06-16

    申请号:CN202220960918.0

    申请日:2022-04-25

    IPC分类号: C30B15/00 C30B15/12

    摘要: 本实用新型公开了一种用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置,包括相连的底座(1)和安装架(2),安装架(2)上连有竖直的升降气缸(3)和伸缩杆(4),伸缩杆(4)的底部嵌入导向座(5)的导向孔(5a)内,伸缩杆(4)与导向座(5)之间设有一组调节弹簧(6),伸缩杆(4)与导向座(5)之间依次连有连接耳(7)、支杆一(8)、支杆二(9)、支杆三(10)和斜杆(11),支杆二(9)的端部连有锤头(12),每个锤头(12)的高度和角度均相同,锤头(12)朝向石英坩埚(13)的L角处设置。本实用新型的优点是节省人力和砸锅时间,减少拆清工时,增加碳碳埚帮使用寿命。

    一种单晶籽晶清洗方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117802585A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202311672659.7

    申请日:2023-12-07

    IPC分类号: C30B33/10 B08B3/08

    摘要: 本发明属于半导体晶体生长技术领域,具体涉及一种单晶籽晶清洗方法。本发明结合对硝酸溶液与氢氟酸溶液的体积比的控制、对腐蚀槽摆动角度和摆动速度的控制,对使用后表面发彩、发白的籽晶进行腐蚀清洗,以实现提高籽晶表面质量的目的,避免了籽晶表面整体腐蚀不均匀的问题,且通过对单次腐蚀时间和冷却过程时间的控制,避免了籽晶过度腐蚀的问题,提高了籽晶的使用寿命。

    一种用于颗粒硅灌料的工装

    公开(公告)号:CN221398157U

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202323163373.4

    申请日:2023-11-23

    IPC分类号: C30B15/02 C30B29/06

    摘要: 本实用新型涉及一种用于颗粒硅灌料的工装,包括防尘盖及加料漏斗,防尘盖与加料漏斗设置于加料筒顶端;防尘盖包括防尘盖本体,防尘盖本体为半圆形结构,防尘盖本体的表面设有通孔用于除尘管道的放置,防尘盖本体的一侧内凹形成半圆形第一凹槽与加料筒中的连接杆相适配,防尘盖本体的另一侧竖直向下延伸形成弧形固定边,防尘盖本体通过固定边设置于加料筒的顶端;加料漏斗包括加料漏斗本体,加料漏斗本体小口端向下延伸形成漏斗出料管,插入加料筒中漏斗出料管的长度大于插入加料筒中除尘管道的长度,漏斗出料管上与防尘盖相对的一侧内凹形成第二凹槽与加料筒中的连接杆相适配;该工装结构简单,安装拆卸方便,能有效除尘,且提高灌料效率。