一种提高大尺寸N型硅片转换效率的方法

    公开(公告)号:CN114016122B

    公开(公告)日:2024-06-28

    申请号:CN202111270049.5

    申请日:2021-10-29

    IPC分类号: C30B15/00 C30B15/20 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种提高大尺寸N型硅片转换效率的方法,具体为:将N型母合金及硅料装入石英坩埚内,全熔稳定,熔化,待硅料完全熔化后将功率降至引晶功率;单晶炉运行过程中采用高炉压;将坩埚转速开至引晶转速,晶体转速11‑14转/分钟;稳定熔体,引晶,高温熔接,采用Dash缩颈排除位错法引晶、放肩、转肩、等径,手动控制晶体等径生长至所需长度,待直径控制均匀、拉速稳定后自动控制晶体生长、收尾以及停炉;通过改变晶体转速,增加磷元素在硅中的溶解均匀性,改变炉压,防止局部温高导致磷元素挥发,硅液中溶解磷均匀性差,同时降低等径时拉速,使生长界面变得相对平坦,降低了大尺寸直拉单晶N型硅片由中心和边缘位置电阻率不均匀而导致转换效率低的问题。

    一种降低大尺寸N型直拉单晶硅片碎片率的拉制方法

    公开(公告)号:CN115652426A

    公开(公告)日:2023-01-31

    申请号:CN202211065064.0

    申请日:2022-08-31

    IPC分类号: C30B29/06 C30B15/04

    摘要: 本发明公开了一种降低大尺寸N型直拉单晶硅片碎片率的拉制方法,具体:(1)将N型母合金、硅料、锗装入炉中的石英坩埚内,全熔稳定,将坩埚内的硅料熔化,待所述硅料完全熔化后将功率降至引晶功率;炉压设定10~14Torr;(2)然后将坩埚转速开至引晶转速,晶体转速采用高转速,转速在11~14转/分钟;(3)稳定熔体,引晶,高温熔接,采用Dash缩颈排除位错法引晶、放肩、转肩、等径,手动控制晶体等径生长至所需长度,待直径控制均匀、拉速稳定后自动控制所述晶体生长、收尾以及停炉;该方法通过在拉制N型单晶硅片过程中,掺入一定浓度的锗元素,增加硅片的机械强度,从而降低大尺寸N型硅片在切割过程中的碎片问题。

    一种超薄硅片再回炉的加料方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115478322A

    公开(公告)日:2022-12-16

    申请号:CN202211169762.5

    申请日:2022-09-26

    IPC分类号: C30B29/06 C30B35/00

    摘要: 本发明公开了一种超薄硅片再回炉的加料方法,将10~20kg破碎后的超薄硅片与40~50kg的常规复投料在四氟箱里搅拌,混合均匀后加入料筒;然后在其上方加入10~20kg常规复投料;重复上述步骤依次加入第1、2、3……、(n‑1)桶料,并在第n桶料中加入常规复投料,使第1~n桶料内所有加料量总和等于待装的总加料量;加料中氩气流量增大至130~150slpm,干泵频率调整至100%,加料间隔时间缩短至35~50min,单晶炉化料功率设为底加热器80~90kw,主加热器100~110kw。本发明的优点是可实现超薄硅再回炉使用,避免超薄硅片在加料过程中卡料,提高加料效率、硅棒品质和产量。

    一种方便砸石英坩锅的机械结构装置及其方法

    公开(公告)号:CN114871205A

    公开(公告)日:2022-08-09

    申请号:CN202210442768.9

    申请日:2022-04-25

    IPC分类号: B08B7/02 B02C1/00

    摘要: 本发明公开了一种方便砸石英坩锅的机械结构装置,包括敲击杆、连接套、底座、敲击头及至少三个连杆机构,敲击杆上设置有连接套,敲击杆上还套设有弹簧,敲击头设置于连接机构上,至少三个连杆机构均布在敲击杆的四周,每个连杆机构的一端与连接套连接,另一端与底座连接,底座的中部设有贯穿底座的通孔,敲击杆设置于底座上,敲击杆上设有弹簧的一端伸出弹簧并设置于通孔内,敲击杆在外力作用下通过弹簧在底座的通孔内上下活动,带动连杆机构通过敲击头对石英坩埚进行砸击破碎;该装置结构紧凑,使用方便,在方便砸石英埚的情况下,提高工人的工作效率,降低工人劳作强度,同时也避免砸破、砸穿埚帮,进而增加埚棒使用寿命,降低成本。

    一种用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置

    公开(公告)号:CN114855264A

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202210437061.9

    申请日:2022-04-25

    IPC分类号: C30B15/00 C30B15/12

    摘要: 本发明公开了一种用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置,包括相连的底座(1)和安装架(2),安装架(2)上连有竖直的升降气缸(3)和伸缩杆(4),伸缩杆(4)的底部嵌入导向座(5)的导向孔(5a)内,伸缩杆(4)与导向座(5)之间设有一组调节弹簧(6),伸缩杆(4)与导向座(5)之间依次连有连接耳(7)、支杆一(8)、支杆二(9)、支杆三(10)和斜杆(11),支杆二(9)的端部连有锤头(12),每个锤头(12)的高度和角度均相同,锤头(12)朝向石英坩埚(13)的L角处设置。本发明的优点是节省人力和砸锅时间,减少拆清工时,增加碳碳埚帮使用寿命。

    一种用于增加拉棒长度的大尺寸掺镓单晶生产方法

    公开(公告)号:CN115182042B

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202210865742.5

    申请日:2022-07-22

    IPC分类号: C30B27/02 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种用于增加拉棒长度的大尺寸掺镓单晶生产方法,具体步骤包括:拉棒长度由1500mm拉伸到1800mm时,逐步将炉压从15torr缓降至10torr持续保持,实现低压挥发;2500mm拉伸到2800mm时,逐步将等径功率升高1kw,高温加速挥发;等径2800mm拉伸到3300mn长度段,将拉晶埚转从9转降至6转,快速升温快速挥发,同时将氩气流量从80slpm缓慢增加至120slpm;完结段,等径5000mm开始至5400mm长度段,逐步将等径液口距放大2mm,增加挥发气体流通面积,使液面挥发气体加速流走。本发明的优点是增大掺杂剂的挥发,提高尾部电阻,延长有效拉棒长度,提高单产。

    一种用于单晶炉加料筒的半圆连接器

    公开(公告)号:CN114250506B

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202111596299.8

    申请日:2021-12-24

    IPC分类号: C30B15/02 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种用于单晶炉加料筒的半圆连接器,包括相互配合的上连接座(1)和下连接座(2),上连接座(1)的一端设有上连接螺孔(1a)、另一端连有上卡座(3),上卡座(3)内设有上旋转定位轴(4),上卡座(3)上还设有上弧形槽(3c),上旋转定位轴(4)上连有上滑杆(5),上滑杆(5)穿过上弧形槽(3c)与上弹簧(6)相连,且上滑杆(5)的端部穿过上连接座(1)侧面的上滑槽(1b),上弹簧(6)连接在上连接座(1)的空腔内壁上;下连接座(2)的设置与上连接座(1)的设置相同,且二者为中心对称结构。本发明的优点是避免加料时挂臂脱落风险,缩短加料作业工时,降低劳动强度,提高单晶产量,降低开炉成本。

    一种提高大尺寸N型单晶电阻率命中度的方法

    公开(公告)号:CN115558999A

    公开(公告)日:2023-01-03

    申请号:CN202211225168.3

    申请日:2022-10-09

    IPC分类号: C30B31/00

    摘要: 本发明公开了一种提高大尺寸N型单晶电阻率命中度的方法,包括在现有掺杂放置基础上调整掺杂模拟方式,设立电阻趋势曲线,预调节电阻,将电阻命中精确性锁定至当根;若本根单晶硅引放次数高于同期产线平均引放1次,掺杂在原计算水平上增加5%~8%;若本根单晶硅进入有效等径时间高于同期产线20%~40%,掺杂在原计算水平上增加5%~8%。本发明的优点是提高电阻率命中度,提升客户端工艺匹配性,适用于N型或P型晶棒。