多工位微定位线位移测量装置

    公开(公告)号:CN104596406B

    公开(公告)日:2017-05-03

    申请号:CN201310530182.9

    申请日:2013-10-31

    IPC分类号: G01B7/02

    摘要: 本发明属于一种直线式位移测量装置,具体公开一种多工位多自由度高精度微定位直线位移测量装置。该装置包括基准载体,固定在基准载体上的测量夹持结构、固定在基准载体上的测量驱动结构、位于基准载体上且在测量驱动结构的驱动下可以相对于基准载体移动的多自由度调节装置,测量夹持结构、多自由度调节装置、测量驱动结构位于一条直线上;多自由度调节装置的移动方向为沿所述直线方向。该装置缩短测量时间,提高工作效率,节省了购买设备数量和经济成本;多自由度调节结构操作方便,执行灵活,体积小,稳定性高;高精度的滚珠丝杠作为连接装置,有效的减小系统的配合误差,提高了测量的精度。

    多工位微定位线位移测量装置

    公开(公告)号:CN104596406A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201310530182.9

    申请日:2013-10-31

    IPC分类号: G01B7/02

    摘要: 本发明属于一种直线式位移测量装置,具体公开一种多工位多自由度高精度微定位直线位移测量装置。该装置包括基准载体,固定在基准载体上的测量夹持结构、固定在基准载体上的测量驱动结构、位于基准载体上且在测量驱动结构的驱动下可以相对于基准载体移动的多自由度调节装置,测量夹持结构、多自由度调节装置、测量驱动结构位于一条直线上;多自由度调节装置的移动方向为沿所述直线方向。该装置缩短测量时间,提高工作效率,节省了购买设备数量和经济成本;多自由度调节结构操作方便,执行灵活,体积小,稳定性高;高精度的滚珠丝杠作为连接装置,有效的减小系统的配合误差,提高了测量的精度。

    一种实时高温线性补偿两冗余高精度角位移传感器

    公开(公告)号:CN105627907B

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201410601776.9

    申请日:2014-10-31

    IPC分类号: G01B7/30

    摘要: 本发明属于角位移传感器技术领域,具体涉及一种满足高可靠性需求的滑翔飞行器,控制舱舵轴角位移测量,实现高温实时温度反馈线性补偿,达到高精度高可靠性测量的冗余设计的实时高温线性补偿两冗余高精度角位移传感器;包括2个电阻组件(1),刷轴组件(2),上盖(3),下盖(4),垫圈(5),印制电路板(6),温度传感器(7)及销(8);可实现传感器内部温度实时反馈线性补偿,提高传感器的线性度,在已经成熟电位计的研制的基础上,通过结构设计在传感器的内部安装温度传感器实时测量传感器的内部温度反馈,上位机进行线性化补偿,实现高精度测量。