公开(公告)号：CN116372376B

公开(公告)日：2023-08-04

申请号：CN202310611495.0

申请日：2023-05-29

Applicant: 北京理工大学 ,  北京理工大学长三角研究院(嘉兴) ,  中国船舶集团有限公司第七〇七研究所

Inventor： 姜澜 ,  王猛猛 ,  赵普 ,  周禹初 ,  朱彤 ,  赵丙权 ,  赵小明

IPC: B23K26/346 ,  B23K26/36 ,  B23K26/70 ,  G01C19/66

Abstract: 本发明属于微纳加工应用技术领域，具体涉及一种飞秒激光与离子束刻蚀联合修调半球谐振子的方法及装置；使用时空整形的飞秒激光和离子束刻蚀来实现从原子级至毫克级的质量去除，大幅提高调平的质量与精度，同时采用FPGA激励与检测电路来实现频率特性的快速分析，大幅提高调平效率，最终实现在线跨尺度调平。本发明可以大幅提高谐振子的调平效率，实现陀螺的跨尺度、超高精度、低应力调平，明显改善谐振子调平质量进而实现高质量、高效率加工。

公开(公告)号：CN116372376A

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202310611495.0

申请日：2023-05-29

Applicant: 北京理工大学 ,  北京理工大学长三角研究院(嘉兴) ,  中国船舶集团有限公司第七〇七研究所

Inventor： 姜澜 ,  王猛猛 ,  赵普 ,  周禹初 ,  朱彤 ,  赵丙权 ,  赵小明

IPC: B23K26/346 ,  B23K26/36 ,  B23K26/70 ,  G01C19/66

Abstract: 本发明属于微纳加工应用技术领域，具体涉及一种飞秒激光与离子束刻蚀联合修调半球谐振子的方法及装置；使用时空整形的飞秒激光和离子束刻蚀来实现从原子级至毫克级的质量去除，大幅提高调平的质量与精度，同时采用FPGA激励与检测电路来实现频率特性的快速分析，大幅提高调平效率，最终实现在线跨尺度调平。本发明可以大幅提高谐振子的调平效率，实现陀螺的跨尺度、超高精度、低应力调平，明显改善谐振子调平质量进而实现高质量、高效率加工。

公开(公告)号：CN117419746A

公开(公告)日：2024-01-19

申请号：CN202311386701.9

申请日：2023-10-24

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 姜澜 ,  王猛猛 ,  邱雨豪 ,  赵普 ,  张凯杰 ,  周禹初

IPC: G01C25/00 ,  G01C19/5691 ,  G01B11/00 ,  G01H9/00

Abstract: 本发明公开了一种基于显微测振的微半球谐振子在线激光修调系统，系统包括在线检测模块、在线加工模块以及显微成像模块，其中在线检测模块由单点式多普勒激光测振仪辅以显微成像模块组成，用于实时检测微半球谐振子的振动频率和观察微半球谐振子的检测位置；在线加工模块由三维扫描振镜辅以显微成像模块组成，用于实时去除微半球谐振子的质量缺陷和观察加工效果。显微测振能够在更小的尺度上检测物体的振动，并且成像系统能够更准确的定位测振位置，因此基于显微测振的微半球谐振子在线激光修调系统能够在微半球谐振子修调过程中更快速精准地识别刚性轴位置从而快速精准地进行微半球谐振子调平。

公开(公告)号：CN116676584A

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN202310643842.8

申请日：2023-06-01

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 姜澜 ,  周禹初 ,  王猛猛 ,  赵普 ,  邱雨豪 ,  张凯杰

IPC: C23C16/26 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明提供了一种高Q值微壳体谐振子石墨烯薄膜的制备方法，属于镀膜处理技术领域。本发明提供的制备方法为首先将微壳体谐振子表面清洗、干燥后用夹具进行装夹，然后将夹具和导流体置于管道中，将管道预热后通入保护气体，继续加热至石墨烯生长温度后通入混合气体，设定生长时间为4～5h，使石墨烯在微壳体谐振子内壁直接生长，最后待石墨烯生长完成后，通入保护气体并冷却至283～303K，取出微壳体谐振子，微壳体谐振子内壁即覆盖有均匀平整的石墨烯薄膜。本发明提供的制备方法操作简单，无需石墨烯转移过程，镀膜无褶皱、低粗糙度、q值衰减小，可用于高精度微壳体谐振子的制备。