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公开(公告)号：CN116372376A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310611495.0
申请日：2023-05-29
申请人： 北京理工大学 , 北京理工大学长三角研究院(嘉兴) , 中国船舶集团有限公司第七〇七研究所
IPC分类号： B23K26/346 , B23K26/36 , B23K26/70 , G01C19/66
摘要： 本发明属于微纳加工应用技术领域，具体涉及一种飞秒激光与离子束刻蚀联合修调半球谐振子的方法及装置；使用时空整形的飞秒激光和离子束刻蚀来实现从原子级至毫克级的质量去除，大幅提高调平的质量与精度，同时采用FPGA激励与检测电路来实现频率特性的快速分析，大幅提高调平效率，最终实现在线跨尺度调平。本发明可以大幅提高谐振子的调平效率，实现陀螺的跨尺度、超高精度、低应力调平，明显改善谐振子调平质量进而实现高质量、高效率加工。
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公开(公告)号：CN116372376B
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310611495.0
申请日：2023-05-29
申请人： 北京理工大学 , 北京理工大学长三角研究院(嘉兴) , 中国船舶集团有限公司第七〇七研究所
IPC分类号： B23K26/346 , B23K26/36 , B23K26/70 , G01C19/66
摘要： 本发明属于微纳加工应用技术领域，具体涉及一种飞秒激光与离子束刻蚀联合修调半球谐振子的方法及装置；使用时空整形的飞秒激光和离子束刻蚀来实现从原子级至毫克级的质量去除，大幅提高调平的质量与精度，同时采用FPGA激励与检测电路来实现频率特性的快速分析，大幅提高调平效率，最终实现在线跨尺度调平。本发明可以大幅提高谐振子的调平效率，实现陀螺的跨尺度、超高精度、低应力调平，明显改善谐振子调平质量进而实现高质量、高效率加工。
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公开(公告)号：CN118060734A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202311329090.4
申请日：2023-10-13
申请人： 北京理工大学 , 中国船舶集团有限公司第七〇七研究所 , 北京理工大学长三角研究院(嘉兴)
IPC分类号： B23K26/364 , B23K26/067 , B23K26/073 , B23K26/60 , B23K26/70
摘要： 本发明公开一种石英挠性加速度计的骨架线圈一体化共形激光加工方法，包括步骤一：在线圈骨架上沉积复合金属膜层；步骤二：将普通飞秒高斯光束在时空域上整形为双脉冲平顶光束；步骤三：对飞秒激光光束进行紧聚焦；步骤四：利用紧聚焦飞秒激光加工亚微米间距的螺旋线圈；步骤五：对镀膜线圈进行共形修饰。本发明可实现骨架线圈的一体化加工成型，膜层内应力小，骨架线圈结构更为可靠、抗冲击能力更强、热梯度更小、化学稳定性更好。
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公开(公告)号：CN116728012A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310705555.5
申请日：2023-06-15
申请人： 北京理工大学 , 中国船舶集团有限公司第七〇七研究所
IPC分类号： B23P15/00 , G01P15/08 , G01P15/125
摘要： 本发明公开一种石英挠性加速度计的摆组件一体化飞秒激光复合加工方法，包括步骤一、车削石英圆柱毛坯，加工出两侧圆柱状凸起结构，得到摆片；步骤二、飞秒激光加工摆片，去除两侧圆柱状凸起结构的中间部分，得到骨架；步骤三、飞秒激光加工摆片中心的通孔；步骤四、抛光摆片；步骤五、双脉冲贝塞尔光束对摆片的正反面辐照，得到贯穿摆片的改性区域；步骤六、刻蚀液刻蚀改性区域，得到U型通槽；步骤七、高斯激光加工挠性梁，得到石英挠性加速度计的摆组件一体化结构。本发明可实现摆片和骨架的一体化加工成型，减少误差源，在使用过程中不会产生残余应力，同时温度循环影响低、加工精度高，长期保持性良好。
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公开(公告)号：CN118501497B
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410948186.7
申请日：2024-07-16
申请人： 中国船舶集团有限公司第七〇七研究所
摘要： 本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种加速度计用全石英敏感部件，所述加速度计用全石英敏感部件包括骨架，骨架为等径圆筒形管体；摆片，摆片包括摆片本体和圆柱形通孔，圆柱形通孔设置于摆片本体的中心处，圆柱形通孔的内径大于等于骨架的外径；圆柱形通孔的内径大于等于骨架的外径；骨架纵向放置于圆柱形通孔内，摆片与骨架通过激光焊接的方法连接；还包括力矩线圈，力矩线圈包覆于骨架的外侧壁上。本发明用激光焊接的摆片和骨架结构代替分体式设计方式，由于消除了胶层导致的应力和蠕变等误差因素，使得石英挠性加速度计的长期和全温稳定性大幅提升。
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公开(公告)号：CN118501497A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410948186.7
申请日：2024-07-16
申请人： 中国船舶集团有限公司第七〇七研究所
摘要： 本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种加速度计用全石英敏感部件，所述加速度计用全石英敏感部件包括骨架，骨架为等径圆筒形管体；摆片，摆片包括摆片本体和圆柱形通孔，圆柱形通孔设置于摆片本体的中心处，圆柱形通孔的内径大于等于骨架的外径；圆柱形通孔的内径大于等于骨架的外径；骨架纵向放置于圆柱形通孔内，摆片与骨架通过激光焊接的方法连接；还包括力矩线圈，力矩线圈包覆于骨架的外侧壁上。本发明用激光焊接的摆片和骨架结构代替分体式设计方式，由于消除了胶层导致的应力和蠕变等误差因素，使得石英挠性加速度计的长期和全温稳定性大幅提升。
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公开(公告)号：CN118479719A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410551507.X
申请日：2024-05-07
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： C03B33/08 , B23K26/362 , B23K26/60 , C03C15/00 , C03B20/00 , C03C17/09 , B23K103/00
摘要： 本发明公开一种相位调制贝塞尔激光结合铬膜保护的石英切割方法，通过对入射高斯激光进行波前相位调制，抑制所生成贝塞尔激光旁瓣能量，减小其对材料的损伤；通过石英双面镀铬膜，保护表面免受刻蚀损伤，氟化氢铵溶液选择性刻蚀激光改性区域，刻蚀完成后溶解去除铬膜，实现高质量石英通槽成型。本发明兼顾传统湿法刻蚀工艺的高表面质量和贝塞尔激光加工的高垂直度特性，展示出对石英的高质量精密切割能力及广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN116871665A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202311086672.4
申请日：2023-08-28
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/0622 , B23K26/70
摘要： 本发明提供一种多视场反馈的整形激光三维硬脆结构加工方法及系统，所述系统包括时空整形模块、激光偏转模块、加工平台模块、柔性装夹模块、三维立体成像模块、气体吹吸模块。本发明利用三维建模软件对待加工样品进行特异性建模，并导出立体光刻文件(STL模型)和绘图交换文件(DXF模型)；使用制图软件对DXF模型编辑，并对激光加工路径设计；将加工路径投影至STL模型的加工位置；调整时空整形模块；使用柔性装夹模块和三维立体成像模块进行样品的安装及定位；使用三维成像模块反馈信息并做出补偿；使用气体吹吸模块进行保护气体吹拂及负压吸气。本发明可完成三维结构高效、高精、跨尺度加工，解决了使用振镜激光三维加工过程实时观测困难的问题。
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公开(公告)号：CN116676584A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310643842.8
申请日：2023-06-01
申请人： 北京理工大学
摘要： 本发明提供了一种高Q值微壳体谐振子石墨烯薄膜的制备方法，属于镀膜处理技术领域。本发明提供的制备方法为首先将微壳体谐振子表面清洗、干燥后用夹具进行装夹，然后将夹具和导流体置于管道中，将管道预热后通入保护气体，继续加热至石墨烯生长温度后通入混合气体，设定生长时间为4～5h，使石墨烯在微壳体谐振子内壁直接生长，最后待石墨烯生长完成后，通入保护气体并冷却至283～303K，取出微壳体谐振子，微壳体谐振子内壁即覆盖有均匀平整的石墨烯薄膜。本发明提供的制备方法操作简单，无需石墨烯转移过程，镀膜无褶皱、低粗糙度、q值衰减小，可用于高精度微壳体谐振子的制备。
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公开(公告)号：CN114046736A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111318162.6
申请日：2021-11-09
申请人： 北京理工大学
IPC分类号： G01B11/06
摘要： 本发明涉及一种基于泵浦探测分析确定金属电子弹道深度的方法，属于超快检测领域。该方法采用超连续白光泵浦探测对金属薄膜进行膜厚依赖的测试，后选择峰值信号动力学进行去卷积三指数拟合得到分别对应电子‑电子散射、电子‑声子散射和热扩散过程的时间常数，通过电‑电散射时间常数的膜厚依赖趋势分析确定电子弹道深度。这种方法为确定各种条件下的金属电子弹道深度提供了一种简单、精确且严谨的测试分析方案，并且对于各类金属具有普适性。
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