公开(公告)号：CN115939010A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202310180141.5

申请日：2023-02-15

申请人： 北京石油化工学院 ,  北京海炬电子科技有限公司

发明人： 刘强 ,  王凯毅 ,  马宁 ,  李衡 ,  王伟 ,  李爱琴 ,  王中辉

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/677 ,  H01L33/00

摘要： 本发明公开了一种巨量转移用三自由度混合支撑平台，由上X方向机械轨道系统、Y方向磁悬浮系统和下机械轨道系统三部分组成，上X方向机械轨道系统主要包括：大理石平台、支撑横梁、支撑横梁挡板、上X方向电机定子和上X方向导轨；Y方向磁悬浮系统主要包括：玻璃板传送架组件和玻璃板载台组件；下机械轨道系统主要包括：底座运动平台滑动导轨、底座电机定子、底座运动平台和基板传送架组件。本发明采用机械+磁浮混合构型，通过机械导轨实现目标焊点与芯片的X向行对位，利用磁浮系统实现芯片的Y向列快速机动，既有机械构型大行程、控制系统简单的优势，又具备磁浮构型高精度、快响应的特点，极大提高了芯片与焊点的对位速度和精度。

公开(公告)号：CN118412411A

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202310473276.0

申请日：2023-04-27

申请人： 北京石油化工学院 ,  北京海炬电子科技有限公司

发明人： 刘强 ,  王凯毅 ,  盛沙 ,  高晴利 ,  盛文祥 ,  刘万年

IPC分类号： H01L33/00 ,  H01L21/677

摘要： 本发明公开了一种气动针刺巨量转移装置，由气动针刺视觉系统、晶膜传送系统和基板传送系统组成，气动针刺视觉系统主要包括：大理石平台、支撑梁、相机安装板、相机、针刺滑台组件导轨、针刺滑台电机定子、针刺滑台组件、调压阀、高频压电陶瓷阀、针刺连接板和气嘴顶针；晶膜传送系统主要包括：支座、直线电机定子、限位板、晶膜传送架、晶膜载台和晶膜；基板传送系统主要包括：导轨、基板传送架电机定子、基板传送架、固定板和目标基板。本发明采用针刺与气动双重驱动芯片转移，利用针刺驱动源晶膜产生大形变，增加了晶膜回弹力，消除了顶针与芯片接触应力，提高了芯片工作寿命，缩短了晶膜回弹时间，提升了单颗芯片转移速度和芯片转移效率。