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公开(公告)号：CN115985819A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202310125651.2
申请日：2023-02-15
申请人： 北京石油化工学院 , 北京海炬电子科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种LED芯片巨量转移用自补偿测转实时共位的检测装置，由芯片转移系统、光学检测系统和对位系统组成；转移系统包括：平台底座、立柱支座、立柱、固定座、底板、连接块和激光头；光学检测系统包括：检测装置固定块、环形相机载台支架组件、检测相机、检测相机固定器和环形相机载台；对位系统包括：芯片载板和目标基板两者的对位平台底座、对位平台轨道、对位平台滑块、对位平台、棋盘格。实现了激光头、芯片和目标晶位三者垂直共位，采用三个夹角互为120°的CCD工业相机获取无盲区实时转移图像，通过自补偿消除了高速工作时单相机丢帧对检测精度的影响，且当任意一台相机故障时不影响系统工作，有效提高了芯片转移精度和效率。
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公开(公告)号：CN116759365A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310749854.9
申请日：2023-06-21
申请人： 北京石油化工学院 , 北京海炬电子科技有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/68
摘要： 本发明公开了一种氢能气动巨量转移机构，主要由工作平台移动系统、氢氧反应器系统和工装移动系统组成。工作平台移动系统主要包括：大理石底座、弓形大理石支柱、上X/Y轴直线电机、上X轴光栅和上X轴滑台；氢氧反应器系统主要包括：上滑台、CCD相机、反应器滑槽板、氢氧反应器、管道和电磁阀；工装移动系统主要包括：下X/Y轴直线电机、下X/Y轴光栅、下X/Y轴滑台、音圈电机组、限位装置组、真空底座和芯片载板。本发明采用氢能气动进行芯片转移，利用氢氧反应产生高压气体，驱动蓝膜产生气泡，推动芯片转移，具有转移姿态可控、膜材可重复使用、无工作环境污染、无需反应介质、无需高精度工装和气泡形状良好的优点，可实现高精度和高良率的巨量转移。
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公开(公告)号：CN116246979A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310097590.3
申请日：2023-01-19
申请人： 北京石油化工学院 , 北京海炬电子科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种具有粘度梯度的巨量转移用晶膜可用于Mini/Micro LED芯片巨量转移，主要由玻璃板、高粘度胶层、弹性体层、低粘度胶层、芯片、气体喷射阀、PCB板、PCB板吸盘、玻璃板吸盘橡胶垫片和玻璃板吸盘组成。本发明采用粘度梯度晶膜实现芯片转移，其晶膜下低粘度胶层对芯片的粘力远小于PCB板锡膏对芯片的粘力，使芯片在锡膏粘力作用下从晶膜下表面快速剥落至PCB板焊点，提升芯片转移速度。同时，其晶膜上高粘度胶层对玻璃板的粘力较大，减小了鼓包气泡直径，增加鼓包气泡高径比，避免了转移芯片对相邻芯片姿态影响，提升芯片转移良率。
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公开(公告)号：CN116072573A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202310161990.6
申请日：2023-02-21
申请人： 北京石油化工学院 , 北京海炬电子科技有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683 , H01L33/00
摘要： 本发明公开了一种跟踪稳距气动巨量转移装置，主要由目标基板载台系统、源基板载台系统和气动稳距系统组成，目标基板载台系统主要包括：大理石底座、支座、目标基板运动台、目标基板治具和目标基板；源基板载台系统主要包括：源基板运动台、源基板真空吸盘和源基板；气动稳距系统主要包括：立柱、电机安装板、高度调节伺服电机、连接板、气动器固定座、气动器、微调平台、表头安装底板、测量表和红宝石测针。本发明使用跟踪稳距技术保证气动器工作位与源基板间距始终恒定，消除了气动器与源基板间距波动对工作气体的影响，实现气动巨量转移装置转移芯片时作用于晶膜上的气体状态的一致性，提高了芯片转移精度和转移良率。
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公开(公告)号：CN115939010A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202310180141.5
申请日：2023-02-15
申请人： 北京石油化工学院 , 北京海炬电子科技有限公司
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/677 , H01L33/00
摘要： 本发明公开了一种巨量转移用三自由度混合支撑平台，由上X方向机械轨道系统、Y方向磁悬浮系统和下机械轨道系统三部分组成，上X方向机械轨道系统主要包括：大理石平台、支撑横梁、支撑横梁挡板、上X方向电机定子和上X方向导轨；Y方向磁悬浮系统主要包括：玻璃板传送架组件和玻璃板载台组件；下机械轨道系统主要包括：底座运动平台滑动导轨、底座电机定子、底座运动平台和基板传送架组件。本发明采用机械+磁浮混合构型，通过机械导轨实现目标焊点与芯片的X向行对位，利用磁浮系统实现芯片的Y向列快速机动，既有机械构型大行程、控制系统简单的优势，又具备磁浮构型高精度、快响应的特点，极大提高了芯片与焊点的对位速度和精度。
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公开(公告)号：CN111580539B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202010550809.7
申请日：2020-06-16
申请人： 北京石油化工学院
IPC分类号： G05D1/495 , G05D1/46 , G05D101/10 , G05D109/20
摘要： 本发明公开了一种洛伦兹惯性稳定平台摩擦辨识与补偿控制方法。针对洛伦兹惯性稳定平台工作时轴承与定子之间存在非线性摩擦力，建立平台偏转下静态和动态摩擦特性的LuGre摩擦模型。通过匀速偏转实验测量Stribeck曲线，采用基于最小二乘法的线性回归方程进行数据拟合，辨识模型的静态参数；基于静态参数中的粘性摩擦系数，采用微观鬃毛形变思想，将预滑动现象等效成二阶阻尼振荡运动，并通过测量系统阶跃响应解算动态参数。根据已辨识的静态和动态参数，采用反步法递推思想构造Lyapunov函数，完成非线性反馈补偿控制器设计，解决非线性摩擦力矩对动子偏转的干扰问题。本发明属于惯性稳定平台控制领域，适用于平台非线性摩擦力矩的辨识和补偿控制。
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公开(公告)号：CN111580539A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010550809.7
申请日：2020-06-16
申请人： 北京石油化工学院
IPC分类号： G05D1/08
摘要： 本发明公开了一种洛伦兹惯性稳定平台摩擦辨识与补偿控制方法。针对洛伦兹惯性稳定平台工作时轴承与定子之间存在非线性摩擦力，建立平台偏转下静态和动态摩擦特性的LuGre摩擦模型。通过匀速偏转实验测量Stribeck曲线，采用基于最小二乘法的线性回归方程进行数据拟合，辨识模型的静态参数；基于静态参数中的粘性摩擦系数，采用微观鬃毛形变思想，将预滑动现象等效成二阶阻尼振荡运动，并通过测量系统阶跃响应解算动态参数。根据已辨识的静态和动态参数，采用反步法递推思想构造Lyapunov函数，完成非线性反馈补偿控制器设计，解决非线性摩擦力矩对动子偏转的干扰问题。本发明属于惯性稳定平台控制领域，适用于平台非线性摩擦力矩的辨识和补偿控制。
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