一种具备金刚石/铜垫片的双面水冷功率模块及其制备方法

    公开(公告)号:CN118571850A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410633934.2

    申请日:2024-05-21

    摘要: 本发明属于电力电子技术领域,公开了一种具备金刚石/铜垫片的双面水冷功率模块及其制备方法,双面水冷功率模块,由金刚石/铜垫片,功率芯片,基板,金属焊料,散热器,功率端子等组装制备而成。金刚石/铜垫片可通过高温高压或气压烧结工艺制备而成。对垫片进行打磨和表面修饰增强其与DBC基板的可焊性。基于该金刚石/铜垫片的双面水冷功率模块,预期在同等条件下相对常规钼片、钼铜等金属垫片的双面水冷功率模块,最大减少20%热阻,温度循环能力提升8倍。本发明公开的具有金刚石/铜垫片的双面水冷功率模块具有低热阻、强散热、高可靠的特点,工艺简单,成本可控,适用于电力电子领域的批量生产,具有广阔的应用前景。

    一种多层多组分高温防水氧封装结构、制备方法及应用

    公开(公告)号:CN117238860A

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202311274780.4

    申请日:2023-09-28

    IPC分类号: H01L23/31 H01L23/29

    摘要: 本发明属于功率器件封装技术领域,公开了一种多层多组分高温封装结构、制备方法及应用,由多层多组分薄膜交替堆叠而成,封装方式为ABABABABAB···。其中,A为有机层,包括Parylene薄膜,硅凝胶,环氧树脂等,B为无机层,包括Al2O3,SiO2,SiN等;Parylene包括Parylene N、C、D、F、HT,通过化学气相沉积工艺实现低温均匀致密沉积;硅凝胶,环氧树脂为双组分有机物,通过混合,除气,固化等步骤制备。Al2O3,SiO2,SiN等采用原子层沉积或磁控溅射等真空镀膜法制备。本发明的高温封装方案可保护DBC基板/芯片在250℃长期可靠,可使功率器件稳定运行于高温高湿环境下。