一种用于制备大面积柔性超薄单晶硅片的湿法化学腐蚀法

    公开(公告)号:CN105047528B

    公开(公告)日:2018-08-21

    申请号:CN201510219200.0

    申请日:2015-05-04

    Abstract: 本发明公开了属于半导体技术领域的一种用于制备大面积柔性超薄单晶硅片的湿法化学腐蚀法。本发明采用N(100)双面抛光单晶硅片,利用丙酮、无水乙醇、去离子水和氢氟酸预处理得到清洁的硅表面,配制由氢氧化钾、异丙醇和去离子水均匀混合而成的减薄液并放入水浴中预热,然后把用夹具固定好的硅片浸入减薄液,通过控制反应时间和温度可获得所需厚度的超薄硅片。超薄硅片表面光亮平整,呈镜面效果,无明显的减薄缺陷。本发明利用单步法简化硅片减薄的工艺过程,并保持了低温、常压下湿法腐蚀的特征,首次获得了厚度可达10mm以下的超薄硅片,拓宽了湿法硅刻蚀的应用范畴,为硅片减薄工艺提供了新的思路和技术手段。

    一种碳纳米管与氧化镍复合材料的制备方法

    公开(公告)号:CN105006376B

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201510404605.1

    申请日:2015-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管与氧化镍复合材料的制备方法,属于纳米材料技术领域。本发明首先通过水热法,利用Ni(NO3)2·6H2O和D‑葡萄糖混合溶液制备出了氢氧化镍球形结构。将制得的球形结构氢氧化镍放在硅基板上,在化学气相沉积系统(CVD)中,通氩气,然后加热,使得氢氧化镍转变成氧化镍;再同时通氢气,将氧化镍球部分还原成镍单质,然后通乙烯气体,在部分还原的氧化镍球表面原位催化生长碳纳米管。通过这种方法,可以简单高效地一步制备氧化镍与碳管的复合材料。相比于传统复合方法而言,这种方法还能使氧化镍与碳管结合得更加紧密,导电性更好,更加稳定,从而能更有效地提高该复合材料的性能。该复合材料在制备超级电容器和锂电池等电化学器件上有广泛的应用前景。

    一种松塔状二氧化钛纳米材料的制备方法

    公开(公告)号:CN103880072A

    公开(公告)日:2014-06-25

    申请号:CN201410108304.X

    申请日:2014-03-24

    Abstract: 本发明公开了一种松塔状二氧化钛纳米材料的制备方法,属于纳米材料技术领域。本发明采用商业用的TiO2(P25)纳米颗粒,利用水热法合成TiO2纳米带,并以此为载体。配置好硫酸钛溶液,将一定量的TiO2纳米带、氟化铵和尿素加入其中,搅拌均匀;将混合溶液转移至高压反应釜中,在一定温度下反应一段时间,然后洗涤、干燥处理后得到松塔状TiO2纳米材料。光催化甲基橙的实验表明,相比于TiO2纳米带,松塔状TiO2纳米材料具有更强的光催化活性。

    一种薄片状二氧化钛阵列薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN105152206B

    公开(公告)日:2017-12-12

    申请号:CN201510405212.2

    申请日:2015-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种薄片状二氧化钛阵列薄膜的制备方法,属于纳米材料技术领域。本发明采用透明导电玻璃为基底,以钛酸四正丁酯为前驱体、硝酸银作为催化剂,利用简单的一步水热法合成了有序的具有介孔的薄片状二氧化钛阵列薄膜,其操作简单,成本低廉。所制得有序规则的薄片状二氧化钛垂直生长在导电玻璃基底,有助于提高电荷传输性能;且该薄片状二氧化钛具有介孔结构,有助于增大材料的比表面积。本发明制备的薄片状二氧化钛阵列薄膜可应用于染料敏化太阳能电池、钙钛矿太阳能电池、光催化等领域。

    一种富含三价钛缺陷的二氧化钛材料的制备方法

    公开(公告)号:CN106629837A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201610817168.0

    申请日:2016-09-13

    CPC classification number: C01G23/053 C01P2006/40 C01P2006/42

    Abstract: 本发明涉及一种富含三价钛缺陷的二氧化钛片层材料的制备方法。使用正丙醇、钛酸四丁酯、氢氟酸和氧化石墨烯作为原料,通过溶剂热法进行合成。合成过程中,氢氟酸为表面活性剂,能促进三价钛缺陷和片层结构的形成;氧化石墨烯为添加剂,改善了所制备材料的导电性,也进一步促使了三价钛缺陷的形成;同时,我们应用冷冻干燥技术进行材料的干燥,可以保持原来的结构不发生坍塌,结构疏松,比表面积比大。因此,将该材料用于锂离子电池负极,相比于商用二氧化钛P25,我们的材料呈片层状且富含三价钛缺陷,具有较大的比表面积,不仅有利于提高电子传输速度,还有利于促进锂离子的快速脱嵌,提高了锂离子电池的倍率性能和可逆容量。

    一种松塔状二氧化钛纳米材料的制备方法

    公开(公告)号:CN103880072B

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201410108304.X

    申请日:2014-03-24

    Abstract: 本发明公开了一种松塔状二氧化钛纳米材料的制备方法,属于纳米材料技术领域。本发明采用商业用的TiO2(P25)纳米颗粒,利用水热法合成TiO2纳米带,并以此为载体。配置好硫酸钛溶液,将一定量的TiO2纳米带、氟化铵和尿素加入其中,搅拌均匀;将混合溶液转移至高压反应釜中,在一定温度下反应一段时间,然后洗涤、干燥处理后得到松塔状TiO2纳米材料。光催化甲基橙的实验表明,相比于TiO2纳米带,松塔状TiO2纳米材料具有更强的光催化活性。

    一种薄片状二氧化钛阵列薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN105152206A

    公开(公告)日:2015-12-16

    申请号:CN201510405212.2

    申请日:2015-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种薄片状二氧化钛阵列薄膜的制备方法,属于纳米材料技术领域。本发明采用透明导电玻璃为基底,以钛酸四正丁酯为前驱体、硝酸银作为催化剂,利用简单的一步水热法合成了有序的具有介孔的薄片状二氧化钛阵列薄膜,其操作简单,成本低廉。所制得有序规则的薄片状二氧化钛垂直生长在导电玻璃基底,有助于提高电荷传输性能;且该薄片状二氧化钛具有介孔结构,有助于增大材料的比表面积。本发明制备的薄片状二氧化钛阵列薄膜可应用于染料敏化太阳能电池、钙钛矿太阳能电池、光催化等领域。

    一种用于制备大面积柔性超薄单晶硅片的湿法化学腐蚀法

    公开(公告)号:CN105047528A

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201510219200.0

    申请日:2015-05-04

    CPC classification number: H01L21/02019 H01L21/02052

    Abstract: 本发明公开了属于半导体技术领域的一种用于制备大面积柔性超薄单晶硅片的湿法化学腐蚀法。本发明采用N(100)双面抛光单晶硅片,利用丙酮、无水乙醇、去离子水和氢氟酸预处理得到清洁的硅表面,配制由氢氧化钾、异丙醇和去离子水均匀混合而成的减薄液并放入水浴中预热,然后把用夹具固定好的硅片浸入减薄液,通过控制反应时间和温度可获得所需厚度的超薄硅片。超薄硅片表面光亮平整,呈镜面效果,无明显的减薄缺陷。本发明利用单步法简化硅片减薄的工艺过程,并保持了低温、常压下湿法腐蚀的特征,首次获得了厚度可达10mm以下的超薄硅片,拓宽了湿法硅刻蚀的应用范畴,为硅片减薄工艺提供了新的思路和技术手段。

    一种碳纳米管与氧化镍复合材料的制备方法

    公开(公告)号:CN105006376A

    公开(公告)日:2015-10-28

    申请号:CN201510404605.1

    申请日:2015-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管与氧化镍复合材料的制备方法,属于纳米材料技术领域。本发明首先通过水热法,利用Ni(NO3)2· 6H2O和D-葡萄糖混合溶液制备出了氢氧化镍球形结构。将制得的球形结构氢氧化镍放在硅基板上,在化学气相沉积系统(CVD)中,通氩气,然后加热,使得氢氧化镍转变成氧化镍;再同时通氢气,将氧化镍球部分还原成镍单质,然后通乙烯气体,在部分还原的氧化镍球表面原位催化生长碳纳米管。通过这种方法,可以简单高效地一步制备氧化镍与碳管的复合材料。相比于传统复合方法而言,这种方法还能使氧化镍与碳管结合得更加紧密,导电性更好,更加稳定,从而能更有效地提高该复合材料的性能。该复合材料在制备超级电容器和锂电池等电化学器件上有广泛的应用前景。

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