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公开(公告)号：CN108016135B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201711269019.6
申请日：2017-12-05
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种点状图形喷墨打印系统及喷墨打印方法。该系统包括打印基底、喷嘴装置以及转轴，所述的喷嘴装置设在打印基底上方，所述的喷嘴装置包括墨水打印喷嘴、溶剂打印喷嘴和打印喷嘴移动组件，所述的墨水打印喷嘴和溶剂打印喷嘴装载在打印喷嘴移动组件上，所述的转轴与打印喷嘴移动组件连接。本发明依据蒸发微环境控制形貌的机制，通过同时打印墨水和溶剂图形，最终溶剂蒸发，只留下墨水打印图形，利用溶剂蒸发去影响墨水蒸发，最终能达到形貌控制的目的，解决喷墨打印点状图形遇到的“咖啡环”问题，满足不同墨水均匀形貌的打印需求。
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公开(公告)号：CN107739554B
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201710785335.2
申请日：2017-09-04
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明属于印刷电子领域，公开了一种快速凝胶化氧化锆喷墨打印墨水及其制备方法和应用。所述锆喷墨打印墨水由八水氧氯化锆、聚乙二醇6000和去离子水构成，其凝胶点为70‑75℃。将氧化锆喷墨打印墨水加入到喷墨打印机中，在60℃基板上喷墨打印，然后在300～400℃进行热处理，得到氧化锆薄膜。本发明通过引入高分子聚乙二醇6000，使得溶液体系的粘度达到喷墨打印工艺要求，同时使得溶液体系的凝胶点控制在70‑75℃，溶液在成膜过程中其流动性也受到了尽可能的限制，从而抑制咖啡环效应，制得均匀的氧化锆薄膜。
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公开(公告)号：CN110534434A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910634921.6
申请日：2019-07-15
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L21/34 , H01L21/445 , H01L21/4763 , H01L29/872
Abstract: 本发明属于印刷电子技术领域，公开了一种溶液法制备金属氧化物TFD的方法。选取禁带宽度相近的金属氧化物绝缘材料和金属氧化物导电材料的前驱体，将其分别溶于同一种溶剂或互溶的溶剂得到绝缘材料前驱体溶液和导电材料前驱体溶液：然后将绝缘材料前驱体溶液和导电材料前驱体溶液依次旋涂于正极衬底上，热退火处理后沉积一层负电极材料，得到金属氧化物TFD。本发明基于溶液法旋涂禁带宽度相近且能溶于互溶或同一溶剂体系的绝缘层和导体层，利用绝缘层和导体层之间形成较大混溶区，使得金属氧化物薄膜器件表现出二极管的整流特性，制备出高性能的金属氧化物薄膜二极管。
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公开(公告)号：CN109616525A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811434260.4
申请日：2018-11-28
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L21/02
Abstract: 本发明属于薄膜晶体管技术领域，公开了一种溶液法制备锆铝氧化物绝缘层薄膜及叠层结构的方法。所述方法包括如下步骤：将五水合硝酸锆和九水合硝酸铝溶于乙二醇单甲醚中，搅拌老化得到前驱体溶液；在ITO玻璃衬底上旋涂所得的前驱体溶液，然后在300～500℃退火处理1～2h，得到锆铝氧化物绝缘层薄膜。在所得锆铝氧化物绝缘层薄膜上通过磁控溅射镀圆形Al电极，得到MIM叠层结构。本发明提高绝缘薄膜的物理化学性能，如漏电流密度从6.71×10-5A/cm2降低为3.8×10-7A/cm2，禁带宽度从5.0eV提升为5.8eV，禁带宽度的增大将有利于提高击穿电压。
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公开(公告)号：CN107364248B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201710512228.2
申请日：2017-06-29
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明涉及一种喷墨打印薄膜与基板界面观测与调控的方法，包括以下步骤，首先，用打印机在清洗干燥过的基板上打印电极图案；其次，电极喷墨打印薄膜经过以下固化过程：(1)先将电极喷墨打印薄膜在还处于液态时置于0℃以下温度环境冷冻一段时间；(2)将未发生固化的经过冷冻的电极喷墨打印薄膜使用高功率UV固化设备进行固化，固化的过程中电极喷墨打印薄膜产生移动，最后，对界面的形貌、成分等信息使用光学与电镜等手段进行直接观察与调控。(1)本方法制样简单、易操作、耗时短；(2)设备成本要求低；(3)可以观察界面从微观到宏观的各个尺度信息；(4)所反映信息与现有测试方法不同，是对现有测试手段的补充，观测结果可靠。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109243992A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201810834600.6
申请日：2018-07-26
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明属于薄膜器件分析领域，公开了一种检测溶液法绝缘层TFT质量的方法。将溶液法绝缘层TFT样品放置于μ-PCD仪器中，测试样品的载流子强度以及光电导衰减情况，从而得出溶液法绝缘层的均匀性及TFT器件质量；所述溶液法绝缘层TFT包括依次层叠的玻璃片、溶液法绝缘薄膜和半导体有源层薄膜，所述半导体有源层薄膜完全覆盖绝缘薄膜。本发明以简单的样品结构和测试方法，解决了溶液法加工绝缘薄膜均匀性测试的问题，同时为溶液法绝缘薄膜对半导体的影响提供了一定的参考价值，具有很强的实用性。
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公开(公告)号：CN109130493A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810938139.9
申请日：2018-08-17
Applicant: 华南理工大学
IPC: B41J2/01 , C09D11/033 , C09D11/03
CPC classification number: B41J2/01 , C09D11/03 , C09D11/033
Abstract: 本发明属于印刷电子领域，涉及氧化物薄膜的喷墨打印制备工艺，具体涉及一种改善喷墨打印墨水沉积均匀性的方法。所述方法包括以下步骤：打印机基板保持50～60℃，墨滴速度10m/s，喷头不升温，墨滴间距取30～40μm，在衬底上进行多喷头喷墨打印，喷头数量为3～4个；打印结束后退火1h；喷墨打印中使用的墨水溶剂为以体积比1/2～2/1混合的乙二醇与乙二醇甲醚，墨水中还含有相当于所述溶剂质量3～5％的聚乙烯吡咯烷酮，以及浓度为0.1～1.0M的八水合氯氧化锆。相比传统的凝胶模板法，本发明通过对打印机参数的简单改进，解决了非牛顿流体墨水在快干打印工艺中的沉积不均问题。
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公开(公告)号：CN108447790A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810314156.5
申请日：2018-04-10
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L21/445 , H01L29/786 , H01L29/51
Abstract: 本发明属于薄膜晶体管技术领域，公开了一种基于低温氧化锆绝缘层的薄膜晶体管及其制备方法。将Zr(NO3)4·5H2O溶于乙二醇单甲醚中，搅拌老化得到前驱体溶液；在ITO玻璃衬底上旋涂所得前驱体溶液，然后在200℃退火处理1～2h，得到氧化锆绝缘层薄膜；然后通过磁控溅射镀IGZO，在200℃下退火处理1h，得到有源层；在有源层上通过磁控溅射源/漏电极，得到基于低温氧化锆绝缘层的薄膜晶体管。本发明通过Zr(NO3)4·5H2O得到含硝酸基ZrO2绝缘层的前驱体溶液，从而降低溶液法制备氧化锆绝缘层薄膜所需的退火温度，结合溅射工艺得到的有源层，从而可以在较低温度下制备氧化物薄膜晶体管。
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公开(公告)号：CN108016135A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201711269019.6
申请日：2017-12-05
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种点状图形喷墨打印系统及喷墨打印方法。该系统包括打印基底、喷嘴装置以及转轴，所述的喷嘴装置设在打印基底上方，所述的喷嘴装置包括墨水打印喷嘴、溶剂打印喷嘴和打印喷嘴移动组件，所述的墨水打印喷嘴和溶剂打印喷嘴装载在打印喷嘴移动组件上，所述的转轴与打印喷嘴移动组件连接。本发明依据蒸发微环境控制形貌的机制，通过同时打印墨水和溶剂图形，最终溶剂蒸发，只留下墨水打印图形，利用溶剂蒸发去影响墨水蒸发，最终能达到形貌控制的目的，解决喷墨打印点状图形遇到的“咖啡环”问题，满足不同墨水均匀形貌的打印需求。
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公开(公告)号：CN107129722B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201710399212.5
申请日：2017-05-31
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种喷墨打印氧化锆绝缘层用墨水及其制备方法。该喷墨打印氧化锆绝缘层用墨水，包括溶质和溶剂，所述的溶质为氯氧化锆；所述的溶剂为乙二醇甲醚、乙二醇和聚乙二醇。该墨水通过将氯氧化锆溶解到乙二醇甲醚、乙二醇和聚乙二醇的混合溶剂中，搅拌均匀后使溶液老化的方法制备得到。本发明的喷墨打印氧化锆绝缘层用墨水中引入了聚乙二醇和乙二醇，在提升溶液的沸点及其粘度的同时不会影响氯氧化锆的溶解，使制得的体系稳定，更适合用于喷墨打印。
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