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公开(公告)号：CN110543056B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201910795071.8
申请日：2019-08-27
Applicant: 华南理工大学
IPC: G02F1/1524 , G02F1/1523
Abstract: 本发明公开了一种无机全固态电致变色器件及其制备方法；属于光电器件领域。本发明通过溶液法，以氧化镍为原料低温制备了氧化镍离子存储层，再制备氧化锆作为离子导电层，然后通过外加电场，将电解液中的氢离子注入离子存储层中，从而得到包含离子的叠层结构，使得原本不含自由移动工作离子的氧化锆能够作为离子导电层使用。然后在之上旋涂氧化钨电致变色薄膜以及透明电极，从而构成无机全固态电致变色器件。
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公开(公告)号：CN110543056A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201910795071.8
申请日：2019-08-27
Applicant: 华南理工大学
IPC: G02F1/1524 , G02F1/1523
Abstract: 本发明公开了一种无机全固态电致变色器件及其制备方法；属于光电器件领域。本发明通过溶液法，以氧化镍为原料低温制备了氧化镍离子存储层，再制备氧化锆作为离子导电层，然后通过外加电场，将电解液中的氢离子注入离子存储层中，从而得到包含离子的叠层结构，使得原本不含自由移动工作离子的氧化锆能够作为离子导电层使用。然后在之上旋涂氧化钨电致变色薄膜以及透明电极，从而构成无机全固态电致变色器件。
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公开(公告)号：CN109574515A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811529766.3
申请日：2018-12-14
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明涉及一种电致变色汽车挡风玻璃及其制备方法。该汽车挡风玻璃依次由玻璃衬底、透明图形化阴极、电致变色层、聚合物锂离子电解质层、离子储存层、透明公共阳极和玻璃衬底构成。所述制备方法包括以下步骤：(1)在第1玻璃基板上采用喷墨打印方法依次制备透明图形化阴极、电致变色层；(2)在第2玻璃基板采用喷墨打印方法依次制备透明公共阳极、离子储存层；(3)将两块玻璃基板用聚合物锂离子电解质层压合粘结。本发明的优点在于：本发明制备方法将电致变色技术应用在汽车前挡风玻璃上，采用了图形化的电极，实现了挡风玻璃区域化变色，同时采用了低于人眼分辨率的电极间距，视觉效果、透射性能更佳。
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公开(公告)号：CN110614863B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN201910841335.9
申请日：2019-09-06
Applicant: 华南理工大学
IPC: B41M5/00
Abstract: 本发明属于喷墨打印技术领域，公开了一种实现喷墨打印均匀图案阵列的方法。将玻璃基板经预处理后旋涂一层聚合物溶液，紫外光固化得到聚合物薄膜；所述聚合物薄膜与后续喷墨打印墨水的溶剂相溶；将喷墨打印墨水在上述聚合物薄膜上喷墨打印均匀墨滴阵列，退火处理后自然冷却，得到均匀图案阵列。本发明通过在喷墨打印前预先制备一层聚合物薄膜，利用喷墨打印过程中的“咖啡环”效应，可以得到高精细均匀图案阵列，突破了传统制备方法的极限，且获得的图案阵列具有良好的可重复性、均匀性。
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公开(公告)号：CN111455324B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202010315773.4
申请日：2020-04-21
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明属于薄膜材料制备技术领域，公开了一种晶型及厚度可控的二氧化锆薄膜的制备方法。以氧化锆为靶材，将玻璃基片放置在基板上，将真空腔室抽至2×10‑4～5×10‑4Pa，调整靶材与基板之间的距离，设置脉冲频率为4～6Hz，激光能量为150～350mJ，采用非圆形的激光光斑照射靶材，预沉积1～3min后将脉冲数设置为10000～30000次继续沉积，然后在空气环境中热退火，退火温度为300～400℃，得到晶型及厚度可控的二氧化锆薄膜。本发明通过激光光斑的形状及基片放置的位置调控薄膜晶型，通过沉积时的脉冲数及靶材‑基板距离等调节厚度，可以实现一次制样得到不同晶型及厚度的氧化锆薄膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110783412A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201910999810.5
申请日：2019-10-21
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L29/24 , H01L29/49 , H01L29/51 , H01L21/34 , H01L21/443
Abstract: 本发明属于薄膜晶体管技术领域，涉及一种基于等离子体增强原子层沉积栅极绝缘层的氧化锡基薄膜晶体管，包括依次设置的：衬底、栅极、栅极绝缘层、有源层和源漏电极，其中：栅极绝缘层是由等离子体增强原子层沉积制备的氧化铝薄膜，有源层是通过磁控溅射沉积制备的硅掺杂氧化锡薄膜。本发明的氧化锡基薄膜晶体管采用等离子体增强原子层沉积法制备高介电常数的氧化铝作为栅极绝缘层，并且使用非晶硅掺杂氧化锡半导体材料作为有源层材料，降低了有源层/栅极绝缘层界面缺陷态和器件的开启电压，显著地提高了器件迁移率和稳定性。本发明还提供一种基于等离子体增强原子层沉积栅极绝缘层的氧化锡基薄膜晶体管制备方法。
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公开(公告)号：CN110614863A
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201910841335.9
申请日：2019-09-06
Applicant: 华南理工大学
IPC: B41M5/00
Abstract: 本发明属于喷墨打印技术领域，公开了一种实现喷墨打印均匀图案阵列的方法。将玻璃基板经预处理后旋涂一层聚合物溶液，紫外光固化得到聚合物薄膜；所述聚合物薄膜与后续喷墨打印墨水的溶剂相溶；将喷墨打印墨水在上述聚合物薄膜上喷墨打印均匀墨滴阵列，退火处理后自然冷却，得到均匀图案阵列。本发明通过在喷墨打印前预先制备一层聚合物薄膜，利用喷墨打印过程中的“咖啡环”效应，可以得到高精细均匀图案阵列，突破了传统制备方法的极限，且获得的图案阵列具有良好的可重复性、均匀性。
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公开(公告)号：CN109742149A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201811533635.2
申请日：2018-12-14
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/34
Abstract: 本发明属于薄膜晶体管技术领域，公开了一种双层硅掺杂氧化锡基薄膜晶体管及其制备方法和应用。本发明采用低成本的非晶硅掺杂氧化锡半导体材料作为有源层材料，通过改变氧分压，制备双有源层结构，调控器件沟道中的载流子，获得良好的器件性能，因此可应用于液晶显示和有机发光二极管显示中。本发明制备双有源层的靶材是同一块靶材，不需要开腔更换靶材，制备简单，有效地节约成本和提高生产效率。
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公开(公告)号：CN109574515B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201811529766.3
申请日：2018-12-14
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明涉及一种电致变色汽车挡风玻璃及其制备方法。该汽车挡风玻璃依次由玻璃衬底、透明图形化阴极、电致变色层、聚合物锂离子电解质层、离子储存层、透明公共阳极和玻璃衬底构成。所述制备方法包括以下步骤：(1)在第1玻璃基板上采用喷墨打印方法依次制备透明图形化阴极、电致变色层；(2)在第2玻璃基板采用喷墨打印方法依次制备透明公共阳极、离子储存层；(3)将两块玻璃基板用聚合物锂离子电解质层压合粘结。本发明的优点在于：本发明制备方法将电致变色技术应用在汽车前挡风玻璃上，采用了图形化的电极，实现了挡风玻璃区域化变色，同时采用了低于人眼分辨率的电极间距，视觉效果、透射性能更佳。
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公开(公告)号：CN111455324A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010315773.4
申请日：2020-04-21
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明属于薄膜材料制备技术领域，公开了一种晶型及厚度可控的二氧化锆薄膜的制备方法。以氧化锆为靶材，将玻璃基片放置在基板上，将真空腔室抽至2×10-4～5×10-4Pa，调整靶材与基板之间的距离，设置脉冲频率为4～6Hz，激光能量为150～350mJ，采用非圆形的激光光斑照射靶材，预沉积1～3min后将脉冲数设置为10000～30000次继续沉积，然后在空气环境中热退火，退火温度为300～400℃，得到晶型及厚度可控的二氧化锆薄膜。本发明通过激光光斑的形状及基片放置的位置调控薄膜晶型，通过沉积时的脉冲数及靶材-基板距离等调节厚度，可以实现一次制样得到不同晶型及厚度的氧化锆薄膜。
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