公开(公告)号：CN1608148A

公开(公告)日：2005-04-20

申请号：CN02826062.7

申请日：2002-11-07

申请人： 华盛顿卡内基研究所 ,  UAB研究基金会

发明人： 罗素·J·赫姆利 ,  毛河光 ,  颜志学 ,  约格施·K·沃赫拉

IPC分类号： C30B25/02 ,  C30B25/16 ,  C23C16/27 ,  C23C16/52 ,  C30B25/10

CPC分类号： C30B25/105 ,  C30B25/12 ,  C30B29/04 ,  Y10T117/1004 ,  Y10T117/1008 ,  Y10T117/1016 ,  Y10T117/108

摘要： 一种在沉积室内生产金刚石的装置，包括：用于夹持金刚石并与金刚石的邻近于其生长面的一边的侧面热接触的散热夹具；设置用来测量沿金刚石生长面的温度的非接触式温度测量装置；和用于接收来自上述非接触式温度测量装置的温度测量数据并控制生长面的温度使沿生长面的所有温度梯度小于20℃的总过程控制器。一种生产金刚石的方法，包含如下步骤：在夹具内安置金刚石使之与金刚石的邻近于其生长面的一边的侧面热接触，测量金刚石生长面的温度并得出温度测量数据；根据上述温度测量数据控制生长面的温度；和在生长面上按微波等离子化学蒸气沉积法生长单晶金刚石，其中，金刚石生长速率大于1μm/h。

公开(公告)号：CN1296528C

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：CN02826062.7

申请日：2002-11-07

申请人： 华盛顿卡内基研究所 ,  UAB研究基金会

发明人： 罗素·J·赫姆利 ,  毛河光 ,  颜志学 ,  约格施·K·沃赫拉

IPC分类号： C30B25/02 ,  C30B25/16 ,  C23C16/27 ,  C23C16/52 ,  C30B25/10

CPC分类号： C30B25/105 ,  C30B25/12 ,  C30B29/04 ,  Y10T117/1004 ,  Y10T117/1008 ,  Y10T117/1016 ,  Y10T117/108

摘要： 一种在沉积室内生产金刚石的装置，包括：用于夹持金刚石并与金刚石的邻近于其生长面的一边的侧面热接触的散热夹具；设置用来测量沿金刚石生长面的温度的非接触式温度测量装置；和用于接收来自上述非接触式温度测量装置的温度测量数据并控制生长面的温度使沿生长面的所有温度梯度小于20℃的总过程控制器。一种生产金刚石的方法，包含如下步骤：在夹具内安置金刚石使之与金刚石的邻近于其生长面的一边的侧面热接触，测量金刚石生长面的温度并得出温度测量数据；根据上述温度测量数据控制生长面的温度；和在生长面上按微波等离子化学蒸气沉积法生长单晶金刚石，其中，金刚石生长速率大于1μm/h。