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公开(公告)号:CN115101593A
公开(公告)日:2022-09-23
申请号:CN202210559846.3
申请日:2022-05-23
Applicant: 南京大学
IPC: H01L29/49 , H01L29/423 , H01L29/778 , H01L21/335 , G01N27/414
Abstract: 本发明公开了一种胆固醇生物传感器,其特征在于:以HEMT为换能器,在换能器的栅极上固定胆固醇氧化酶,所述栅极表面材料为金。还公开了其制备方法。本发明运用GaN基高电子迁移率晶体管(HEMT)结构作为换能器,将胆固醇氧化酶固定到器件的金栅上,实现对胆固醇的探测。这样不仅具备了电化学的性能,如测试简单,结构简化,实时反应,成本低等优点,同时由于HEMT结构的本征信号低,受外界其他环境影响小,灵敏度有一个很大的提高。促使胆固醇生物传感器提高了对胆固醇的准确性、专一性、稳定性。
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公开(公告)号:CN114914316B
公开(公告)日:2023-12-12
申请号:CN202210559835.5
申请日:2022-05-23
Applicant: 南京大学
IPC: H01L31/0304 , H01L31/0352 , H01L31/112
Abstract: 本发明公开了一种近红外表面等离激元近场增强型高迁移率晶体管探测器,其特征在于自下而上依次包括:衬底层、底部GaN缓冲层、InGaN渐变层、InN层、GaN顶层,源极和漏级,所述GaN顶层在源极和漏级之间设有散布或矩阵分布金纳米颗粒的区域,形成表面等离激元结构。本发明通过窄禁带半导体异质结实现红外响应,采用表面等离激元增强型晶体场效应管结构以通过光增强提高灵敏度,实现了近红外探测。
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公开(公告)号:CN114914316A
公开(公告)日:2022-08-16
申请号:CN202210559835.5
申请日:2022-05-23
Applicant: 南京大学
IPC: H01L31/0304 , H01L31/0352 , H01L31/112
Abstract: 本发明公开了一种近红外表面等离激元近场增强型高迁移率晶体管探测器,其特征在于自下而上依次包括:衬底层、底部GaN缓冲层、InGaN渐变层、InN层、GaN顶层,源极和漏级,所述GaN顶层在源极和漏级之间设有散布或矩阵分布金纳米颗粒的区域,形成表面等离激元结构。本发明通过窄禁带半导体异质结实现红外响应,采用表面等离激元增强型晶体场效应管结构以通过光增强提高灵敏度,实现了近红外探测。
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