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公开(公告)号：CN107275175A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710222521.5
申请日：2017-04-06
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC分类号： H01J27/20 , B03C1/023 , B03C3/383 , B03C3/41 , B03C3/47 , B03C3/60 , G21K1/087 , H01J27/022 , H01J27/26 , H01J37/08 , H01J2237/0807 , H01J37/261 , H01J2237/002 , H01J2237/022
摘要： 一种离子源，包括外壳、导电尖端、配置为将操作气体供应到尖端的附近的气体供应系统以及配置为冷却尖端的冷却系统。气体供应系统包括具有中空内部的第一管，并且在管的中空内部中提供化学吸气剂材料。
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公开(公告)号：CN104282515A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201410323934.9
申请日：2014-07-08
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/08 , H01J37/28 , H01J2237/0807
摘要： 本公开涉及带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法。该带电粒子束系统包括惰性气体场离子束源、带电粒子束柱和壳体，壳体限定第一真空区域和第二真空区域。惰性气体场离子束源布置在第一真空区域内。第一机械真空泵功能上附接至第一真空区域，离子吸气泵附接至带电粒子束柱，气体供应器附接至第一真空区域，构造成给惰性气体场离子束源供应惰性气体。
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公开(公告)号：CN101026080A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200710006000.2
申请日：2007-02-25
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J49/14 , H01J37/08 , H01L21/265
CPC分类号： H01J27/205 , H01J37/08 , H01J2237/0807 , H01J2237/082
摘要： 一种具有高亮度和低能量散度的电子撞击气体离子。通过从一侧将电子注入较小的离子化体积空间(尺寸从小于1μm到几十微米)且从另一侧抽出离子而实现该高亮度。通过高亮度电子源如场致发射器或肖特基发射器产生被注射的电子。在一个实施例中，在源与离子化体积空间之间没有光学器件的情况下，通过将场致发射器接近所述离子化体积空间(如30μm)放置而在所述离子化体积空间中实现所需高电子密度。在另一个实施例中，所述源被成像到微电子机械系统结构上。两个例如50nm的小光阑被隔开例如1μm。电子通过这些光阑中的一个进入，而离子通过另一个光阑离开所述离子化体积空间。例如通过用离子束钻孔制造所述两个光阑，从而导致形成两个小的且适当对齐的光阑。
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公开(公告)号：CN103748653B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201280039776.3
申请日：2012-06-20
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J27/26 , H01J37/08 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/26 , H01J9/50 , H01J37/08 , H01J49/16 , H01J2237/0807 , Y02W30/828
摘要： 本发明提供一种即使反复顶点部分的再生处理，引出电压的变化也微小的离子源发射器。在与本发明有关的发射器中，顶端为以单原子为顶点的三角锥形形状，并且从顶点侧观察顶端的形状为近似六角形。
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公开(公告)号：CN102789946B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201110137252.5
申请日：2011-05-16
申请人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所
CPC分类号： H01J37/073 , H01J1/3044 , H01J9/025 , H01J35/065 , H01J37/08 , H01J2237/0807
摘要： 本发明提供了一种粒子源，包括：底座，具有平缓的顶部；和针尖，形成为底座顶部上的微小突起。本发明的粒子源能够提供大束流密度和小束流角。
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公开(公告)号：CN102364659A
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201110202904.9
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利.W.沃德 , 约翰.A.诺特四世 , 路易斯.S.法卡斯三世 , 兰德尔.G.珀西瓦尔 , 雷蒙德.希尔 , 亚历山大.格罗霍尔斯基 , 理查德.科穆纳尔 , 肖恩.麦克唯伊 , 约翰尼斯.比尔
CPC分类号： H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN101026080B
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：CN200710006000.2
申请日：2007-02-25
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J49/14 , H01J37/08 , H01L21/265
CPC分类号： H01J27/205 , H01J37/08 , H01J2237/0807 , H01J2237/082
摘要： 一种具有高亮度和低能量散度的电子撞击气体离子。通过从一侧将电子注入较小的离子化体积空间(尺寸从小于1μm到几十微米)且从另一侧抽出离子而实现该高亮度。通过高亮度电子源如场致发射器或肖特基发射器产生被注射的电子。在一个实施例中，在源与离子化体积空间之间没有光学器件的情况下，通过将场致发射器接近所述离子化体积空间(如30μm)放置而在所述离子化体积空间中实现所需高电子密度。在另一个实施例中，所述源被成像到微电子机械系统结构上。两个例如50nm的小光阑被隔开例如1μm。电子通过这些光阑中的一个进入，而离子通过另一个光阑离开所述离子化体积空间。例如通过用离子束钻孔制造所述两个光阑，从而导致形成两个小的且适当对齐的光阑。
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公开(公告)号：CN108428609A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201810081984.9
申请日：2018-01-29
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
发明人： 川浪义实
IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/244 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/1471 , H01J37/1474 , H01J37/1478 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/0807 , H01J2237/2448 , H01J2237/24528 , H01J2237/24542 , H01J37/04
摘要： 本发明提供会聚离子束装置，其能够高精度地进行发射尖锥的末端的调整而不会使FIB光学系统的会聚特性、对准特性降低。该会聚离子束装置具有：真空容器；配置在所述真空容器内、末端被尖锐化的发射尖锥；气体电场电离离子源；会聚透镜；第一偏转器；第一光圈；物镜，其使通过所述第一偏转器后的所述离子束会聚；以及试样台，并且在至少具有会聚透镜、第一光圈、第一偏转器以及物镜的光学系统与试样台之间形成针对离子束在点状区域中发生反应的信号产生源，并以使从信号产生源输出的信号和由第一偏转器对离子束进行的扫描对应的方式生成发射尖锥的扫描电场离子显微镜像。
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公开(公告)号：CN102789947B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201110137263.3
申请日：2011-05-16
申请人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所
CPC分类号： H01J37/04 , B82Y40/00 , H01J9/02 , H01J9/025 , H01J27/26 , H01J37/073 , H01J37/08 , H01J2237/06341 , H01J2237/0807 , H01J2237/2623 , H01L21/31116
摘要： 本发明提供了一种用于制造粒子源的方法，包括：将金属丝置于真空环境中并通入活性气体，并对金属丝的温度进行调节，并对金属丝施加正高压V，使得在金属丝头部侧面产生刻蚀带，在该刻蚀带内发生场致刻蚀；场致刻蚀使得金属丝头部顶端处表面电场增强，直到大于金属丝材料的场致蒸发电场，使得此处的金属原子被蒸发出去；在场致刻蚀触发了场致蒸发之后，场致刻蚀和场致蒸发这两种机制相互调节直到金属丝头部形状变成了由底座和底座上的针尖组成，其中场致刻蚀发生在侧面，形成了底座，而场致蒸发发生在顶端，形成了针尖；以及当获得具有预定形状的金属丝头部时，停止场致刻蚀和场致蒸发。
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公开(公告)号：CN102842474A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201110175692.X
申请日：2011-06-22
申请人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所
发明人： 刘华荣
CPC分类号： C23F4/02 , B82Y99/00 , H01J1/00 , H01J1/3044 , H01J9/025 , H01J27/26 , H01J37/04 , H01J37/06 , H01J37/073 , H01J37/08 , H01J2201/30415 , H01J2237/0807
摘要： 本发明提供了一种用于制造粒子源的方法，包括：将金属丝置于真空环境中并通入活性气体和催化气体，对金属丝的温度进行调节，并对金属丝施加正高压V，使得金属丝表面的活性气体离解，在金属丝头部侧面产生刻蚀带，在该刻蚀带内发生场致刻蚀；场致刻蚀使得金属丝头部顶端处表面电场增强，直到大于金属丝材料的场致蒸发电场，使得此处的金属原子被蒸发出去；在场致刻蚀触发了场致蒸发之后，场致刻蚀和场致蒸发这两种机制相互调节直到金属丝头部形状变成了由底座和底座上的针尖组成，其中场致刻蚀发生在侧面，形成了底座，而场致蒸发发生在顶端，形成了针尖；以及当获得具有预定形状的金属丝头部时，停止场致刻蚀和场致蒸发。
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