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发明公开
使用粒子显微镜来记录图像的方法审中-实审

公开(公告)号：CN112805747A

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN201980065284.3

申请日：2019-10-01

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 , T.柯布 , P.休思沃尔 , J.T.纽曼 , C.里德塞尔 , C.沃杰克 , J.科雷亚 , W.霍格尔

IPC: G06T7/246

Abstract: 一种使用粒子显微镜来记录图像的方法，该方法包括：记录物体的多个图像，其中，图像数据的强度值与所记录图像的坐标系中的位置和该物体上的位置相关联；确定与位置相关联的关注区域；确定包含关注区域的图像区域；确定与这些图像区域相关联的位移矢量，这些位移矢量是通过将与给定图像区域相关联的图像数据与也同给定关注区域相关联的其他图像区域的图像数据进行相关来确定的；以及基于所记录图像的图像数据来生成所得图像，其中，该所得图像的坐标系中的位置是基于与这些图像区域相关联的位移矢量来确定的。

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