公开(公告)号：CN112352151A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201980040115.4

申请日：2019-06-11

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： M.布达赫 ,  N.奥思 ,  C.伦辛 ,  A.弗雷塔格 ,  C.沃杰克

IPC: G01N23/20008 ,  G03F1/00 ,  G03F1/72 ,  H01J37/30 ,  H01J37/305

Abstract: 本发明涉及一种用于用带电粒子束(170、1028)检查和/或处理用于光刻的元件(110、200)的装置(1000)，所述装置(1000)包括：(a)在将所述用于光刻的元件(110、200)暴露于所述带电粒子束(170、1028)时记录测量数据(330、440、450、460、470)的构件；以及(b)用训练的机器学习模型(800)和/或预测滤波器来预先确定所述带电粒子束(160、1028)相对于所述用于光刻的元件(110、200)的漂移(410、420、430、480)的构件，其中，所述训练的机器学习模型(800)和/或所述预测滤波器至少使用所述测量数据(330、440、450、460、470)作为输入数据(830)。

公开(公告)号：CN112384855A

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：CN201980045278.1

申请日：2019-07-05

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： D.塞德尔 ,  A.弗雷塔格 ,  C.沃杰克 ,  S.托普弗 ,  C.施密特 ,  C.胡泽曼

IPC: G03F1/84 ,  G06N3/02 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明涉及一种用于在检查光刻过程的元件(810)中评估统计分布的测量值(100、300、350)的方法(900)，其包括以下步骤：(a)在训练的机器学习模型(700)中使用多个参数(730)，其中，在与测量值(100、300、350)的测量相关联的时间段中参数(730)表征测量环境(880)的状态；以及(b)执行训练的机器学习模型(700)以便评估测量值(100、300、350)。

公开(公告)号：CN112352151B

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN201980040115.4

申请日：2019-06-11

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： M.布达赫 ,  N.奥思 ,  C.伦辛 ,  A.弗雷塔格 ,  C.沃杰克

IPC: G01N23/20008 ,  G03F1/00 ,  G03F1/72 ,  H01J37/30 ,  H01J37/305

Abstract: 本发明涉及一种用于用带电粒子束(170、1028)检查和/或处理用于光刻的元件(110、200)的装置(1000)，所述装置(1000)包括：(a)在将所述用于光刻的元件(110、200)暴露于所述带电粒子束(170、1028)时记录测量数据(330、440、450、460、470)的构件；以及(b)用训练的机器学习模型(800)和/或预测滤波器来预先确定所述带电粒子束(170、1028)相对于所述用于光刻的元件(110、200)的漂移(410、420、430、480)的构件，其中，所述训练的机器学习模型(800)和/或所述预测滤波器至少使用所述测量数据(330、440、450、460、470)作为输入数据(830)。

公开(公告)号：CN112384855B

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN201980045278.1

申请日：2019-07-05

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： D.塞德尔 ,  A.弗雷塔格 ,  C.沃杰克 ,  S.托普弗 ,  C.施密特 ,  C.胡泽曼

IPC: G03F1/84 ,  G06N3/02 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明涉及一种用于在检查光刻过程的元件(810)中评估统计分布的测量值(100、300、350)的方法(900)，其包括以下步骤：(a)在训练的机器学习模型(700)中使用多个参数(730)，其中，在与测量值(100、300、350)的测量相关联的时间段中参数(730)表征测量环境(880)的状态；以及(b)执行训练的机器学习模型(700)以便评估测量值(100、300、350)。

公开(公告)号：CN112805747A

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN201980065284.3

申请日：2019-10-01

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  T.柯布 ,  P.休思沃尔 ,  J.T.纽曼 ,  C.里德塞尔 ,  C.沃杰克 ,  J.科雷亚 ,  W.霍格尔

IPC: G06T7/246

Abstract: 一种使用粒子显微镜来记录图像的方法，该方法包括：记录物体的多个图像，其中，图像数据的强度值与所记录图像的坐标系中的位置和该物体上的位置相关联；确定与位置相关联的关注区域；确定包含关注区域的图像区域；确定与这些图像区域相关联的位移矢量，这些位移矢量是通过将与给定图像区域相关联的图像数据与也同给定关注区域相关联的其他图像区域的图像数据进行相关来确定的；以及基于所记录图像的图像数据来生成所得图像，其中，该所得图像的坐标系中的位置是基于与这些图像区域相关联的位移矢量来确定的。