公开(公告)号：CN116230480A

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202211539923.5

申请日：2022-12-02

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： E.福卡 ,  A.阿维沙伊 ,  T.柯布 ,  D.费希尔

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/147 ,  H03M1/12

Abstract: 本发明涉及一种带电粒子束系统，带电粒子束系统包括偏转子系统，偏转子系统被配置来基于由第一数字信号和第二数字信号的独立数字模拟转换产生的模拟信号的总和在偏转方向上偏转带电粒子束。本发明还涉及一种配置带电粒子束系统的方法，使得可以通过仅改变第一数字信号来扫描多个感兴趣区域中的每一个，而第二数字信号保持恒定为与相应感兴趣区域相关联的值。本发明还涉及一种在减少由于电荷累积而导致的干扰的前提下记录感兴趣区域的多个图像的方法。

公开(公告)号：CN112805747A

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN201980065284.3

申请日：2019-10-01

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  T.柯布 ,  P.休思沃尔 ,  J.T.纽曼 ,  C.里德塞尔 ,  C.沃杰克 ,  J.科雷亚 ,  W.霍格尔

IPC: G06T7/246

Abstract: 一种使用粒子显微镜来记录图像的方法，该方法包括：记录物体的多个图像，其中，图像数据的强度值与所记录图像的坐标系中的位置和该物体上的位置相关联；确定与位置相关联的关注区域；确定包含关注区域的图像区域；确定与这些图像区域相关联的位移矢量，这些位移矢量是通过将与给定图像区域相关联的图像数据与也同给定关注区域相关联的其他图像区域的图像数据进行相关来确定的；以及基于所记录图像的图像数据来生成所得图像，其中，该所得图像的坐标系中的位置是基于与这些图像区域相关联的位移矢量来确定的。

公开(公告)号：CN115280463A

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202180020918.0

申请日：2021-03-05

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： D.科洛奇科夫 ,  E.福卡 ,  T.柯布 ,  A.布克斯鲍姆 ,  J.T.纽曼 ,  C.休恩 ,  B.牛

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/22 ,  H01J37/305

Abstract: 本发明涉及一种双光束设备和三维电路图案检查技术，通过对半导体晶片表面以下超过1μm的大深度延伸的检查体积进行截面测量，并且更具体地，涉及一种方法、计算机程序产品和装置，用于在不从晶片移除样品的情况下生成晶片内部的深检查体积的3D体积图像数据。本发明还涉及利用双光束设备进行三维电路图案检查的3D体积图像生成、截面图像对准方法。