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公开(公告)号：CN115561493A
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN202210945680.9
申请日：2022-08-08
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本公开提供一种处理设备。处理设备包括一载台以及设置在载台上的一底板。处理设备还包括一压力膜感测器，形成在底板上，配置用于检测一探针卡的一探针头上的多个针与压力膜感测器之间的接触力。设备还包括一距离检测器，配置用于检测压力膜感测器与所述针之间的距离。此外，设备包括一调整驱动器，配置用于基于压力膜感测器所检测到的接触力来调整探针卡。
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公开(公告)号：CN102193009A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201010134525.6
申请日：2010-03-16
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Inventor： 林德坤
Abstract: 本发明提供一种垂直式探针卡，包含多根探针和用以支撑探针的探针持体。探针持体包含下导板、上导板、辅助固定片和支撑装置。下导板具有第一凹陷部，此第一凹陷部具有多个第一贯穿孔。上导板具有第二凹陷部，此第二凹陷部具有多个第二贯穿孔。上导板设置于下导板上，以使第一凹陷部和第二凹陷部形成容置空间。辅助固定片设置于容置空间中，且具有多个固定孔和定位孔。支撑装置设置于下导板上，用以支撑辅助固定片。每一探针穿设于第一贯穿孔的一个、第二贯穿孔的一个和固定孔的一个中，如此可使探针持体支撑探针。
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公开(公告)号：CN102193009B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201010134525.6
申请日：2010-03-16
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Inventor： 林德坤
Abstract: 本发明提供一种垂直式探针卡，包含多根探针和用以支撑探针的探针持体。探针持体包含下导板、上导板、辅助固定片和支撑装置。下导板具有第一凹陷部，此第一凹陷部具有多个第一贯穿孔。上导板具有第二凹陷部，此第二凹陷部具有多个第二贯穿孔。上导板设置于下导板上，以使第一凹陷部和第二凹陷部形成容置空间。辅助固定片设置于容置空间中，且具有多个固定孔和定位孔。支撑装置设置于下导板上，用以支撑辅助固定片。每一探针穿设于第一贯穿孔的一个、第二贯穿孔的一个和固定孔的一个中，如此可使探针持体支撑探针。
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公开(公告)号：CN222087742U
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202322730506.5
申请日：2023-10-11
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本实用新型的实施例提供一种制造探针卡的系统，其包括包含储液池和开口的贮槽、包括第一侧和与所述第一侧相对的第二侧的导电图案结构以及耦合到所述导电图案结构的所述第二侧的定向结构。通过所述开口可进入所述储液池，所述导电图案结构在所述贮槽的所述储液池之中，所述导电图案结构包括在所述导电图案结构的第一侧的图案，所述定向结构配置为旋转所述导电图案结构，利用制造探针卡的系统执行电化学精制工艺所形成的探针具有较佳的表面精修度。
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