公开(公告)号：CN109116683A

公开(公告)日：2019-01-01

申请号：CN201710487653.0

申请日：2017-06-23

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 吴尚颖 ,  赖韦志 ,  简上杰 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供一种喷嘴模块，喷嘴模块包括一喷嘴，喷嘴具有一腔体及一液体输出口。喷嘴模块还包括一毛细管，毛细管连接液体输出口而与腔体连通。喷嘴模块还包括一压电元件，压电元件夹持毛细管。再者，喷嘴模块包括一频率产生元件，频率产生元件设置于腔体的外表面，用以对腔体提供一振荡频率。

公开(公告)号：CN106019850B

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN201610153625.0

申请日：2016-03-17

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 石志聪 ,  郑介任 ,  陈政宏 ,  陈家桢 ,  游信胜 ,  严涛南 ,  赖韦志

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明的实施例公开了用于监控EUV光刻系统的焦点的系统和方法。另一方面包括具有测量第一移位值和测量第二移位值的操作的方法，其中对于晶圆上的焦点测试结构的第一组图案化的子结构，测量第一移位值，并且对于晶圆上的测试结构的第二组图案化的子结构，测量第二移位值。可以使用非对称照明在晶圆上形成测试结构，测试结构具有第一组图案化的子结构和第二组图案化的子结构，第一组图案化的子结构具有第一间距，第二组图案化的子结构具有与第一间距不同的第二间距。方法还包括，基于第一移位值和第二移位值之间的差值来确定用于照明系统的焦点移位补偿。

公开(公告)号：CN109116683B

公开(公告)日：2021-03-02

申请号：CN201710487653.0

申请日：2017-06-23

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 吴尚颖 ,  赖韦志 ,  简上杰 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供一种喷嘴模块，喷嘴模块包括一喷嘴，喷嘴具有一腔体及一液体输出口。喷嘴模块还包括一毛细管，毛细管连接液体输出口而与腔体连通。喷嘴模块还包括一压电元件，压电元件夹持毛细管。再者，喷嘴模块包括一频率产生元件，频率产生元件设置于腔体的外表面，用以对腔体提供一振荡频率。

公开(公告)号：CN106019850A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610153625.0

申请日：2016-03-17

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 石志聪 ,  郑介任 ,  陈政宏 ,  陈家桢 ,  游信胜 ,  严涛南 ,  赖韦志

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70641 ,  G03F7/7085

Abstract: 本发明的实施例公开了用于监控EUV光刻系统的焦点的系统和方法。另一方面包括具有测量第一移位值和测量第二移位值的操作的方法，其中对于晶圆上的焦点测试结构的第一组图案化的子结构，测量第一移位值，并且对于晶圆上的测试结构的第二组图案化的子结构，测量第二移位值。可以使用非对称照明在晶圆上形成测试结构，测试结构具有第一组图案化的子结构和第二组图案化的子结构，第一组图案化的子结构具有第一间距，第二组图案化的子结构具有与第一间距不同的第二间距。方法还包括，基于第一移位值和第二移位值之间的差值来确定用于照明系统的焦点移位补偿。

公开(公告)号：CN109426084B

公开(公告)日：2021-07-16

申请号：CN201710735382.6

申请日：2017-08-24

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 赖韦志 ,  郑力凯 ,  张汉龙 ,  刘柏村 ,  陈立锐

IPC: G03F7/20

Abstract: 本公开提供一种标靶材料供应系统，包括一标靶液滴产生器、一标靶液滴收集器及一标靶材料处理装置。标靶液滴产生器配置以产生多个标靶液滴，可供一极紫外光微影设备利用以产生极紫外光。标靶液滴收集器配置以收集上述标靶液滴的未被利用部分。标靶材料处理装置配置以将一熔融状态的一标靶材料供应至标靶液滴产生器，及配置以将从标靶液滴收集器回收的标靶液滴的未被利用部分重新供应至标靶液滴产生器。

公开(公告)号：CN109788623A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201811229203.2

申请日：2018-10-22

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 赖韦志 ,  张汉龙 ,  杨基 ,  简上杰 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: H05G2/00

Abstract: 一种极紫外光源的标靶液滴源包括一液滴产生器，配置用以产生一给定材料的标靶液滴。液滴产生器包括一喷嘴，配置用以在由一腔室封闭的一空间中供应标靶液滴。标靶液滴源还包括一套筒，设置在腔室中且靠近喷嘴。套筒配置用以为标靶液滴在腔室中提供一路径。

公开(公告)号：CN109782550A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201811359602.0

申请日：2018-11-15

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 赖韦志 ,  张汉龙 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 极紫外线成像工具的液滴产生器包括熔化的金属的贮槽、及具有连接至贮槽的第一末端及相对的第二末端的喷嘴，此相对的第二末端为熔化的金属液滴从喷嘴排出之处。进气口连接至喷嘴，且隔离阀位于喷嘴的第二末端，此隔离阀配置以将喷嘴与周遭隔离。

公开(公告)号：CN109782546A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201811229196.6

申请日：2018-10-22

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 赖韦志 ,  张汉龙 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种控制激发激光的装置和方法，该方法包括在液滴检测器处检测在第一位置由第一辐射源照射的一给定标靶液滴散射的辐射的第一信号。控制激发激光的方法还包括在液滴检测器处检测在相距第一位置一固定距离的第二位置由第二辐射源照射的所述给定标靶液滴散射的辐射的第二信号，以及基于第一信号的检测与第二信号的检测之间的时滞来确定给定标靶液滴的速度。所述方法还包括基于所确定的给定标靶液滴的速度，控制触发一激发脉冲以加热给定标靶液滴的触发时间。

公开(公告)号：CN109426084A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201710735382.6

申请日：2017-08-24

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 赖韦志 ,  郑力凯 ,  张汉龙 ,  刘柏村 ,  陈立锐

IPC: G03F7/20

Abstract: 本公开提供一种标靶材料供应系统，包括一标靶液滴产生器、一标靶液滴收集器及一标靶材料处理装置。标靶液滴产生器配置以产生多个标靶液滴，可供一极紫外光微影设备利用以产生极紫外光。标靶液滴收集器配置以收集上述标靶液滴的未被利用部分。标靶材料处理装置配置以将一熔融状态的一标靶材料供应至标靶液滴产生器，及配置以将从标靶液滴收集器回收的标靶液滴的未被利用部分重新供应至标靶液滴产生器。