公开(公告)号：CN113594073B

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202110851441.2

申请日：2021-07-27

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 王绍华 ,  郭爵旗 ,  何奎霖 ,  杨宗祐 ,  孙晟维 ,  陈威远 ,  陈振杰 ,  刘恒信 ,  陈立锐

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 一种微影系统及形成半导体装置的方法，方法包括在晶圆台上的晶圆载物台上方传送晶圆。晶圆台包括台主体、晶圆载物台、第一滑动部件、第二滑动部件、第一缆线、第一托架及第二托架，以及挡止器。第二滑动部件为沿着第一方向可移动的，其中第一滑动部件耦接至第二滑动部件的轨道，第一滑动部件为沿着垂直于第一方向的第二方向可移动的。第一托架及第二托架通过板弹簧连接。方法包括朝向台主体的边缘移动晶圆载物台，使得晶圆载物台向外推动第一缆线，使得板弹簧朝向挡止器的面向板弹簧的表面上的第一保护膜移动。

公开(公告)号：CN113594073A

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202110851441.2

申请日：2021-07-27

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 王绍华 ,  郭爵旗 ,  何奎霖 ,  杨宗祐 ,  孙晟维 ,  陈威远 ,  陈振杰 ,  刘恒信 ,  陈立锐

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 一种微影系统及形成半导体装置的方法，方法包括在晶圆台上的晶圆载物台上方传送晶圆。晶圆台包括台主体、晶圆载物台、第一滑动部件、第二滑动部件、第一缆线、第一托架及第二托架，以及挡止器。第二滑动部件为沿着第一方向可移动的，其中第一滑动部件耦接至第二滑动部件的轨道，第一滑动部件为沿着垂直于第一方向的第二方向可移动的。第一托架及第二托架通过板弹簧连接。方法包括朝向台主体的边缘移动晶圆载物台，使得晶圆载物台向外推动第一缆线，使得板弹簧朝向挡止器的面向板弹簧的表面上的第一保护膜移动。