用于肿瘤细胞聚焦分选的惯性微流控芯片

    公开(公告)号:CN118272184A

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202410401383.7

    申请日:2024-04-03

    IPC分类号: C12M1/00

    摘要: 本发明公开了一种用于肿瘤细胞聚焦分选的惯性微流控芯片,包括上层基片和下层基片,上层基片靠近下层基片的一侧中部开设有惯性流道,上层基片上端靠近惯性流道入口的一侧开设有进液孔,惯性流道靠近出口处呈Y型分选结构,Y型分选结构的出口包括靠近惯性流道内部一侧的内侧出口和靠近惯性流道外部一侧的外侧出口,上层基片靠近Y型分选结构内侧出口的一侧上端开设有内侧出液孔,上层基片靠近Y型分选结构外侧出口的一侧上端开设有外侧出液孔。本发明使用类圆环形与梯形突扩流道的组合式微流道,并在相邻梯形突扩流道之间的顶部设置与流道等宽的凸台,可以多向诱导并增强二次流的强度,提高聚焦效率和分选的精度。

    用于车身悬架系统的电容式加速度传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN117849392A

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202410017877.5

    申请日:2024-01-05

    IPC分类号: G01P15/125 B81B7/02 B81C1/00

    摘要: 本发明公开了一种用于车身悬架系统的电容式加速度传感器及制备方法,包括隔离框层、敏感层、埋氧层、空腔层和玻璃衬底,隔离框层设置在敏感层的一侧,埋氧层设置在敏感层的另一侧,空腔层设置在埋氧层远离敏感层的一侧。本发明采用双排梳齿的结构增加了梳齿电极的数量,相对于其他单排梳齿传感器结构有效地提高了电容式加速度传感器的灵敏度。固定梳齿电极与可动梳齿电极构成不等高梳齿结构,八组不等高梳齿构成检测Z轴加速度的差分检测结构,从而抵消非敏感轴方向对Z敏感轴的干扰。本发明采用单边凹槽单边阻尼孔的结构,减小阻尼的同时还偏移了敏感质量块质心的位置,增大了梳齿偏转的角度,以提高传感器的灵敏度。

    一种MEMS热电堆红外探测器及制备方法

    公开(公告)号:CN112113670B

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN202010996100.X

    申请日:2020-09-21

    摘要: 本发明属于微机电系统MEMS技术领域,具体涉及一种MEMS热电堆红外探测器及制备方法。红外探测器由下至上依次包括衬底层、牺牲层、支撑层、圆形吸收区和热电堆;热电堆包括若干根热电偶,若干根热电偶依次电气串联,且中心对称均匀分布在圆形吸收区的四周,形成辐射状的热电堆,每根热电偶从下至上依次包括第二热电偶层、隔离层和第一热电偶层,热电堆通过水平的支撑层布设在牺牲层的上端,且圆形吸收区对应位于隔热空腔的上方,每根热电偶的一端和圆形吸收区连接,另一端位于隔热空腔上端口外侧对应的支撑层上。本发明通过热电偶的堆叠结构与热电堆的辐射分布,提高了传感器表面的利用率,同时也增强了冷端的热传导,因此提高了传感器的整体性能。

    一种仿人气动式软体机器手指

    公开(公告)号:CN112549055A

    公开(公告)日:2021-03-26

    申请号:CN202011412224.5

    申请日:2020-12-04

    IPC分类号: B25J15/00

    摘要: 本发明公开了一种仿人气动式软体机器手指,其包括依次连接的前段柔性单元、气动执行器单元、中段柔性指骨单元、气动执行器单元和后段柔性指骨单元,其中,气动执行器单元整体呈梳齿状结构,包括基座以及沿手指长度方向并排设置在基座上的多个梳齿;在基座内部设有主空腔,每个梳齿内部设有与主空腔连通的分空腔;中段柔性指骨单元与后段柔性指骨单元的内部皆设有沿手指长度方向贯通的气道,且气道通过设置于气动执行器单元侧面的开孔与气动执行器单元的主空腔相连通。本发明的气动式软体机器手指具有制作过程简单、成本低廉、弯曲幅度较大、输出可控等优点,为机器人实现仿人手式抓取提供了可行性方案。