一种采用射频磁控溅射法制备二氧化钒薄膜的方法

    公开(公告)号:CN114059032B

    公开(公告)日:2022-09-13

    申请号:CN202111370877.6

    申请日:2021-11-18

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明涉及相变材料技术领域,尤其涉及一种二氧化钒薄膜的制备方法。本发明提供的制备方法包括在真空反应室中,采用射频磁控溅射法,在基底表面溅射二氧化钒后,升高基底温度进行原位退火,得到二氧化钒薄膜;基底和二氧化钒薄膜之间不设置缓冲层;射频磁控溅射的条件为:基底的温度为250~300℃;氩气通入反应室的流速为0.8sccm;氧气通入反应室的流速为40sccm;反应室的气压为0.8Pa;溅射时间为15~20min;溅射功率为95W;原位退火的温度为460~520℃,保温时间为200s;升温至原位退火的温度的时间≤7s。所述制备方法可以在不进行缓冲层设置的前提下,同样得到光学性能良好的二氧化钒薄膜。

    一种二氧化钒薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN113277559A

    公开(公告)日:2021-08-20

    申请号:CN202110622643.X

    申请日:2021-06-04

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明提供了一种二氧化钒薄膜的制备方法,涉及功能材料技术领域。本发明将五氧化二钒粉末、肼单盐酸盐、盐酸和水混合进行氧化还原反应,得到二氯氧钒前驱液;将二氯氧钒前驱液与水混合,得到稀释前驱液;将稀释前驱液与聚乙烯吡咯烷酮混合,得到钒溶胶;将钒溶胶在衬底表面依次进行预涂覆、旋涂和干燥,得到钒凝胶涂层;将钒凝胶涂层在无氧条件下进行退火,得到二氧化钒薄膜。本发明采用溶胶‑凝胶法,严格控制各工艺参数,在无掺杂和单层膜条件下,即可实现二氧化钒薄膜在可见光透射与红外突变率之间较好的平衡,在2500nm红外波段处的红外突变率高达69.7%,可见光透射率高达38.1%;且操作简单便捷,成本较低。

    气动液控式离合器自动操纵装置

    公开(公告)号:CN101158377A

    公开(公告)日:2008-04-09

    申请号:CN200710056334.0

    申请日:2007-11-22

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明公开了一种应用于车辆上的气动液控式离合器自动操纵装置。旨在克服现有技术存在的体积大、响应慢、控制精度低等问题。该装置具有一个由液压控制回路、气压控制回路、位移传感器(11)与电控单元(10)组成的自动控制系统。液压控制回路一端的两个接口分别与过渡液压缸(4)缸底和缸壁上的通孔管路连接,另一端的接口与执行液压缸(12)缸壁上的通孔管路连接。气压控制回路与气动缸(1)左端缸壁上的通孔管路连接。位移传感器(11)的芯杆与活塞(13)左端的活塞杆固接。电控单元(10)相应的接线端分别与两位三通比例流量阀(6)的电磁铁接线端、两位三通气动阀(8)的电磁铁接线端和位移传感器(11)的接线端电线连接。

    一种微纳结构辊筒模具加工与压印成形机床及其控制方法

    公开(公告)号:CN113618090B

    公开(公告)日:2022-06-07

    申请号:CN202110916070.1

    申请日:2021-08-11

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明公开了一种微纳结构辊筒模具加工与压印成形机床及其控制方法,两个硬质材料纳米压印装备和两个软质材料纳米压印装备安装在旋转底座的安装板上,旋转底座可带动主轴箱、软质材料纳米压印装备以及硬质材料纳米压印装备旋转,四个压印装备上的动力输入端与主轴箱上的动力输出轴相连,通过主轴箱提供旋转驱动力,X向液体静压导轨安装在Z向液体静压导轨上,X向液体静压导轨上有两个滑板,用于安装双刀架的两个刀具系统。本发明将超精密加工技术与纳米压印技术相结合,实现了柱面模具一次装夹后同时进行加工与使用,避免了二次装夹误差,可以在加工完模具之后四个方向同时进行压印,保证机床根据加工者的实际需求进行多样化加工。

    气动液控式离合器自动操纵装置

    公开(公告)号:CN100510455C

    公开(公告)日:2009-07-08

    申请号:CN200710056334.0

    申请日:2007-11-22

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明公开了一种应用于车辆上的气动液控式离合器自动操纵装置。旨在克服现有技术存在的体积大、响应慢、控制精度低等问题。该装置具有一个由液压控制回路、气压控制回路、位移传感器(11)与电控单元(10)组成的自动控制系统。液压控制回路一端的两个接口分别与过渡液压缸(4)缸底和缸壁上的通孔管路连接,另一端的接口与执行液压缸(12)缸壁上的通孔管路连接。气压控制回路与气动缸(1)左端缸壁上的通孔管路连接。位移传感器(11)的芯杆与活塞(13)左端的活塞杆固接。电控单元(10)相应的接线端分别与两位三通比例流量阀(6)的电磁铁接线端、两位三通气动阀(8)的电磁铁接线端和位移传感器(11)的接线端电线连接。

    一种二氧化钒薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN114059032A

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202111370877.6

    申请日:2021-11-18

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明涉及相变材料技术领域,尤其涉及一种二氧化钒薄膜的制备方法。本发明提供的制备方法包括在真空反应室中,采用射频磁控溅射法,在基底表面溅射二氧化钒后,升高基底温度进行原位退火,得到二氧化钒薄膜;基底和二氧化钒薄膜之间不设置缓冲层;射频磁控溅射的条件为:基底的温度为250~300℃;氩气通入反应室的流速为0.8sccm;氧气通入反应室的流速为40sccm;反应室的气压为0.8Pa;溅射时间为15~20min;溅射功率为95W;原位退火的温度为460~520℃,保温时间为200s;升温至原位退火的温度的时间≤7s。所述制备方法可以在不进行缓冲层设置的前提下,同样得到光学性能良好的二氧化钒薄膜。

    一种微纳结构辊筒模具加工与压印成形机床及其控制方法

    公开(公告)号:CN113618090A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202110916070.1

    申请日:2021-08-11

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明公开了一种微纳结构辊筒模具加工与压印成形机床及其控制方法,两个硬质材料纳米压印装备和两个软质材料纳米压印装备安装在旋转底座的安装板上,旋转底座可带动主轴箱、软质材料纳米压印装备以及硬质材料纳米压印装备旋转,四个压印装备上的动力输入端与主轴箱上的动力输出轴相连,通过主轴箱提供旋转驱动力,X向液体静压导轨安装在Z向液体静压导轨上,X向液体静压导轨上有两个滑板,用于安装双刀架的两个刀具系统。本发明将超精密加工技术与纳米压印技术相结合,实现了柱面模具一次装夹后同时进行加工与使用,避免了二次装夹误差,可以在加工完模具之后四个方向同时进行压印,保证机床根据加工者的实际需求进行多样化加工。

    气动液控式离合器自动操纵装置

    公开(公告)号:CN201137653Y

    公开(公告)日:2008-10-22

    申请号:CN200720094642.8

    申请日:2007-11-22

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种应用于车辆上的气动液控式离合器自动操纵装置。旨在克服现有技术存在体积大、响应慢、控制精度低等问题。该装置具有一个由液压控制回路、气压控制回路、位移传感器(11)与电控单元(10)组成的自动控制系统。液压控制回路一端的两个接口分别与过渡液压缸(4)缸底和缸壁上的通孔管路连接,另一端的接口与执行液压缸(12)缸壁上的通孔管路连接。气压控制回路与气动缸(1)左端缸壁上的通孔管路连接。位移传感器(11)的芯杆与活塞(13)左端的活塞杆固接。电控单元(10)相应接线端分别与两位三通比例流量阀(6)的电磁铁接线端、两位三通气动阀(8)的电磁铁接线端和位移传感器(11)的接线端电线连接。

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