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公开(公告)号:CN103983526A
公开(公告)日:2014-08-13
申请号:CN201410243411.3
申请日:2014-06-04
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N3/24
Abstract: 本发明涉及一种跨尺度微纳米级原位剪切力学性能测试平台,属于原位力学性能测试领域。其结构包括精密驱动单元,传动及执行单元,信号控制及检测单元,连接及支撑单元。无刷直流伺服电动机与一级蜗杆连接,且通过一级蜗轮蜗杆传动副与二级蜗杆轴连接,再通过二级蜗轮蜗杆传动副分别与精密滚珠丝杠Ⅰ连接。优点在于:体积小,重量轻,刚度高,结构紧凑,测试精度高,可提供的测试内容丰富,可以与各种电子显微镜真空腔体的载物平台相互兼容,为接近服役条件下材料变形损伤机制的分析研究提供了新颖的测试手段。
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公开(公告)号:CN204044003U
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201420291815.5
申请日:2014-06-04
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N3/24
Abstract: 本实用新型涉及一种跨尺度微纳米级原位剪切力学性能测试平台,属于原位力学性能测试领域。其结构包括精密驱动单元,传动及执行单元,信号控制及检测单元,连接及支撑单元。无刷直流伺服电动机与一级蜗杆连接,且通过一级蜗轮蜗杆传动副与二级蜗杆轴连接,再通过二级蜗轮蜗杆传动副分别与精密滚珠丝杠Ⅰ连接。优点在于:体积小,重量轻,刚度高,结构紧凑,测试精度高,可提供的测试内容丰富,可以与各种电子显微镜真空腔体的载物平台相互兼容,为接近服役条件下材料变形损伤机制的分析研究提供了新颖的测试手段。
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公开(公告)号:CN203251240U
公开(公告)日:2013-10-23
申请号:CN201320253409.5
申请日:2013-05-13
Applicant: 吉林大学
IPC: H02N2/04
Abstract: 本实用新型涉及一种正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台,涉及精密超精密加工、微纳操作机器人、微机电系统、大规模集成电路制造、生物技术等重要科学工程领域。该装置主要由正压力可调的精密驱动单元和直线运动单元组成。其中精密驱动单元由手动精密平移台和压电驱动器构成,手动精密平移台可以调节压电驱动器和工作台之间的正压力;压电驱动器中封装压电叠堆,基于粘滑原理实现工作台的直线步进式进给。直线运动单元由精密滚动导轨和工作台组成,保证工作台直线运动。本实用新型可用于高精密驱动与加工、大规模集成电路和微操作机器人领域,具有结构简单、工作稳定、效率高、投资少、效益高等优势。
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