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公开(公告)号：CN110181132B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201910596838.4
申请日：2019-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种绝缘陶瓷涂层‑金属电火花加工材料辨识的模糊伺服控制系统及方法，所述模糊伺服控制系统包括包括平均电压检测模块、脉冲电源参数自调整模块、PMAC控制器、金属浮动比较阈值调整模块、陶瓷浮动比较阈值调整模块、金属模糊控制器、陶瓷模糊控制器、材料类型辨识器、基于脉宽检测的七阈值比较与击穿延时联合辨识放电状态检测装置和执行模块。本发明能够实现在加工过程中辨识材料类型，并根据材料类型在线调节绝缘陶瓷涂层或金属的浮动比较阈值，实现对陶瓷涂层和金属放电间隙的有效调节，提高绝缘陶瓷涂层‑金属材料的电火花加工效率和质量。
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公开(公告)号：CN110181132A
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201910596838.4
申请日：2019-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种绝缘陶瓷涂层-金属电火花加工材料辨识的模糊伺服控制系统及方法，所述模糊伺服控制系统包括包括平均电压检测模块、脉冲电源参数自调整模块、PMAC控制器、金属浮动比较阈值调整模块、陶瓷浮动比较阈值调整模块、金属模糊控制器、陶瓷模糊控制器、材料类型辨识器、基于脉宽检测的七阈值比较与击穿延时联合辨识放电状态检测装置和执行模块。本发明能够实现在加工过程中辨识材料类型，并根据材料类型在线调节绝缘陶瓷涂层或金属的浮动比较阈值，实现对陶瓷涂层和金属放电间隙的有效调节，提高绝缘陶瓷涂层-金属材料的电火花加工效率和质量。
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公开(公告)号：CN107058972A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710249791.5
申请日：2017-04-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 热真空环境下应用的微刀具涂层三维精密位移工作台，属于金刚石薄膜的化学气相沉积技术领域。黄铜台、隔热板及升降台通过陶瓷螺钉连接，黄铜台的安装孔内套装有石墨套，微刀具安装在石墨套内，热电偶与黄铜台、隔热板及热电偶固定台紧固连接，黄铜台、隔热板与热电偶固定台三者连接；剪形升降机构的上端与升降台固接，下端与微调块固接；双旋向螺杆与剪形升降机构的连接柱的径向螺纹通孔连接，微调块设置在工作台底座上，工作台底座上位于微调块的四个侧面处对称设置有四个微调螺钉安装块，每个微调螺钉安装块的细牙螺纹孔内螺纹连接有细牙螺钉，四个细牙螺钉端部顶靠在微调块的侧面上。本发明用于热真空环境下制备微刀具化学气相沉积金刚石涂层。
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公开(公告)号：CN110293270B
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201910591574.3
申请日：2019-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种绝缘陶瓷涂层‑金属材料电火花加工的材料类型辨识装置及方法，所述装置包括间隙采样模块和主控模块，其中：所述间隙采样模块包括间隙电压采样模块和间隙电流采样模块；所述主控模块采用VHDL硬件语言编程，实现材料类型的辨识；所述间隙采样模块通过间隙电压采样模块和间隙电流采样模块对放电间隙电压和电流信息的采样与阈值比较，并作为输入信号发送至主控模块，以实现放电状态的检测和材料类型的辨识。本发明能在线区分加工过程中陶瓷和金属的材料类型，能为电火花的加工过程有效的控制提供依据，可为高效高质量绝缘陶瓷‑金属材料电火花加工奠定基础。
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公开(公告)号：CN110142470A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910590893.2
申请日：2019-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23H1/02
Abstract: 本发明公开了一种绝缘陶瓷涂层-金属电火花加工的参数自调整脉冲电源，所述参数自调整脉冲电源包括主控模块、间隙采样模块和功率放大模块，主控模块包括串口接收模块、参数调整信号输出模块、参数转换模块、脉冲发生模块、放电状态识别模块、放电状态统计模块和材料种类识别模块；间隙采样模块由间隙采样电路构成；所述功率放大模块由驱动和保护电路、功率放大回路构成。本发明利用优选的加工参数，通过制定的参数调整策略和输入的材料类型检测信号，实现电火花加工过程中针对绝缘陶瓷材料和金属材料类型进行参数实时调整，实现绝缘陶瓷涂层-金属的每层材料均采用其最优的加工参数进行电火花加工，提高绝缘陶瓷涂层-金属的电火花加工质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107740067A
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201710900693.3
申请日：2017-09-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/27
Abstract: 微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法，属于金刚石薄膜化学气相沉积制备技术领域。真空泵通过真空针阀与真空反应室连通，氢气瓶、氩气瓶和甲烷瓶与混合箱连通，进气针阀固定在真空反应室炉盖上，压力控制装置与真空反应室连通，电极组件固定在真空反应室内，工作台设置在真空反应室内，微刀具固定在工作台上，两根电缆线从加热电源处引出并与电极组件连接，热电偶的探头端部贴有硬质合金薄片，红外测温仪通过其自带的支架设置于真空反应室外部，冷水机外接有四根冷水管，其中两根与真空反应室的炉盖连通，其余两根与真空反应室的炉体连通，真空表安装在真空反应室的炉盖上。本发明用于微刀具金刚石涂层的化学气相沉积。
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公开(公告)号：CN110293270A
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201910591574.3
申请日：2019-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种绝缘陶瓷涂层-金属材料电火花加工的材料类型辨识装置及方法，所述装置包括间隙采样模块和主控模块，其中：所述间隙采样模块包括间隙电压采样模块和间隙电流采样模块；所述主控模块采用VHDL硬件语言编程，实现材料类型的辨识；所述间隙采样模块通过间隙电压采样模块和间隙电流采样模块对放电间隙电压和电流信息的采样与阈值比较，并作为输入信号发送至主控模块，以实现放电状态的检测和材料类型的辨识。本发明能在线区分加工过程中陶瓷和金属的材料类型，能为电火花的加工过程有效的控制提供依据，可为高效高质量绝缘陶瓷-金属材料电火花加工奠定基础。
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公开(公告)号：CN110142471A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910590900.9
申请日：2019-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23H1/02
Abstract: 本发明公开了一种绝缘陶瓷涂层-金属电火花加工的异常放电状态检测装置和方法，所述异常放电状态检测装置包括电压波形采样电路、电流信号采样电路和统计判断模块，其中：电压波形采样电路用于为统计判断模块提供间隙电压采样信号；电流信号采样电路用于为统计判断模块提供间隙电流采样信号；统计判断模块通过对采集到的间隙电流、电压信号进行统计、分析，实现异常放电状态的判断。本发明通过对单个脉冲波形的击穿延时时间和电流波形下降沿时间进行统计和区分，来判别短路脉冲、非短路转短路脉冲、短路转非短路脉冲和电弧等异常放电状态，实现绝缘陶瓷涂层-金属电火花加工异常放电状态的检测，提高绝缘陶瓷涂层-金属电火花加工的加工质量。
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公开(公告)号：CN107058972B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201710249791.5
申请日：2017-04-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 热真空环境下应用的微刀具涂层三维精密位移工作台，属于金刚石薄膜的化学气相沉积技术领域。黄铜台、隔热板及升降台通过陶瓷螺钉连接，黄铜台的安装孔内套装有石墨套，微刀具安装在石墨套内，热电偶与黄铜台、隔热板及热电偶固定台紧固连接，黄铜台、隔热板与热电偶固定台三者连接；剪形升降机构的上端与升降台固接，下端与微调块固接；双旋向螺杆与剪形升降机构的连接柱的径向螺纹通孔连接，微调块设置在工作台底座上，工作台底座上位于微调块的四个侧面处对称设置有四个微调螺钉安装块，每个微调螺钉安装块的细牙螺纹孔内螺纹连接有细牙螺钉，四个细牙螺钉端部顶靠在微调块的侧面上。本发明用于热真空环境下制备微刀具化学气相沉积金刚石涂层。
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公开(公告)号：CN106498367B
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201610920789.1
申请日：2016-10-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/27
Abstract: 一种用于化学气相沉积金刚石薄膜的紧凑型真空反应装置。属于金刚石薄膜的化学气相沉积技术领域。为了解决真空条件下CVD金刚石薄膜在微刀具上的沉积问题。壳体上下端分别与上盖和底座可拆卸密封连接构成反应室，真空计固定在上盖上，真空计的检测端紧密穿入上盖设置在壳体内，上盖上固定有与壳体内腔相通的管路，针阀固定在上盖的管路上，针阀与管路相通，上盖的观察孔一处固定有观察窗一，上盖上设有多个冷水环槽，壳体的侧壁上的两个观察孔二处各固定有一个观察窗二，电磁阀固定在底座的进气孔处，导气管一端连接于进气箱，另一端与反应室相通，导气管上安装有导气阀门，载物台设置在反应室内并固定在底座上。本发明主要用于对沉积件微刀具表面金刚石薄膜沉积。
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