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公开(公告)号：CN107058972A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710249791.5
申请日：2017-04-17
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 热真空环境下应用的微刀具涂层三维精密位移工作台，属于金刚石薄膜的化学气相沉积技术领域。黄铜台、隔热板及升降台通过陶瓷螺钉连接，黄铜台的安装孔内套装有石墨套，微刀具安装在石墨套内，热电偶与黄铜台、隔热板及热电偶固定台紧固连接，黄铜台、隔热板与热电偶固定台三者连接；剪形升降机构的上端与升降台固接，下端与微调块固接；双旋向螺杆与剪形升降机构的连接柱的径向螺纹通孔连接，微调块设置在工作台底座上，工作台底座上位于微调块的四个侧面处对称设置有四个微调螺钉安装块，每个微调螺钉安装块的细牙螺纹孔内螺纹连接有细牙螺钉，四个细牙螺钉端部顶靠在微调块的侧面上。本发明用于热真空环境下制备微刀具化学气相沉积金刚石涂层。
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公开(公告)号：CN107058972B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201710249791.5
申请日：2017-04-17
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 热真空环境下应用的微刀具涂层三维精密位移工作台，属于金刚石薄膜的化学气相沉积技术领域。黄铜台、隔热板及升降台通过陶瓷螺钉连接，黄铜台的安装孔内套装有石墨套，微刀具安装在石墨套内，热电偶与黄铜台、隔热板及热电偶固定台紧固连接，黄铜台、隔热板与热电偶固定台三者连接；剪形升降机构的上端与升降台固接，下端与微调块固接；双旋向螺杆与剪形升降机构的连接柱的径向螺纹通孔连接，微调块设置在工作台底座上，工作台底座上位于微调块的四个侧面处对称设置有四个微调螺钉安装块，每个微调螺钉安装块的细牙螺纹孔内螺纹连接有细牙螺钉，四个细牙螺钉端部顶靠在微调块的侧面上。本发明用于热真空环境下制备微刀具化学气相沉积金刚石涂层。
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公开(公告)号：CN106498367B
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201610920789.1
申请日：2016-10-21
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/27
摘要： 一种用于化学气相沉积金刚石薄膜的紧凑型真空反应装置。属于金刚石薄膜的化学气相沉积技术领域。为了解决真空条件下CVD金刚石薄膜在微刀具上的沉积问题。壳体上下端分别与上盖和底座可拆卸密封连接构成反应室，真空计固定在上盖上，真空计的检测端紧密穿入上盖设置在壳体内，上盖上固定有与壳体内腔相通的管路，针阀固定在上盖的管路上，针阀与管路相通，上盖的观察孔一处固定有观察窗一，上盖上设有多个冷水环槽，壳体的侧壁上的两个观察孔二处各固定有一个观察窗二，电磁阀固定在底座的进气孔处，导气管一端连接于进气箱，另一端与反应室相通，导气管上安装有导气阀门，载物台设置在反应室内并固定在底座上。本发明主要用于对沉积件微刀具表面金刚石薄膜沉积。
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公开(公告)号：CN107740067A
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201710900693.3
申请日：2017-09-28
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： C23C16/27
摘要： 微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法，属于金刚石薄膜化学气相沉积制备技术领域。真空泵通过真空针阀与真空反应室连通，氢气瓶、氩气瓶和甲烷瓶与混合箱连通，进气针阀固定在真空反应室炉盖上，压力控制装置与真空反应室连通，电极组件固定在真空反应室内，工作台设置在真空反应室内，微刀具固定在工作台上，两根电缆线从加热电源处引出并与电极组件连接，热电偶的探头端部贴有硬质合金薄片，红外测温仪通过其自带的支架设置于真空反应室外部，冷水机外接有四根冷水管，其中两根与真空反应室的炉盖连通，其余两根与真空反应室的炉体连通，真空表安装在真空反应室的炉盖上。本发明用于微刀具金刚石涂层的化学气相沉积。
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公开(公告)号：CN107740067B
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201710900693.3
申请日：2017-09-28
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： C23C16/27
摘要： 微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法，属于金刚石薄膜化学气相沉积制备技术领域。真空泵通过真空针阀与真空反应室连通，氢气瓶、氩气瓶和甲烷瓶与混合箱连通，进气针阀固定在真空反应室炉盖上，压力控制装置与真空反应室连通，电极组件固定在真空反应室内，工作台设置在真空反应室内，微刀具固定在工作台上，两根电缆线从加热电源处引出并与电极组件连接，热电偶的探头端部贴有硬质合金薄片，红外测温仪通过其自带的支架设置于真空反应室外部，冷水机外接有四根冷水管，其中两根与真空反应室的炉盖连通，其余两根与真空反应室的炉体连通，真空表安装在真空反应室的炉盖上。本发明用于微刀具金刚石涂层的化学气相沉积。
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公开(公告)号：CN106282964B
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201610685787.9
申请日：2016-08-18
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： C23C16/27
摘要： 微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统，属于化学气相沉积金刚石涂层技术领域。固定端立柱和移动端立柱可拆卸固定于底座上，固定端大电极可拆卸固定于固定端立柱上端，固定端小电极可拆卸固定于固定端大电极上端；移动端立柱的上端固定有支撑板，弹簧固定安装块二可拆卸固定于支撑板上，移动板滑动设置在支撑板上，弹簧固定安装块一可拆卸固定在移动板上，移动端小电极与弹簧固定安装块一可拆卸固定连接，两个拉伸弹簧水平并列设置并固定在两个弹簧固定安装块之间，三根热丝与固定端小电极、固定端大电极及移动端小电极可拆卸固定连接，真空陶瓷电极组件分别与固定端小电极及移动端小电极电连接。本发明用于化学气相沉积金刚石涂层。
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公开(公告)号：CN106498367A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610920789.1
申请日：2016-10-21
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/27
CPC分类号： C23C16/45563 , C23C16/27 , C23C16/4412
摘要： 一种用于化学气相沉积金刚石薄膜的紧凑型真空反应装置。属于金刚石薄膜的化学气相沉积技术领域。为了解决真空条件下CVD金刚石薄膜在微刀具上的沉积问题。壳体上下端分别与上盖和底座可拆卸密封连接构成反应室，真空计固定在上盖上，真空计的检测端紧密穿入上盖设置在壳体内，上盖上固定有与壳体内腔相通的管路，针阀固定在上盖的管路上，针阀与管路相通，上盖的观察孔一处固定有观察窗一，上盖上设有多个冷水环槽，壳体的侧壁上的两个观察孔二处各固定有一个观察窗二，电磁阀固定在底座的进气孔处，导气管一端连接于进气箱，另一端与反应室相通，导气管上安装有导气阀门，载物台设置在反应室内并固定在底座上。本发明主要用于对沉积件微刀具表面金刚石薄膜沉积。
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公开(公告)号：CN106282964A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610685787.9
申请日：2016-08-18
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： C23C16/27
CPC分类号： C23C16/271
摘要： 微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统，属于化学气相沉积金刚石涂层技术领域。固定端立柱和移动端立柱可拆卸固定于底座上，固定端大电极可拆卸固定于固定端立柱上端，固定端小电极可拆卸固定于固定端大电极上端；移动端立柱的上端固定有支撑板，弹簧固定安装块二可拆卸固定于支撑板上，移动板滑动设置在支撑板上，弹簧固定安装块一可拆卸固定在移动板上，移动端小电极与弹簧固定安装块一可拆卸固定连接，两个拉伸弹簧水平并列设置并固定在两个弹簧固定安装块之间，三根热丝与固定端小电极、固定端大电极及移动端小电极可拆卸固定连接，真空陶瓷电极组件分别与固定端小电极及移动端小电极电连接。本发明用于化学气相沉积金刚石涂层。
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