一种晶圆质子辐照过程中次级中子辐射场快速计算方法

    公开(公告)号:CN117473843A

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202311556455.7

    申请日:2023-11-20

    IPC分类号: G06F30/25 G06N7/01 G06F111/08

    摘要: 本发明公开了一种晶圆质子辐照过程中次级中子辐射场快速计算方法包括:步骤1、建立蒙特卡罗程序源项计算区域,利用蒙特卡罗程序建立质子束轰击晶圆的几何模型,以模拟质子加速器辐照过程;步骤2、利用程序建立球形探测器包覆晶圆,记录次级中子的能谱、粒子数以及方向信息,并将其作为后续计算的源项,进行下一步计算;步骤3、利用中子分出截面法根据已有的源项信息,计算空间内以及屏蔽墙外的剂量影响。本发明通过两种方法进行耦合,可以显著提高辐射场的计算速度,部分场景计算速度提升超过百倍;通过中子的分出截面法的耦合计算,减少了蒙特卡罗数据库的使用,避免了蒙特卡罗方法的高难度建模要求,降低了使用门槛。

    一种用于高能氢离子注入机的高温超导偏转装置及方法

    公开(公告)号:CN117059462A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202311324545.3

    申请日:2023-10-13

    摘要: 本发明公开了一种用于高能氢离子注入机的高温超导偏转装置及方法,所述装置包括:壳体,设置在所述壳体内的束流管道;还包括:选中粒子束流管道,设计两组,分别设置在所述束流管道两侧,且与所述束流管道连通;选中粒子束流管道由多个偏转磁体组成;所述偏转磁体包括:线圈骨架,由无磁材料制成,表层开有槽口;二代高温超导带材,缠绕在线圈骨架的槽口中,形成超导线圈。本发明通过将偏转磁体的线圈骨架设计为无磁材料,二代高温超导带材绕制在无磁骨架上,通过制冷部进行对二代高温超导带材缠绕的超导线圈进行冷却,达到超导线圈进入超导态的温度,给超导线圈通入直流电,快速建立磁场;整体装置无铁芯,不会产生磁滞现象。

    一种用于束流收集桶的焊接方法

    公开(公告)号:CN115090983B

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN202210881638.5

    申请日:2022-07-26

    摘要: 本发明公开了一种用于束流收集桶的焊接方法,包括步骤1、将束流收集桶的吸能层和与其适配的散热层进行装配;所述吸能层为倒梯形结构;通过将吸能层设计为倒梯形,使得吸能层与散热层的接触面更加稳定;步骤2、通过压紧机构使吸能层、散热层相对固定;步骤3、吸能层、散热层相对固定后,通过真空钎焊对吸能层和散热层进行焊接,使得吸能层、散热层固定。本发明通过将导热层设计为倒梯形,使得导热层与吸能层的接触面更加稳定,同时设计压紧机构使得导热层和散热层相对固定,通过相对固定的方式抵消导热层和散热层由于热膨胀系数不同,在焊接时散热层出现的膨胀现象。

    一种晶圆质子辐照过程中次级光子辐射场快速计算方法

    公开(公告)号:CN117725808A

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN202311552577.9

    申请日:2023-11-20

    IPC分类号: G06F30/25 G06N7/01 G06F111/08

    摘要: 本发明公开了一种晶圆质子辐照过程中次级光子辐射场快速计算方法包括:步骤1、建立蒙特卡罗程序源项计算区域,利用蒙特卡罗程序建立质子束轰击晶圆的几何模型,以模拟质子加速器辐照过程;步骤2、利用程序建立球形探测器包覆晶圆,记录次级光子的能谱、粒子数以及方向等信息,并将其作为后续计算的源项,进行下一步计算;步骤3、利用点核积分方法根据已有的源项信息,计算空间内以及屏蔽墙外的剂量影响。本发明通过两种方法进行耦合,可以显著提高辐射场的计算速度,部分场景计算速度提升超过百倍;通过蒙特卡罗方法与点核积分法的耦合计算,减少了蒙特卡罗数据库的使用,避免了蒙特卡罗方法的高难度建模要求,降低了使用门槛。

    一种用于晶圆质子辐照系统的联锁式辐射屏蔽装置及方法

    公开(公告)号:CN118507097A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410482696.X

    申请日:2024-04-19

    IPC分类号: G21F7/00 G21F1/12

    摘要: 本发明公开了一种用于晶圆质子辐照系统的联锁式辐射屏蔽装置及方法,所述装置包括:屏蔽仓;所述屏蔽仓呈凸形,用于遮盖偏转磁铁,屏蔽仓由屏蔽板制成,所述屏蔽板由聚乙烯板及铅板组合形成;所述屏蔽仓的底部设有驱动机构,所述驱动机构上还设有限位开关;所述限位开关安装位置与偏转磁铁对应。本发明通过设计由铅板及聚乙烯板组合形成侧屏蔽板进行制成屏蔽仓,单独对辅照系统的偏转磁铁部分进行屏蔽,与传统的屏蔽方式相比,避免了使用较多的屏蔽材料,极大的缩减了成本,同时对空间与环境要求较小,屏蔽仓轻便可移动,对屏蔽仓内部设备维护时也更容易,提高了安全性,同时将限位开关接入安全联锁控制器,增加了一层冗余。

    一种束流传输线用直角辐照系统及其辐照方法

    公开(公告)号:CN116072325A

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202211735374.9

    申请日:2022-12-31

    IPC分类号: G21K1/08 G21K5/04

    摘要: 本发明公开了一种束流传输线用直角辐照系统及其辐照方法包括:所述辐照系统包括束流传输线;送料部,位于所述束流传输线的底部;所述送料部包括:送料单元,用于升降放置有晶圆的托板;十字滑台,用于带动放置有晶圆的托板在预定空间内往复运动,使束流完成对晶圆的辐照;本发明通过在束流传输线的底部设计送料部,完成带动放置有晶圆的托板进行运动,且通过十字滑台的设计,使得放置有晶圆的托板在预定范围内的全方位运动,进而使得束流可以辐照晶圆,与传统的磁体偏转的辐照方式相比,本申请的辐照角度保持与晶圆垂直,不会发生偏角,进而使得晶圆的辐照更为均匀。

    一种束流传输线用直角辐照系统

    公开(公告)号:CN218975155U

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202223585367.3

    申请日:2022-12-31

    IPC分类号: G21K1/08 G21K5/04

    摘要: 本实用新型公开了一种束流传输线用直角辐照系统包括:所述辐照系统包括束流传输线;送料部,位于所述束流传输线的底部;所述送料部包括:送料单元,用于升降放置有晶圆的托板;十字滑台,用于带动放置有晶圆的托板在预定空间内往复运动,使束流完成对晶圆的辐照;本实用新型通过在束流传输线的底部设计送料部,完成带动放置有晶圆的托板进行运动,且通过十字滑台的设计,使得放置有晶圆的托板在预定范围内的全方位运动,进而使得束流可以辐照晶圆,与传统的磁体偏转的辐照方式相比,本申请的辐照角度保持与晶圆垂直,不会发生偏角,进而使得晶圆的辐照更为均匀。