公开(公告)号：CN109477084A

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201780044597.1

申请日：2017-06-08

申请人： 国立研究开发法人农业·食品产业技术综合研究机构 ,  国立大学法人东京工业大学

发明人： 光原一朗 ,  柳川由纪 ,  冲野晃俊 ,  宫原秀一 ,  川野浩明 ,  小林智裕 ,  渡边洋辅

IPC分类号： C12N13/00 ,  A01H1/00 ,  C12N15/09

摘要： 发现了通过将植物细胞用等离子体处理后，与物质接触，从而无论该细胞的来源植物和组织的种类如何，都能够对该细胞简便且高效率地导入物质，并且不引起损伤。

公开(公告)号：CN101331594B

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN200780000743.7

申请日：2007-04-20

申请人： 里巴贝鲁株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

发明人： 钟江正巳 ,  冲野晃俊 ,  宫原秀一

IPC分类号： H01L21/304 ,  B01J19/08 ,  B08B3/02 ,  B08B5/00 ,  B08B7/00 ,  G03F7/42 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/24

CPC分类号： H05H1/30 ,  B08B3/08 ,  B08B7/00 ,  B08B7/0035 ,  G03F7/42 ,  G03F7/427 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67075 ,  H01L21/6708

摘要： 本发明涉及处理装置、处理方法及等离子源。提供一种可缩短准备时间而在处理性能上比以往更具可靠性的处理装置及处理方法。具有处理室(1)、设置在处理室内并保持被处理物(2)的保持机构(3)、向处理室内供给活性原子的活性原子供给机构(4)、以及向处理室内供给药液的药液供给机构(5)，对被处理物表面进行通过从活性原子供给机构供给活性原子来进行的干法处理、以及通过从药液供给机构供给的药液来进行的湿法处理。

公开(公告)号：CN101331594A

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：CN200780000743.7

申请日：2007-04-20

申请人： 里巴贝鲁株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

发明人： 钟江正巳 ,  冲野晃俊 ,  宫原秀一

IPC分类号： H01L21/304 ,  B01J19/08 ,  B08B3/02 ,  B08B5/00 ,  B08B7/00 ,  G03F7/42 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/24

CPC分类号： H05H1/30 ,  B08B3/08 ,  B08B7/00 ,  B08B7/0035 ,  G03F7/42 ,  G03F7/427 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67075 ,  H01L21/6708

摘要： 本发明涉及处理装置、处理方法及等离子源。提供一种可缩短准备时间而在处理性能上比以往更具可靠性的处理装置及处理方法。具有处理室(1)、设置在处理室内并保持被处理物(2)的保持机构(3)、向处理室内供给活性原子的活性原子供给机构(4)、以及向处理室内供给药液的药液供给机构(5)，对被处理物表面进行通过从活性原子供给机构供给活性原子来进行的干法处理、以及通过从药液供给机构供给的药液来进行的湿法处理。