一种基于压电微镜的场磨式MEMS电场传感器

    公开(公告)号:CN116338331A

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202310131903.2

    申请日:2023-02-18

    IPC分类号: G01R29/12

    摘要: 本发明涉及一种基于压电微镜的场磨式MEMS电场传感器,包括衬底、压电驱动结构、感应电极和屏蔽电极,屏蔽电极包括屏蔽电极板和设置于屏蔽电极板两侧的第一梳齿状结构,感应电极包括一对或多对对称设置于屏蔽电极两侧的第二梳齿状结构,感应电极和屏蔽电极上的梳齿呈叉指分布,压电驱动结构包括呈中心对称设置的两个驱动臂,驱动臂包括固定端和自由端,固定端安装于衬底上,两个驱动臂的自由端与分别屏蔽电极上的两个呈中心对称的位置连接;传感器工作时,设定屏蔽电极的工作模式,通过压电驱动结构使屏蔽电极周期性振动,采集感应电极上产生的携带被测电场信息的感应信号。与现有技术相比,本发明具有可进行更高频率检测、精度高等优点。