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公开(公告)号:CN102811842B
公开(公告)日:2016-03-23
申请号:CN201080056224.4
申请日:2010-12-13
申请人: 圣戈班磨料磨具有限公司 , 法国圣戈班磨料磨具公司
CPC分类号: B24D7/06
摘要: 一种用于研磨轮的磨料物品包括一个磨料本体,该磨料本体具有包含在一个粘结剂材料基质中的多个磨料颗粒,该磨料本体具有多个臂部分,这些臂部分限定了一条曲折的路径,该路径具有通过多个转弯连接起来的多个直线部分。
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公开(公告)号:CN104471683A
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN201380030940.9
申请日:2013-05-03
申请人: 圣戈班磨料磨具有限公司 , 法国圣戈班磨料磨具公司
IPC分类号: H01L21/304
CPC分类号: B24B53/12 , B24B53/017
摘要: 本发明涉及一种工具,其包括保持器,该保持器被构造成用以联接双侧化学机械平面化(CMP)垫调节器。保持器具有磁性材料、在第一表面处的第一磁场强度(H1)以及在与第一表面相对的第二表面处的第二磁场强度(H2)。所述第一磁场强度(H1)不同于所述第二磁场强度(H2)。
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公开(公告)号:CN110744460B
公开(公告)日:2022-05-17
申请号:CN201911000713.7
申请日:2016-03-04
申请人: 圣戈班磨料磨具有限公司 , 法国圣戈班磨料磨具公司
IPC分类号: B24D7/06
摘要: 本发明提供了研磨制品及其使用方法,所述研磨制品包括本体,所述本体具有环形表面,所述环形表面包括联接至所述环形表面的研磨部段,并且所述研磨部段限定研磨环形区域和相对于研磨环形区域的总表面积不大于24%的研磨表面积百分比。
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公开(公告)号:CN104114666A
公开(公告)日:2014-10-22
申请号:CN201280069829.6
申请日:2012-12-30
申请人: 圣戈班磨料磨具有限公司 , 法国圣戈班磨料磨具公司
发明人: S·西瓦苏布拉马尼安 , S·拉曼斯 , R·维达塔姆 , R·乌帕德亚雅 , S·特里斯
CPC分类号: C09K3/1409 , B24D3/18 , B24D18/0009
摘要: 本发明提供一种研磨制品,所述研磨制品包含粘结研磨体,所述粘结研磨体具有由玻璃化的材料制成的粘结材料、含在所述粘结材料中的包含第一类型超级研磨材料的研磨颗粒、所述粘结研磨体的总体积的至少约50体积%的孔隙率、和不大于约5.5ppm/℃的ΔCTE,其中ΔCTE定义为所述粘结材料的CTE与所述研磨颗粒的CTE之间的差异。
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公开(公告)号:CN103962943A
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN201410198642.7
申请日:2009-12-31
申请人: 圣戈班磨料磨具有限公司 , 法国圣戈班磨料磨具公司
IPC分类号: B24B37/34 , B24B53/017
CPC分类号: B24B53/017 , B24B37/04 , B24B53/12
摘要: 本申请涉及用作化学机械平坦化垫修整器的研磨工具。一种研磨工具包括一个CMP垫修整器,该修整器具有一个基底,该基底包括一个第一主表面、与该第一主表面相反的一个第二主表面、以及在该第一主表面和第二主表面之间延伸的一个侧表面,其中一个第一磨料颗粒层附接到该第一主表面上,并且一个第二磨料颗粒层附接到该第二主表面上。该修整器进一步包括一个第一密封构件,该密封构件沿着该基底的侧表面的一部分在一个周边方向上延伸。
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公开(公告)号:CN107206575B
公开(公告)日:2019-11-15
申请号:CN201680010081.0
申请日:2016-03-04
申请人: 圣戈班磨料磨具有限公司 , 法国圣戈班磨料磨具公司
IPC分类号: B24D7/06
摘要: 本发明提供了研磨制品,所述研磨制品包括本体,所述本体具有环形表面,所述环形表面包括联接至所述环形表面的研磨部段,并且所述研磨部段限定研磨环形区域和相对于研磨环形区域的总表面积不大于24%的研磨表面积百分比。
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公开(公告)号:CN107206575A
公开(公告)日:2017-09-26
申请号:CN201680010081.0
申请日:2016-03-04
申请人: 圣戈班磨料磨具有限公司 , 法国圣戈班磨料磨具公司
IPC分类号: B24D7/06
摘要: 本发明提供了研磨制品,所述研磨制品包括本体,所述本体具有环形表面,所述环形表面包括联接至所述环形表面的研磨部段,并且所述研磨部段限定研磨环形区域和相对于研磨环形区域的总表面积不大于24%的研磨表面积百分比。
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公开(公告)号:CN104114666B
公开(公告)日:2016-06-08
申请号:CN201280069829.6
申请日:2012-12-30
申请人: 圣戈班磨料磨具有限公司 , 法国圣戈班磨料磨具公司
发明人: S·西瓦苏布拉马尼安 , S·拉曼斯 , R·维达塔姆 , R·乌帕德亚雅 , S·特里斯
CPC分类号: C09K3/1409 , B24D3/18 , B24D18/0009
摘要: 本发明提供一种研磨制品,所述研磨制品包含粘结研磨体,所述粘结研磨体具有由玻璃化的材料制成的粘结材料、含在所述粘结材料中的包含第一类型超级研磨材料的研磨颗粒、所述粘结研磨体的总体积的至少约50体积%的孔隙率、和不大于约5.5ppm/℃的ΔCTE,其中ΔCTE定义为所述粘结材料的CTE与所述研磨颗粒的CTE之间的差异。
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公开(公告)号:CN102639297B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201080054451.3
申请日:2010-10-27
申请人: 圣戈班磨料磨具有限公司 , 法国圣戈班磨料磨具公司
CPC分类号: B24D3/10 , B24B37/245 , B24D3/18 , C09K3/1409
摘要: 一种玻璃化的超级磨料产品包括一种超级磨料组分以及该超级磨料组分被分散在其中的一种玻璃化的粘结剂组分。该玻璃化的粘结剂包括一种镧系元素的氧化物。另外,该玻璃化的粘结剂组分限定了多个直径基本上全都小于800μm的孔。这些孔中的百分之七十是处于约40μm与约500μm之间的范围内并且小于约2的平均长径比。其孔隙率是在该超级磨料产品的总体积的约50%与约90%之间的范围内。
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公开(公告)号:CN102341215B
公开(公告)日:2014-06-18
申请号:CN200980157810.5
申请日:2009-12-31
申请人: 圣戈班磨料磨具有限公司 , 法国圣戈班磨料磨具公司
IPC分类号: B24B53/017 , H01L21/304
CPC分类号: B24B53/017 , B24B37/04 , B24B53/12
摘要: 一种研磨工具包括一个CMP垫修整器,该修整器具有一个基底,该基底包括一个第一主表面、与该第一主表面相反的一个第二主表面、以及在该第一主表面和第二主表面之间延伸的一个侧表面,其中一个第一磨料颗粒层附接到该第一主表面上,并且一个第二磨料颗粒层附接到该第二主表面上。该修整器进一步包括一个第一密封构件,该密封构件沿着该基底的侧表面的一部分在一个周边方向上延伸。
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