公开(公告)号：CN101926235A

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200980102832.1

申请日：2009-02-27

申请人： 埃托特克德国有限公司

发明人： C·斯帕林 ,  N·吕错 ,  D·特夫斯 ,  M·汤姆斯

IPC分类号： H05K3/38 ,  C23F11/14

CPC分类号： H05K3/389 ,  C23C22/02 ,  C23C22/52 ,  C23F11/12 ,  C23F11/128 ,  C23F11/149 ,  C23F11/16 ,  C23F11/165 ,  C23F11/173 ,  H05K3/064 ,  H05K3/108 ,  H05K3/282 ,  H05K2203/12 ,  H05K2203/122 ,  H05K2203/124

摘要： 为了使光阻剂涂料，更具体而言光可成像光阻剂涂料良好地粘附至铜基底，并确保很薄的铜基底不受损害，提供了一种用于处理该铜基底的非蚀刻非光阻性组合物，该组合物包含至少一种选自以下的粘着剂：(i)含至少一个硫醇部分的杂环化合物，及(ii)具有以下化学通式的季胺聚合物：{N+(R3)(R4)-(CH2)a-N(H)-C(Y)-N(H)-(CH2)b-N+(R3)(R4)-R5}n2nX-，其中R1、R2、R3、R4、R5、Y及X-如权利要求中的定义。

公开(公告)号：CN101926235B

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN200980102832.1

申请日：2009-02-27

申请人： 埃托特克德国有限公司

发明人： C·斯帕林 ,  N·吕错 ,  D·特夫斯 ,  M·汤姆斯

IPC分类号： H05K3/38 ,  C23F11/14

CPC分类号： H05K3/389 ,  C23C22/02 ,  C23C22/52 ,  C23F11/12 ,  C23F11/128 ,  C23F11/149 ,  C23F11/16 ,  C23F11/165 ,  C23F11/173 ,  H05K3/064 ,  H05K3/108 ,  H05K3/282 ,  H05K2203/12 ,  H05K2203/122 ,  H05K2203/124

摘要： 为了使光阻剂涂料，更具体而言光可成像光阻剂涂料良好地粘附至铜基底，并确保很薄的铜基底不受损害，提供了一种用于处理该铜基底的非蚀刻非光阻性组合物，该组合物包含至少一种选自以下的粘着剂：(i)含至少一个硫醇部分的杂环化合物，及(ii)具有以下化学通式的季胺聚合物：{N+(R3)(R4)-(CH2)a-N(H)-C(Y)-N(H)-(CH2)b-N+(R3)(R4)-R5}n2nX-，其中R1、R2、R3、R4、R5、Y及X-如权利要求中的定义。