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公开(公告)号：CN217595292U
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202220158932.9
申请日：2022-01-19
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
摘要： 本实用新型属于半导体行业技术领域，涉及一种物料清洗装置，物料清洗装置包括本体，本体上设置有清洗腔及与清洗腔相通的出风口；承载台，承载台安装在清洗腔内，用于承载物料；至少一个清洗机构，清洗机构与本体连接，用于清洗承载台上的物料；送风组件，送风组件安装在本体的顶部；罩体组件，罩体组件升降式设置于本体上；罩体组件包括中空、环形的防溅罩；在清洗物料时，承载台上的物料位于防溅罩内，并与防溅罩的内壁存在间隙；其中，间隙位于出风口的顶部，送风组件送出的风能压向间隙，并从出风口排出。该物料清洗装置不仅能够防止清洗液或清水飞溅，还能够抽出容纳腔体内的水雾，防止水雾凝结滴落在晶圆表面污染晶圆。
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公开(公告)号：CN217444356U
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202220235517.9
申请日：2022-01-27
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/683 , H01L21/687
摘要： 本实用新型涉及一种载台机构，包括晶圆框架固定机构和晶圆固定机构；晶圆框架固定机构包括晶圆框架固定板、第一夹持装置、第二夹持装置和驱动装置；晶圆框架固定板上设置有安装孔；第一夹持装置和第二夹持装置位于安装孔的相对的两侧；驱动装置用于驱动第一夹持装置和第二夹持装置相互靠近或远离，以夹紧固定晶圆框架或松开晶圆框架；晶圆固定机构包括晶圆固定板和吸附装置；晶圆固定板嵌设在安装孔内；吸附装置用于将晶圆吸附固定在晶圆固定板上。本实用新型的载台机构采用吸附装置吸附定位晶圆，采用第一夹持装置和第二夹持装置夹紧固定晶圆框架，能够夹紧固定不同形状的晶圆框架，避免晶圆框架变形影响固定的稳定性和定位精度。
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公开(公告)号：CN217946879U
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202220235512.6
申请日：2022-01-27
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
IPC分类号： B65G49/06
摘要： 本实用新型涉及一种晶圆分离机构，包括驱动装置、连接架、吸取组件和控制装置；吸取组件包括吸取装置和感应装置，感应装置的一端与连接架连接，感应装置的另一端与吸取装置连接；驱动装置用于驱动连接架上下移动，以使吸取装置吸取承载晶圆并使承载晶圆与固定在载台上的器件晶圆分离；驱动装置、感应装置和控制装置电连接；感应装置用于检测承载晶圆与器件晶圆分离过程中的拉力并反馈至控制装置；控制装置用于根据感应装置反馈的拉力超过拉力预设值时，控制驱动装置停止工作。与现有技术相比，实现了自动化分离承载晶圆和器件晶圆，感应装置能检测承载晶圆和器件晶圆分离过程中的拉力，避免强行分离造成损坏，有利于保护承载晶圆与器件晶圆。
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公开(公告)号：CN217426706U
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202220158933.3
申请日：2022-01-19
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/67 , B08B11/02 , F16F15/02
摘要： 本实用新型属于半导体行业技术领域，涉及一种物料吸附载台及物料清洗设备，物料吸附载台包括承载台，承载台上具有承载区和安装区，安装区位于承载区的外围；缓冲件，缓冲件的一部分安装在承载台上，另一部分从安装区的外围凸出于承载台的顶部；其中，缓冲件能先托住物料，并在物料下行到承载台的承载区吸附承载时，还能在承载区的外围包住物料。该物料吸附载台既能够实现物料与承载台之间的软接触，降低物料裂片的风险；又能兼容翘曲变形的物料，对翘曲变形的物料进行完全吸附，确保稳固地承载。
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公开(公告)号：CN217405391U
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202220150849.7
申请日：2022-01-19
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 本申请提供了一种基台及吸附载台，包括：基座；支撑座，固定设置于所述基座上，用于可拆卸安装吸附面板，且在所述支撑座上还设置有避让空间；以及连接座，沿竖直方向活动设置于所述避让空间内，且在所述连接座上至少分别设置有第一安装结构和第二安装结构，其中，所述第一安装结构用于可拆卸安装第一接料件，所述第二安装结构用于可拆卸安装第二接料件。可看出，本申请中的基台可实现第一接料件和第二接料件的安装，在实际使用时可根据晶圆的形态选择安装对应的接料件，以提高整个基台的兼容性。
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公开(公告)号：CN217322309U
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202220384069.9
申请日：2022-02-24
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司 , 深圳市大族半导体装备科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种搬运机构及加工设备，搬运机构包括夹取组件、吸取组件和运动组件，夹取组件包括夹取驱动组件、第一夹取件和第二夹取件，夹取驱动件用于驱动所第一夹取件和所述第二夹取件相向移动以夹取产品，吸取组件设置在所述第一夹取件和所述第二夹取件之间，所述吸取组件的吸附端与所述夹取组件的夹持端之间形成避让空间。本实用新型可根据产品结构的不同，在吸取和夹取两种搬运方式中选择更合适的搬运方式，从而增加了搬运的机构的适用性，减低了设备成本。同时，在互不干扰的前提，吸取组件和夹取组件之间为紧凑化设置，不仅结构简单，还可避免占用设备空间。
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公开(公告)号：CN214516283U
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202022781192.8
申请日：2020-11-25
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
摘要： 本实用新型实施例公开了一种晶圆清洗槽，包括清洗池、转轴、晶圆载台和清洗喷头，晶圆载台和清洗喷头均设置在清洗池内，清洗池是由侧壁和底座围成的桶状结构，转轴设置在所述底座上，转轴的一端与所述晶圆载台连接从而带动晶圆载台转动，清洗喷头位于所述晶圆载台的上方，清洗喷头用于向晶圆载台喷淋清洗液，侧壁的内表面对应所述晶圆载台的位置设有缓冲层。清洗时被甩出的清洗液和晶圆碎屑以高速撞击到清洗池侧壁时，先撞击到缓冲层上，基于缓冲层的缓冲作用，有效防止清洗液和晶圆碎屑反弹，提高了晶圆的清洗质量，也避免了晶圆和零件被刮伤。
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