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公开(公告)号：CN112935576A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110098802.0
申请日：2021-01-25
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种激光加工调焦系统，包括：拍摄模块，其用于拍摄待加工材料的轮廓；材料高度检测模块，其用于检测待加工材料的高度；调焦模块，其用于检测和调整激光焦点位于待加工材料的高度；位置检测模块，其用于检测待加工材料的水平位置；控制模块，其与拍摄模块、位置检测模块、材料高度检测模块、调焦模块电性连接；其中，控制模块用于根据待加工材料的轮廓、水平位置以及高度确定待加工材料的边缘坐标，并根据边缘坐标控制调焦模块在移出待加工材料的边缘时保持激光焦点的高度不变。通过实施本发明可以极大地改善调焦模块在待加工材料的边缘处的调焦效果。
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公开(公告)号：CN114523210A
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202011217124.7
申请日：2020-11-04
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
摘要： 本发明属于晶圆制造技术领域，特别是涉及一种晶圆保护膜旋转切除装置。该晶圆保护膜旋转切除装置包括主体箱、载物台、旋转组件、切除组件以及移动机构；移动机构包括用于带动切除组件沿竖直方向移动的竖向移动组件，以及用于带动切除组件沿水平方向移动的横向移动组件；旋转组件包括安装在主体箱和移动机构之间的第一旋转件或/和安装在主体箱和载物台之间的第二旋转件；切除组件包括切割头；旋转组件用于带动载物台和切除组件相对旋转，以使得切割头将放置在载物台上的晶圆上的保护膜切除。本发明中，该晶圆保护膜旋转切除装置可用于切割晶圆周围多余的保护膜，从而提高了晶圆的生产效率和质量。
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公开(公告)号：CN110034050A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910307443.8
申请日：2019-04-17
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明涉及一种解键合装置及其穿刺机构，该穿刺机构包括基座、滑座、刀片及弹性件，滑座滑动连接于基座；刀片与滑座相连接；弹性件与滑座弹性相抵，以通过滑座向刀片提供预压力，预压力大于或等于刺破力；其中，刺破力为刀片穿刺键合物以进入硅片与载片之间时所需的力。本发明的解键合装置及其穿刺机构，利用弹性件预压刀片来穿刺硅片与载片之间的键合物，以破除硅片与载片之间可能存在的真空吸附，以避免硅片与载片分离时硅片或载片受损。
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公开(公告)号：CN110034050B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201910307443.8
申请日：2019-04-17
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明涉及一种解键合装置及其穿刺机构，该穿刺机构包括基座、滑座、刀片及弹性件，滑座滑动连接于基座；刀片与滑座相连接；弹性件与滑座弹性相抵，以通过滑座向刀片提供预压力，预压力大于或等于刺破力；其中，刺破力为刀片穿刺键合物以进入硅片与载片之间时所需的力。本发明的解键合装置及其穿刺机构，利用弹性件预压刀片来穿刺硅片与载片之间的键合物，以破除硅片与载片之间可能存在的真空吸附，以避免硅片与载片分离时硅片或载片受损。
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公开(公告)号：CN211879344U
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN202020532428.1
申请日：2020-04-10
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种提篮内晶圆放置状态检测装置，包括安装平面、控制系统、激光检测装置、检测平台和第一驱动组件，提篮内设置有至少一层的晶圆放置空间，激光检测装置包括安装支架、水平安装杆和至少三个激光光电传感器，每个激光光电传感器均可在提篮的同一层晶圆放置空间内形成检测光斑，至少三个的检测光斑在竖直和水平方向上均相互错开。本实用新型所提供的提篮内晶圆放置状态检测装置通过第一驱动组件实现激光检测装置对于提篮内的晶圆进行逐层检测，至少三个激光光电传感器用于对每一层的晶圆放置空间进行有效地检测并且判断每层晶圆的放置状态属于正常、空层、重叠或者斜置，整个检测装置成本低、结构简单以及检测判断的准确度高。
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公开(公告)号：CN211291831U
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201922032614.9
申请日：2019-11-22
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
IPC分类号： G01L5/00
摘要： 本实用新型涉及一种拉压力检测装置，用于检测玻璃载片及晶圆分离过程中的拉力和/或压力，包括：拾取组件，用于拾取玻璃载片；连接件，与所述拾取组件固定连接；升降组件，与所述连接件滑动连接，以带动所述拾取组件升降，且所述连接件能够相对于所述升降组件沿竖直方向滑动；以及传感组件，与所述升降组件相连接，所述传感组件随所述升降组件升降时能够与所述连接件抵接。上述的拉压力检测装置，通过拾取组件拾取玻璃载片，并通过升降组件带动拾取组件抬升，从而带动玻璃载片抬升直至玻璃载片与晶圆完全分离，传感组件能够实时检测玻璃载片与晶圆分离过程中的拉力和/或压力数值，防止拉力突变而损坏玻璃载片，安全性高。
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公开(公告)号：CN213324118U
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202021497667.4
申请日：2020-07-24
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
IPC分类号： B65B69/00
摘要： 本实用新型属于半导体加工技术领域，特别是涉及一种撕膜装置，包括竖向驱动机构、导向机构、过渡安装板和切割机构；所述竖向驱动机构的输出端包括连续的第一段行程和第二段行程，导向机构包括导向件和滑动连接在导向件上的滑动件，在第一段行程时，导向机构和切割机构同步运动，滑动件与导向件保持相对静止；第二段行程时，切割机构保持不动，滑动件与导向件相对滑动，本实用新型中，竖向驱动机构的输出端的行程大于切割机构与工件的距离，多出的行程由导向机构消耗掉。竖向驱动机构的输出端带动切割机构的底部触碰到工件时，切割机构停止并保持不动，切割机构准确地达到撕膜切入口处，具有较高的撕膜切入口的准确性。
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公开(公告)号：CN213305783U
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202021494324.2
申请日：2020-07-24
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
摘要： 本实用新型属于圆盘工件的加热技术领域，特别涉及一种环形加热装置，包括固定件、加热机构、导向机构和驱动机构；驱动机构的输出端包括连续的第一段行程和第二段行程；导向机构包括导向件和滑动件，驱动机构的输出端在第一段行程时，驱动机构的输出端带动导向机构和加热机构同步运动，滑动件与导向件相对静止；驱动机构的输出端运动至第一段行程与第二段行程的相接位置时，加热机构与待加热工件抵靠保持不动，通过滑动件与导向件的相对滑动，使得驱动机构的输出端继续朝着加热机构运动以完成第二段行程，保证了良好的加热效果，又不会由于加热机构对于待加热工件的过大的压力导致易碎待加热工件的破碎，实现自重轻压接触且加热效果良好。
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公开(公告)号：CN208557546U
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201821130320.9
申请日：2018-07-17
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及圆盘类工件的夹紧抓取领域，具体涉及一种夹爪机构。所述夹爪机构包括底座、滑动件、连杆机构、卡爪和用于驱动滑动件移动的动力部，所述滑动件和卡爪均与连杆机构转动连接，所述动力部包括电机、齿轮以及齿条，所述电机安装在底座上，并与齿轮传动连接，所述齿条与滑动件传动连接，并与齿轮啮合，所述电机驱动齿轮、齿条运动带动滑动件移动，并带动卡爪松开或夹紧。通过利用电机驱动齿轮转动，齿条移动带动滑动件移动，卡爪松开或夹紧，电机与齿轮、齿条的配合，使夹爪机构夹取速度更快、噪音减小。
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公开(公告)号：CN208217851U
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201820444660.2
申请日：2018-03-30
申请人： 大族激光科技产业集团股份有限公司
IPC分类号： B65G47/91
摘要： 本实用新型属于夹具技术领域，尤其涉及一种旋转夹紧装置。所述旋转夹紧装置包括旋转底盘、设置在旋转底盘下方的夹爪、均匀设置在旋转底盘上的用于驱动夹爪夹紧或松开的多个连杆机构、设置在旋转底盘上方的带动连杆机构运动的转盘、以及设置在转盘一侧的用于驱动转盘转动的电机。通过电机驱动转盘旋转，再带动连杆机构运动，从而将旋转运动转化为直线运动，再通过固接在连杆机构一端的夹爪便可对圆盘类工件进行夹紧固定或松开，本装置结构简单，适用于各种尺寸的圆盘类工件，可有效的缩短产品换线时间，提高产能。
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