玻璃基板通孔的激光加工方法和装置

    公开(公告)号:CN112894146A

    公开(公告)日:2021-06-04

    申请号:CN201911227394.3

    申请日:2019-12-04

    摘要: 本发明属于激光加工的技术领域,特别是涉及一种玻璃基板通孔的激光加工方法和装置。该玻璃基板通孔的激光加工方法包括通过贝塞尔光束发生单元将激光器发射的第一激光束分离为对称且具有贝塞尔分布的第一光束和第二光束;再通过聚焦单元进行聚焦,生成具有预设聚焦光斑和预设焦深的加工激光束;令加工激光束在玻璃基板上以预设加工路径进行扫描;将扫描之后的所述玻璃基板放置在预设的腐蚀性溶液中;在预设时间之后自所述腐蚀性溶液中取出沿所述预设加工路径形成通孔的所述玻璃基板。本发明的玻璃基板通孔的激光加工方法,时间成本低,效率高且通孔质量好。

    激光切割装置及其分光组件

    公开(公告)号:CN103433620B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201310400651.5

    申请日:2013-09-05

    IPC分类号: B23K26/067 C03B33/00

    CPC分类号: Y02P40/57

    摘要: 本发明公开了一种激光切割装置及其分光组件,分光组件包括支架、反射镜及分光镜。分光镜与反光镜相互平行且间隔设置,分光镜位于反射镜设有反光面的一侧。当激光光束以预设角度照射分光镜时,部分光线透射,部分光线反射到反射镜上。光线经过多次在分光镜和反射镜之间反射,透过分光镜的光线形成多组平行的射出光线。由于分光组件可将沿预设角度入射的激光光束分成多组平行的光束,且光束间能量成特定比例分布,故使得光斑的能量分布更加合理。因此,在采用上述激光切割装置切割时,可根据需要选择合适能量的光斑,进而提高了切割的良率。

    激光切割装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103482860B

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201310400652.X

    申请日:2013-09-05

    IPC分类号: C03B33/02

    CPC分类号: Y02P40/57

    摘要: 本发明公开了一种激光切割装置,包括支架及可滑动的设置于支架上的两个透镜。透镜的入射面为向外突出的柱面,故激光光束从入射面入射时,透镜会在沿入射面准线的方向对激光光束起到汇集作用。由于激光光束需依次通过两个平行设置的透镜,且两个透镜的入射面的直母线垂直。因此,通过两个透镜的激光光束在两个垂直的方向被压缩。改变两个透镜的位置可分别调节激光光束在两个垂直方向的压缩程度,从而对切割点的光斑大小实现调节。在上述激光切割装置中,通过滑动透镜便可改变两个透镜的高度,进而实现光斑大小的调节,而且,透镜滑动所改变的距离是连续变化的,可精确实现极小的位移,从而使得调节的精准度也大大提高。