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发明授权
微电极电路检查用针制造方法及以该方法制造的微电极电路检查用针有权转让

公开(公告)号：CN105452878B

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201480044941.3

申请日：2014-07-07

申请人： 宇德曼斯有限公司

发明人： 丘璜燮 , 李圭汉 , 全柄俊 , 方镐燮 , 郑熙锡 , 金铉济

IPC分类号： G01R1/067

摘要： 本发明公开一种微电极电路检查用针。本发明实施例的微电极电路检查用针包括：针，其在两端中的至少一者上形成有接触部，具有弹性复原力的弹性部连接所述两端之间；及外壳，其形成有使所述接触部露出于外部的贯通部，且覆盖所述弹性部；所述针与所述外壳通过半导体MEMS工序而同时形成，所述针及所述外壳的下部与上部中的至少一个面平坦地形成。