图案形成材料、以及图案形成装置和图案形成方法

    公开(公告)号:CN101105631A

    公开(公告)日:2008-01-16

    申请号:CN200710129075.X

    申请日:2007-07-11

    摘要: 本发明的目的在于,通过组合规定的聚合性化合物进而在一定范围内调节感光层的感度,提供感度和析像度高、且遮盖膜强度强、密合性出色、防止未曝光膜破裂的效果出色的图案形成材料、以及图案形成装置、以及图案形成方法。本发明的图案形成材料,具有支撑体并且在该支撑体上至少具有感光层而成,该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物、和光聚合引发剂,所述聚合性化合物含有具有双酚骨架的聚合性化合物(a-1)、和分子具有4个以上的反应性基团且分子量为700以上的聚合性化合物(a-2)而成,使所述感光层的曝光的部分的厚度在该曝光和显影后不发生变化的所述曝光中所使用的光的最小能量为0.1~50mJ/cm2。本发明使用了该图案形成材料的图案形成方法也具有所述特征。

    图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法

    公开(公告)号:CN101142525A

    公开(公告)日:2008-03-12

    申请号:CN200580049062.0

    申请日:2005-12-26

    摘要: 本发明提供一种图案形成材料,其中,具有支撑体和在该支撑体上至少具有的感光层而成,该支撑体的浊度值为5.0%以下,而且该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂,同时所述聚合性化合物包括在分子中具有1个聚合性基的化合物或者在分子中至少具有3个以上聚合性基的化合物,而且在对所述感光层进行曝光显影时,使该感光层的曝光部分的厚度在该曝光及显影后不发生变化的该曝光中使用的光的最小能量为0.1~20mJ/cm2。

    感光性树脂组合物及感光性转印薄膜以及图案形成方法

    公开(公告)号:CN101401035A

    公开(公告)日:2009-04-01

    申请号:CN200680053832.3

    申请日:2006-11-08

    摘要: 本发明的目的在于提供一种在基板上的抗蚀剂的随动性良好且可以同时实现出色的显影性和蚀刻时的剥离片的微细化的感光性树脂组合物,具有利用该感光性树脂组合物形成的感光层的感光性转印薄膜,以及使用该感光性转印薄膜的可以形成高精细的图案的图案形成方法。为此,该感光性树脂组合物的特征在于,含有粘合剂、聚合性化合物以及光聚合引发剂,熔融粘度在50℃下为40,000~120,000Pa·s,在 70℃下为5,000~20,000Pa·s。本发明提供具有利用该感光性树脂组合物形成的感光层的感光性转印薄膜以及使用该感光性转印薄膜的可以形成高精细的图案的图案形成方法。