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公开(公告)号:CN111902775B
公开(公告)日:2024-01-02
申请号:CN201980021987.6
申请日:2019-03-22
申请人: 富士胶片株式会社
摘要: 本发明提供一种图案形成性优异并且抑制了在图案之间产生残渣的图案的制造方法、光学滤波器的制造方法、固体摄像元件的制造方法及图像显示装置的制造方法。并且,提供一种光固化性组合物及膜。图案的制造方法包括:使用含有色材和树脂,且固体成分的酸值为1~25mgKOH/g的光固化性组合物在支承体上形成光固化性组合物层的工序;将光固化性组合物层曝光成图案状的工序;及使用含有有机溶剂的显影液对未曝光部的光固化性组合物层进行处理而显影的工序。
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公开(公告)号:CN108369377A
公开(公告)日:2018-08-03
申请号:CN201680070064.6
申请日:2016-12-02
申请人: 富士胶片株式会社
摘要: 本发明提供一种灵敏度良好且灵敏度的经时稳定性优异的放射线敏感性树脂组合物、固化膜、图案形成方法、固体摄像元件及图像显示装置。本发明的放射线敏感性树脂组合物包含树脂、具有烯属不饱和键的聚合性化合物、光聚合引发剂、有机溶剂及水,所述放射线敏感性树脂组合物中,光聚合引发剂包含具有选自支链烷基及环状烷基中的至少1种基团的肟酯化合物,相对于放射线敏感性树脂组合物的质量,水的含量为0.1~2质量%。
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公开(公告)号:CN118946611A
公开(公告)日:2024-11-12
申请号:CN202380031626.6
申请日:2023-03-23
申请人: 富士胶片株式会社
IPC分类号: C08F290/14 , G03F7/027 , G03F7/40 , H01L21/312
摘要: 一种固化物的制造方法、包含上述固化物的半导体器件的制造方法、上述固化物的制造方法中使用的处理液以及上述固化物的制造方法,该固化物的制造方法包括:膜形成工序,将包含含有由式(1)表示的重复单元的聚酰亚胺前体及溶剂的树脂组合物应用于基材上而形成膜;处理工序,使处理液与上述膜接触;及加热工序,在上述处理工序之后,对上述膜进行加热,上述处理液含有选自由碱性化合物及产碱剂组成的组中的至少1种化合物。#imgabs0#
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公开(公告)号:CN111656278B
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN201980008387.6
申请日:2019-02-13
申请人: 富士胶片株式会社
摘要: 一种感光性组合物,其为用于利用波长300nm以下的光进行曝光的、包含色材及聚合性单体的感光性组合物,在感光性组合物的总固体成分中的聚合性单体与光聚合引发剂的合计的含量为15质量%以下。
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公开(公告)号:CN114779576A
公开(公告)日:2022-07-22
申请号:CN202210527273.6
申请日:2016-12-02
申请人: 富士胶片株式会社
摘要: 本发明提供一种灵敏度良好且灵敏度的经时稳定性优异的放射线敏感性树脂组合物、固化膜、图案形成方法、固体摄像元件及图像显示装置。本发明的放射线敏感性树脂组合物包含树脂、具有烯属不饱和键的聚合性化合物、光聚合引发剂、有机溶剂及水,所述放射线敏感性树脂组合物中,光聚合引发剂包含具有选自支链烷基及环状烷基中的至少1种基团的肟酯化合物,相对于放射线敏感性树脂组合物的质量,水的含量为0.1~2质量%。
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公开(公告)号:CN111149021A
公开(公告)日:2020-05-12
申请号:CN201880062375.7
申请日:2018-09-21
申请人: 富士胶片株式会社
IPC分类号: G02B5/20 , G03F7/004 , H01L27/146
摘要: 本发明提供一种能够在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置精度良好地形成矩形性良好的像素的滤光器的制造方法。本发明的滤光器的制造方法包括:在具有隔壁且设置有由隔壁划分的多个区域的支承体上涂布着色感光性组合物来形成着色感光性组合物层的工序,该着色感光性组合物包含色材及固化性化合物且在总固体成分中含有10质量%以上的色材;使用扫描式曝光机对着色感光性组合物层照射波长为300nm以下的光而以图案状对着色感光性组合物层进行曝光的工序;及显影去除未曝光部的着色感光性组合物层,在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置形成像素的工序。
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公开(公告)号:CN104823083A
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201380062266.2
申请日:2013-11-27
申请人: 富士胶片株式会社
IPC分类号: G02B5/22 , C08L101/00 , C09D7/12 , C09D201/00 , H01L27/14 , H04N5/225 , H04N5/335
CPC分类号: C09D7/007 , C08J3/22 , C08K5/55 , C09D5/00 , C09D7/41 , C09D201/00 , G02B1/11 , G02B5/223 , H01L27/14618 , H01L27/14621 , H01L27/14625 , H01L27/14685 , H01L2224/13 , H04N5/2254
摘要: 本发明提供一种可制作彩色深浅得到抑制的图像传感器芯片的硬化性树脂组合物、使用其的图像传感器芯片的制造方法及图像传感器芯片。本发明的硬化性树脂组合物含有能以成为20μm以上的膜厚的方式涂布且在波长600nm~850nm的范围内具有最大吸收波长的色素。
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公开(公告)号:CN111656280A
公开(公告)日:2020-09-11
申请号:CN201980010362.X
申请日:2019-02-13
申请人: 富士胶片株式会社
摘要: 一种感光性组合物,其用于脉冲曝光且包含色材A、光引发剂B及与由光引发剂B产生的活性种进行反应而固化的化合物C,光引发剂B包含满足下述条件1的光引发剂b1,条件1:在最大瞬间照度375000000W/m2、脉冲宽度8纳秒、频率10Hz的条件下,对包含0.035mmol/L光引发剂b1的丙二醇单甲醚乙酸酯溶液脉冲曝光波长355nm的光之后的量子产率q355为0.05以上。
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