固化物的制造方法、半导体器件的制造方法、处理液及树脂组合物

    公开(公告)号:CN118946611A

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202380031626.6

    申请日:2023-03-23

    摘要: 一种固化物的制造方法、包含上述固化物的半导体器件的制造方法、上述固化物的制造方法中使用的处理液以及上述固化物的制造方法,该固化物的制造方法包括:膜形成工序,将包含含有由式(1)表示的重复单元的聚酰亚胺前体及溶剂的树脂组合物应用于基材上而形成膜;处理工序,使处理液与上述膜接触;及加热工序,在上述处理工序之后,对上述膜进行加热,上述处理液含有选自由碱性化合物及产碱剂组成的组中的至少1种化合物。#imgabs0#

    滤光器的制造方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111149021A

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN201880062375.7

    申请日:2018-09-21

    IPC分类号: G02B5/20 G03F7/004 H01L27/146

    摘要: 本发明提供一种能够在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置精度良好地形成矩形性良好的像素的滤光器的制造方法。本发明的滤光器的制造方法包括:在具有隔壁且设置有由隔壁划分的多个区域的支承体上涂布着色感光性组合物来形成着色感光性组合物层的工序,该着色感光性组合物包含色材及固化性化合物且在总固体成分中含有10质量%以上的色材;使用扫描式曝光机对着色感光性组合物层照射波长为300nm以下的光而以图案状对着色感光性组合物层进行曝光的工序;及显影去除未曝光部的着色感光性组合物层,在由隔壁划分的区域内或与由隔壁划分的区域对应的位置形成像素的工序。