用于送入/取出基板的方法及系统和感光层叠体制造设备

    公开(公告)号:CN101461052A

    公开(公告)日:2009-06-17

    申请号:CN200780020746.7

    申请日:2007-06-07

    Inventor: 杉原了一 森亮

    Abstract: 基板冷却部分(30)设置在粘接部分(29)的下游,粘接部分(29)将感光薄片(7)粘接到玻璃基板(3),以便生成粘接基板(20)。基板冷却部分(30)包括具有多个基板储存室(76)的粘接基板储存设备(68),每个基板储存室(76)都储存粘接基板(20);以及送入/取出机器人(69),送入/取出机器人(69)将未冷却的粘接基板(20)从粘接部分送入粘接基板储存设备(68),同时将冷却的粘接基板(20)从粘接基板储存设备(68)取出并输送到基底剥离部分(31)。所有的基板储存室(76)都被分成正常储存区或缓冲区。当基底剥离部分(31)陷于故障中时,基板加热部分(28)和粘接部分(29)处的基板储存在缓冲区中。

    层叠体薄膜的粘贴方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101352932A

    公开(公告)日:2009-01-28

    申请号:CN200810131659.5

    申请日:2008-07-21

    Abstract: 本发明是将从长条状感光性网片(22)局部除去保护薄膜(30)而露出的感光性树脂层(28)叠层在玻璃基板(24)上的层叠体薄膜的粘贴方法。通过在从半切位置向上游侧且一张长条状感光性网片(22)的粘贴长度以下的位置上配置的光电传感器(104),检测出所述长条状感光性网片(22)的不良处时,停止下次的半切处理。然后,停止了半切处理的部分不粘贴在玻璃基板(24)上,被废弃。

    薄膜输送装置和薄膜输送方法

    公开(公告)号:CN101274507A

    公开(公告)日:2008-10-01

    申请号:CN200810087882.4

    申请日:2008-03-27

    Inventor: 长谷明彦 森亮

    Abstract: 本发明提供一种薄膜输送装置和薄膜输送方法。薄膜输送装置(48)具有单元主体(94),该单元主体(94)在长条状感光性板(22)停止的状态下,沿着输送路线(88),在与输送方向相反的反输送方向移动。在单元主体(94)收容切断长条状感光性板(22)的切断机构(106)、配置在所述切断机构(106)的输送方向上游侧的第一薄膜输送辊对(112a)和第二薄膜输送辊对(112b)、配置在所述切断机构(106)的输送方向下游侧的第三薄膜输送辊对(112c)。

    检测设备和使用这种检测设备的叠层体制造装置

    公开(公告)号:CN1997886B

    公开(公告)日:2010-10-20

    申请号:CN200580022839.4

    申请日:2005-07-06

    CPC classification number: G01N21/8916

    Abstract: 从各个检测器(60a、60b)中的激光二极管(39)发射出的激光束(LB)被施加至光敏薄片薄膜(12)中的局部切割区域(27a、27b),所述光敏薄片薄膜(12)中的局部切割区域(27a、27b)通过薄膜弯曲辊(58)被扩展向检测器(60a、60b)。从局部切割区域(27a、27b)反射的部分激光束(LB)由光量传感器(45)检测。被施加到光敏薄片薄膜(12)的表面而不是局部切割区域(27a、27b)的激光束(LB)被反射到光量传感器(45)的光检测区域外侧,并且没有被光量传感器(45)检测到。

    检测设备和使用这种检测设备的叠层体制造装置

    公开(公告)号:CN1997886A

    公开(公告)日:2007-07-11

    申请号:CN200580022839.4

    申请日:2005-07-06

    CPC classification number: G01N21/8916

    Abstract: 从各个检测器(60a、60b)中的激光二极管(39)发射出的激光束(LB)被施加至光敏薄片薄膜(12)中的局部切割区域(27a、27b),所述光敏薄片薄膜(12)中的局部切割区域(27a、27b)通过薄膜弯曲辊(58)被扩展向检测器(60a、60b)。从局部切割区域(27a、27b)反射的部分激光束(LB)由光量传感器(45)检测。被施加到光敏薄片薄膜(12)的表面而不是局部切割区域(27a、27b)的激光束(LB)被反射到光量传感器(45)的光检测区域外侧,并且没有被光量传感器(45)检测到。

    流体分配器
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1307005C

    公开(公告)日:2007-03-28

    申请号:CN01117611.3

    申请日:2001-05-08

    Abstract: 一种流体分配器,在喷射器(26)的相对两端提供了一对端口(29,31),通过来回移动在喷射器中的活塞(42),交替地从两个端口之一分配流体。在喷射器轴向活塞的两端提供了两个搅拌器(47,48)。每一个搅拌器都可以围绕与活塞移动方向平行的轴旋转。一对搅拌驱动环(49,50)与搅拌器对应装配在喷射器的外圆周面上。磁铁(55,56,59,60)嵌入搅拌器和搅拌驱动环中,因此,当搅拌驱动环在马达(51,52)的带动下旋转时,其产生的磁场驱动搅拌器旋转。

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