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公开(公告)号：CN1503451A
公开(公告)日：2004-06-09
申请号：CN200310113761.X
申请日：2003-11-21
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： H03H9/564 , H03H9/0095 , H03H9/1014 , H03H9/568
摘要： 一种滤波器元件以及包含它的滤波器器件、双工器和高频电路，该滤波器元件包含位于电路的串联支路和并联支路中的多个谐振器。在该滤波器元件中，至少一个串联支路谐振器包含多个并联的单端双压电薄膜谐振器。
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公开(公告)号：CN100594674C
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200410057295.2
申请日：2004-08-27
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： H03H9/174 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/131 , H03H9/132 , H03H9/562 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/023
摘要： 本发明涉及膜体声学谐振器及其制造方法。该膜体声学谐振器包括：形成在基板的主表面上的压电薄膜；以及被布置为夹着所述压电薄膜的下电极和上电极。在该膜体声学谐振器中，所述压电薄膜由氮化铝制成，并且所述上电极和所述下电极中的至少一个由钌或者包含钌为主要成分的钌合金制成，所述下电极直接暴露于形成在所述下电极下方的空腔。
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公开(公告)号：CN1766648A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510068900.0
申请日：2005-05-11
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： B81B7/0048 , B81B3/0072 , B81B2201/0235 , G01D11/30 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842
摘要： 加速度传感器。该加速度传感器减少了噪声，可以解决由于热膨胀系数差异而出现的应力问题。该加速度传感器检测三维坐标系统中的三个轴向的加速度，包括：具有四个侧面的框架，通过半导体基板一体形成；重物部分，位于该框架中；和四个梁部分，分别与四个侧面中的每一个相对应，所述梁部分的一端连接到重物部分上以支撑该重物部分，另一端连接到四个侧面的相应侧面的中心，在四个梁部分的每一个上形成检测元件，该检测元件检测与作用在重物部分上的加速度相对应的梁部分的挠曲；在框架的四个侧面的每一个上形成有接合部分对，在该接合部分对之间形成有间隙；在一个侧面上形成的所述接合部分对之间的间隙相对该侧面的中心对称，并具有预定的长度。
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公开(公告)号：CN1610254A
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN200410087742.9
申请日：2004-10-20
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： H03H9/174 , H03H9/02133 , H03H9/132 , H03H9/564 , H03H9/568
摘要： 压电薄膜谐振器以及使用其的滤波器。压电薄膜谐振器包括：基板；设置在基板上的下电极；设置在下电极上的压电膜；以及设置在压电膜上的上电极。上电极隔着压电膜与下电极相交叠的区域具有椭圆形状，且满足1＜a/b＜1.9的条件，其中a为该椭圆形状的主轴，b为其副轴。
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公开(公告)号：CN1592100A
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN200410057295.2
申请日：2004-08-27
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： H03H9/174 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/131 , H03H9/132 , H03H9/562 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/023
摘要： 膜体声学谐振器及其制造方法。一种膜体声学谐振器包括：形成在一基板的主表面上的一压电薄膜；以及一下电极和一上电极，其被布置得夹着所述压电薄膜。在该膜体声学谐振器中，所述压电薄膜由氮化铝制成，并且所述上电极和所述下电极中的至少一个包含一钌或钌合金层。
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公开(公告)号：CN1510705A
公开(公告)日：2004-07-07
申请号：CN200310122316.X
申请日：2003-12-18
申请人： 富士通株式会社
CPC分类号： H01H9/42 , H01H1/0036 , H01H9/40 , H01H2001/0057
摘要： 一种电接触装置，它包括多条相互并联的电流通路以及多个电触点，每个电触点具有可机械打开和关闭的第一触头和第二触头。每条电流通路设有所述触头中的相应一个。为了防止在这些触头处出现电弧放电，每条电流通路的电特性可以进行调节以便不允许最小放电电流通过。
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公开(公告)号：CN100474766C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200410087742.9
申请日：2004-10-20
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： H03H9/174 , H03H9/02133 , H03H9/132 , H03H9/564 , H03H9/568
摘要： 本发明提供压电薄膜谐振器以及使用其的滤波器。压电薄膜谐振器包括：基板；设置在基板上的下电极；设置在下电极上的压电膜；以及设置在压电膜上的上电极，在所述基板中设置有一空腔，该空腔在所述上电极隔着所述压电膜与所述下电极相交叠的区域中位于所述下电极下方，所述区域和所述空腔的横截面具有椭圆形状，且满足1＜a/b＜1.9，其中a为该椭圆形的主轴，b为其副轴。
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公开(公告)号：CN1928496A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200610128999.3
申请日：2006-09-06
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： G01C19/5607
摘要： 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括感测角速度的振动器、以及安装有所述振动器的外壳。所述振动器布置在所述外壳中，以使得该振动器的宽度方向与所述外壳的长边方向一致。所述振动器可附着于所述外壳，以使得该振动器相对于垂直方向倾斜。
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公开(公告)号：CN1854684A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200610078626.X
申请日：2006-04-26
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： G01C19/5607
摘要： 一种角速度传感器，包括检测角速度的振动器和其上安装有该振动器的外壳。所述振动器沿着所述外壳的对角方向布置。所述角速度传感器包括支撑所述外壳的电路板。所述振动器附接在所述电路板上，以使得所述振动器相对于垂直方向以预定角度倾斜。
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