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公开(公告)号：CN103430260B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201180069245.4
申请日：2011-03-16
申请人： 富士通株式会社
摘要： 本发明提供一种能够可靠地控制可动电极的动作的可变电容元件。具有可变电容元件的电子设备具有：给予物理性支承的支承基板；一对固定部件，其被形成在支承基板上，并且具有与支承基板表面垂直方向的支承部；可动电极，其被一对固定部件的支承部支承，对置的第一侧面和第二侧面构成电极面，并且至少一部分能够弹性变形；第一固定电极，其被支承在支承基板上，具有与可动电极的第一侧面对置的第一电极面；以及第二固定电极，其被支承在支承基板上，具有与可动电极的第二侧面对置的第二电极面。
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公开(公告)号：CN102054587B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201010532052.5
申请日：2010-10-27
申请人： 富士通株式会社
IPC分类号： H01G5/16
摘要： 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极，其相互绝缘；可动电极，其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极；电介质层，其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间；第一接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极；和第二接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极，所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。
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公开(公告)号：CN100547723C
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200610058970.2
申请日：2006-03-09
申请人： 富士通株式会社
CPC分类号： H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/316 , Y10T29/42
摘要： 一种微移动器件，包括：基础衬底；固定部，其与基础衬底接合；可移动部，其具有连接至固定部的固定端，并沿着基础衬底延伸；以及压电驱动部，其设置在可移动部和固定部与基础衬底相反的一侧上。压电驱动部具有由第一电极膜、第二电极膜以及位于第一和第二电极膜之间的压电膜构成的层叠结构，该第一电极膜与可移动部和固定部接触。可移动部和固定部中的至少一个设置有沿着压电驱动部延伸的沟槽。
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公开(公告)号：CN101276691A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810086194.6
申请日：2008-03-18
申请人： 富士通株式会社
CPC分类号： H01G5/16 , B81B7/008 , B81C99/003 , H01H2059/0018
摘要： 本发明提供了一种驱动控制微机械装置的设备和方法。在所述驱动控制微机械装置的方法中，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形。关于正侧和负侧检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流，基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取与所述微机械装置的电容有关的参数。将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。这样，在可变电容装置的交换驱动中可抑制电容在正侧与负侧之间的变化。
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公开(公告)号：CN1835188A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610058970.2
申请日：2006-03-09
申请人： 富士通株式会社
CPC分类号： H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/316 , Y10T29/42
摘要： 一种微移动器件，包括：基础衬底；固定部，其与基础衬底接合；可移动部，其具有连接至固定部的固定端，并沿着基础衬底延伸；以及压电驱动部，其设置在可移动部和固定部与基础衬底相反的一侧上。压电驱动部具有由第一电极膜、第二电极膜以及位于第一和第二电极膜之间的压电膜构成的层叠结构，该第一电极膜与可移动部和固定部接触。可移动部和固定部中的至少一个设置有沿着压电驱动部延伸的沟槽。
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公开(公告)号：CN103890932B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201180074343.7
申请日：2011-11-22
申请人： 富士通株式会社
发明人： 岛内岳明
CPC分类号： H01L23/04 , B23K1/0016 , B23K2101/42 , B81B7/0041 , B81B2201/014 , B81C1/00873 , H01L21/50 , H01L23/10 , H01L24/94 , H01L2924/1461 , H03H3/0072 , H03H9/1057 , H01L2924/00
摘要： 本发明涉及一种电子部件，其具有：衬底；元件，其形成在上述衬底上；侧壁构件，其在上述衬底上包围上述元件；盖构件，其配设在上述侧壁构件上，与上述侧壁构件一起在上述衬底上划分出包围上述元件的空间；密封构件，其设置在上述侧壁构件的外侧，将上述侧壁构件及盖构件与上述衬底的表面接合，并密封上述空间。
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公开(公告)号：CN102664102B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210108857.6
申请日：2010-10-27
申请人： 富士通株式会社
摘要： 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极，其相互绝缘；可动电极，其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极；电介质层，其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间；第一接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极；和第二接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极，所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。
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公开(公告)号：CN102664102A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210108857.6
申请日：2010-10-27
申请人： 富士通株式会社
摘要： 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极，其相互绝缘；可动电极，其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极；电介质层，其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间；第一接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极；和第二接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极，所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。
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