一种电池片高温烧结成型工艺

    公开(公告)号:CN109585603A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811466763.X

    申请日:2018-12-03

    发明人: 皇韶峰

    IPC分类号: H01L31/18

    CPC分类号: H01L31/1864

    摘要: 本发明公开了一种电池片高温烧结成型工艺,包括烘干排焦、加热烧结和放置冷却,将印刷好的上、下电极和背场的硅片放入网带上,网带的上、下都装有加热带,由温控仪控制其温度,将印刷有浆料硅片烘干,并使浆料内绝大部分焦油挥发出来,网带设置在加热炉体内部:通过加热器进行加热,加热炉体上开设有通气孔,通过通气孔进行散热,炉体内部设置有两组热偶,炉体内部安装有温度感应器,在烧结时,实时探测炉体内部的温度;加热炉体与冷却炉体连通,冷却炉体内部安装有冷却管道以及风扇,冷却管道安装在网带的上部和下部。该电池片高温烧结成型工艺,对传统工艺的变动不大,节省成本,可以普遍推广使用。

    制造选择性掺杂光伏电池的方法

    公开(公告)号:CN106133918B

    公开(公告)日:2018-06-19

    申请号:CN201580016243.7

    申请日:2015-03-05

    摘要: 本发明涉及制造选择性掺杂光伏电池的方法,包括:提供掺杂第一导电型的半导体衬底;在衬底中形成具有第一浓度掺杂元素的第一掺杂区域;通过将掺杂元素离子注入到衬底中,形成最大尺寸小于一毫米的至少一组对准图案以及与第一区域相邻的第二区域,第二区域具有浓度大于第一浓度的第二浓度的掺杂元素;对衬底进行热处理,从而激活掺杂元素并在对准图案、第一区域和第二区域的上方的衬底表面上形成氧化层,第二浓度和热处理条件为使得位于对准图案上方的氧化层的厚度比位于和对准图案相邻的衬底区域上方的氧化层的厚度大至少10nm;在氧化层上沉积抗反射层;通过丝网将电极沉积到抗反射层上,电极与第二区域相对,丝网利用对准图案相对于衬底定位。