公开(公告)号：CN117500357A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202311537546.6

申请日：2023-11-17

申请人： 山东建筑大学

发明人： 曹鹏 ,  石磊 ,  王雪 ,  房俊炎 ,  王元昊 ,  王建鹏

IPC分类号： H10N30/06 ,  H10N30/87 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0224 ,  C23C14/18 ,  C23C14/30 ,  C23C14/02 ,  C23C14/04

摘要： 一种用于铌酸锂晶体表面周期性电极制备方法，在外加电场极化时，周期性电极的质量决定了极化时反转畴的质量，进而影响制备的铌酸锂器件的性能。选用1mm厚z切3英寸铌酸锂晶圆，在其+z面上旋涂光刻胶，经烘烤光刻显影后沉积一层铝层形成复合晶圆结构，经丙酮和乙醇混合液剥离后形成周期性电极结构。光刻胶的厚度控制在500‑600nm；使用物理气相沉积技术在铌酸锂晶圆+z面上沉积多孔铝层，铝电极宽度为9μm，电极孔径为3μm，电极厚度为180‑200nm；剥离过程中，1:1丙酮与乙醇混合液，60‑70℃剥离温度，超声时间30min，得到的均匀的周期性电极结构。本发明提供的周期性电极制作方法，工艺简单不损伤衬底，使得电极结构均匀分布、易于畴结构成核生长。

公开(公告)号：CN117364188A

公开(公告)日：2024-01-09

申请号：CN202311600677.4

申请日：2023-11-28

申请人： 山东建筑大学

发明人： 石磊 ,  王建鹏 ,  房俊炎 ,  王元昊 ,  王雪

IPC分类号： C25D3/56 ,  C25D5/18 ,  C25D5/48

摘要： 一种锌镍合金电镀工艺，工艺流程如下：基体除油→水洗→酸洗除锈→水洗→打磨→水洗→弱浸蚀→水洗→脉冲电镀锌镍合金→水洗→钝化→空停→两次水洗；使用脉冲电源取代传统直流电源，可以使镀层具有更细腻的晶体结构，从而获得耐蚀性能更优异的镀层；使用无铬钝化工艺，使锌镍合金镀层耐蚀性更进一步，且钝化液中无铬离子，相较于传统三价铬及六价铬钝化剂更加环保，无重金属污染。